光半导体装置、其制造方法以及光模块的制造方法制造方法及图纸

技术编号:11377901 阅读:159 留言:0更新日期:2015-04-30 20:03
本发明专利技术得到一种能够简单地测定窗构造的长度的光半导体装置、光半导体装置的制造方法、以及光模块的制造方法。在共振器端面(2)和光波导(3)之间形成有窗构造(4)。游标部(5)设置在窗构造(4)上。该游标部(5)能够对沿着光轴方向的窗构造(4)的长度进行测定。通过从顶面观察游标部(5),数出光轴方向的槽(6)的数量,从而能够容易地测定窗构造(4)的长度L。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光半导体装置,其特征在于,具有:共振器端面;光波导;窗构造,其形成在所述共振器端面和所述光波导之间;以及游标部,其设置在所述窗构造上,能够对沿着光轴方向的所述窗构造的长度进行测定。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:东祐介石村荣太郎柴田公隆
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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