【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种转台系统包括：主轴；主轴电机，用于产生主轴的转动；校准测试平台，所述校准测试平台固定于所述主轴上，用于为转动盘和转动盘电机提供固定平台；以及至少一个安装于所述校准测试平台上的转动盘和用于产生所述转动盘转动的转动盘电机。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴欢欢，符强，蒋登峰，魏建中，
申请(专利权)人：杭州士兰微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。