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氧化石墨烯作为阻挡层及隧穿层的探测器及其制备方法技术

技术编号:11374645 阅读:117 留言:0更新日期:2015-04-30 12:24
本发明专利技术属于半导体紫外光电探测技术领域,具体涉及一种以纳米氧化石墨烯(GO)作为阻挡层及隧穿层、TiO2/GO复合薄膜为光电转换材料的高性能探测器。器件以石英片做衬底,表面旋涂制备TiO2和GO薄膜,并用磁控溅射制备金电极。利用光刻技术,将GO层制备成与电极具有相同形状的叉指结构,可以有效降低表面漏电流。器件工作时,GO层在黑暗中起到阻挡层作用,提高势垒阻止电子传输,有效降低器件暗电流;在310nm紫外光照射下,外加偏压使GO层发生隧穿效应,成为光生载流子的传导阶梯,促进光生电流传递,有效提高器件光电流。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种以氧化石墨烯薄膜作为阻挡层及隧穿层的探测器,其特征在于:按光入射方向,从下至上依次由石英片衬底、纳米TiO2薄膜与纳米GO薄膜构成的TiO2/GO异质结复合感光薄膜、在TiO2/GO异质结复合感光薄膜上制备的Au叉指电极组成,且纳米GO薄膜具有与Au叉指电极相同的叉指结构,GO为氧化石墨烯。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:阮圣平张德重刘彩霞周敬然沈亮郭文滨温善鹏董玮张歆东
申请(专利权)人:吉林大学
类型:发明
国别省市:吉林;22

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