【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种应用于高端装备冷却用超精密水温控制装置，其特征在于：由依次连接的压缩机制冷系统（A）、中间环路换热系统（B）和半导体制冷系统（C）组成，压缩机制冷系统（A）通过板式换热器（12）与中间环路换热系统（B）连接，半导体制冷系统（C）由依次连接的冷冻水分水器（23）、半导体制冷模块（19）、冷冻水集水器（21）、管道加热器（24）、Y型过滤器（18）、变频水泵（25）和单向阀（26）组成，由单向阀（26）的输出端提供用户用水（D1），用户回水（D2）连接冷冻水分水器（23），压缩机制冷系统提供的冷水通过中间环路换热系统（B）为半导体制冷系统（C）中的半导体制冷模块（19）散热冷却。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：江辉民，孙平，王家贵，吴杰生，蓝天雁，郑建光，黄培炫，
申请(专利权)人：广东吉荣空调有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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