贴膜机制造技术

本发明专利技术属于贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜机，旨在解决现有贴膜机中掩膜版定位机构与掩膜版夹具难以适应不同尺寸规格的掩膜版的技术问题。将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置，第一动力组件将安装有蒙版与掩膜版的夹具组件推向压边组件保证相对两边上的压制效果，两个压杆间距可调，适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构与掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构与掩膜版夹具的成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜机。
技术介绍
贴膜机用于蒙版(Pellicle)贴付在掩膜版(Mask)上，现有技术仅能够满足第3.5代至第6代的掩膜版贴付蒙版的制作。根据国内外TFT(薄膜场效应晶体管)行业发展趋势，各地均开始建立第8代的TFT液晶面板生产线。TFT液晶面板的代数越高，掩膜版尺寸越大。现有贴膜机无法满足第8代的大尺寸掩膜版贴付蒙版的需求。现有技术需要多套掩膜版定位机构来满足贴膜要求，即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版定位机构，且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版定位机构。现有技术需要多套掩膜版夹具来满足贴膜要求，即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版夹具，且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版夹具。该方案操作麻烦，经济成本较高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种贴膜机，旨在解决现有贴膜机中掩膜版定位机构与掩膜版夹具难以适应不同尺寸规格的掩膜版的技术问题。本专利技术是这样实现的，一种贴膜机，用于将蒙版贴付在掩膜版上，所述贴膜机包括固定支架及安装于所述固定支架上的夹具组件，所述夹具组件包括平台、安装在所述平台上且用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直；所述贴膜机还包括安装在所述固定支架上且用于与所述掩膜版的背离所述蒙版的一侧相抵的压边组件及用于推顶所述平台以使所述夹具组件与所述压边组件相抵的第一动力组件，所述压边组件包括两个平行分布且可调间距的压杆，两个所述压杆分别相抵在所述掩膜版的相对两边上。进一步地，所述蒙版夹具包括基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述蒙版夹具的所述基板上开设有定位孔，所述夹具组件还包括安装在所述平台上且能沿Y轴方向输出直线运动的第一驱动件及由所述第一驱动件驱动的定位销，所述定位销穿设在所述定位孔中，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。进一步地，所述蒙版夹具包括基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述蒙版夹具的所述基板上开设有盲孔，所述盲孔中设置有夹紧法兰且该夹紧法兰上开设有型孔，所述夹具组件还包括绕Y轴输出旋转运动且具有一输出端的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的卡接件及用于驱动所述第二驱动件沿Y轴方向移动的第三驱动件，所述卡接件包括卡接头及垂直设置在该卡接头上的转动轴，所述卡接件的横截面形状与所述型孔的横截面形状相同，所述卡接件的所述转动轴与所述第二驱动件的所述输出端相连接，该卡接件的所述卡接头穿过所述夹紧法兰的所述型孔并伸入所述基板的所述盲孔后绕Y轴转动以使所述蒙版夹具固紧在所述平台上。进一步地，所述掩膜版定位机构包括安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述竖直臂沿X轴方向移动的第五驱动组件及安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述水平臂沿Y轴方向移动的第六驱动组件，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。进一步地，所述压边组件包括安装座、绕Y轴转动安装在所述安装座上的旋转板及安装在所述安装座上且用于驱动所述旋转板绕Y轴转动的第七驱动组件，所述旋转板具有两个沿该旋转板的长度方向开设的直通槽，且该二个直通槽的长度方向重合，所述压边组件还包括设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且能沿所述旋转板的长度方向输出直线运动的两个第八驱动组件及两个由所述第八驱动组件一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽中的第一连接件，所述压杆设置在每一所述第一连接件上。进一步地，所述压边组件沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架上，所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件沿Z轴方向移动的第九驱动组件。进一步地，所述第一动力组件包括安装在所述固定支架上且能输出直线运动的第一动力件，所述第一动力件具有一输出直线运动的输出端，所述第一动力组件还包括设置在所述第一动力件的所述输出端与所述平台之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器。进一步地，所述贴膜机还包括安装在所述框架上且用于将所述夹具组件推向所述压边组件上的第二动力件。进一步地，所述贴膜机还包括用于使所述夹具组件向远离所述第一动力组件的一侧向下倾斜的外推组件，所述外推组件包括运动支架，所述运动支架具有第一侧及与所述第一侧相对的第二侧，所述运动支架的所述第一侧绕X轴枢接在所述平台上且所述第二侧沿Y轴方向滑动安装在所述固定支架上，所述外推组件还包括绕X轴枢接在所述运动支架的所述第二侧上且能输出直线运动的第十驱动件，所述第十驱动件具有一输出直线运动的输出端，所述第十驱动件的所述输出端绕X轴枢接在所述平台上。进一步地，所述第一动力组件包括安装在所述固定支架上且能输出直线运动的第一动力件，所述第一动力件具有一输出直线运动的输出端，所述第一动力组件还包括铰接在所述第一动力件的所述输出端与所述运动支架之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器。本专利技术相对于现有技术的技术效果是:将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置，第一动力组件将安装有蒙版与掩膜版的夹具组件推向压边组件保证相对两边上的压制效果，两个压杆间距可调，适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构与掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构与掩膜版夹具的成本。【附图说明】图1是本专利技术实施例提供的贴膜机的立体装配图。图2是图1的贴膜机的另一角度的立体装配图。图3是图1的贴膜机的立体分解图。图4是图1的贴膜机中应用的夹具组件的立体装配图。图5是图4的夹具组件的立体分解图。图6是图4的夹具组件的另一角度的立体分解图。图7是图1的贴膜机中应用的压边组件的立体装配图。图8是图7的压边组件的另一角度的立体装配图。图9是图7的压边组件的立体分解图。图10是图7的压边组件的另一角度的立体分解图。【具体实施方式】为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。请参阅图1至图3，本专利技术实施例提供的一种贴膜机，用于将蒙版(图未示)贴付在掩膜版(图未示)上，所述贴膜机包括固定支架300及安装于所述固定支架300上的夹具组件100，所述夹具组件100包括平台110、安装在所述平台110上且用于安装所述蒙版的蒙版夹具120及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构130，请同时参阅图4至图6，所述掩膜版定位机构130包括框架131、沿X轴方向滑动安装在所述框架131上的两个竖直臂132及沿Z轴方向滑动安装在所述框架131上的两个水平臂133，两个所述竖直臂132相面对设置且两个所述水平臂1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种贴膜机，用于将蒙版贴付在掩膜版上，其特征在于：所述贴膜机包括固定支架及安装于所述固定支架上的夹具组件，所述夹具组件包括平台、安装在所述平台上且用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直；所述贴膜机还包括安装在所述固定支架上且用于与所述掩膜版的背离所述蒙版的一侧相抵的压边组件及用于推顶所述平台以使所述夹具组件与所述压边组件相抵的第一动力组件,所述压边组件包括两个平行分布且可调间距的压杆，两个所述压杆分别相抵在所述掩膜版的相对两边上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张建国，夏静远，
申请(专利权)人：深圳清溢光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44