一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构制造技术

本发明专利技术一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，包括支撑移动座和两个光轴导轨，光轴导轨呈平行分布于支撑移动座两端；光轴导轨底部设有若干螺纹孔，光轴导轨底部设置有导轨垫条，光轴导轨通过螺纹孔与螺杆安装在清洗机的机身上；支撑移动座内部设有四个水平滚轮，设置于光轴导轨上端位置；支撑移动座内部设有四个垂直滚轮所述垂直滚轮位于光轴导轨一侧，垂直滚轮包括垂直螺杆、垂直滚轮本体，滚珠轴承、碟形弹簧垫圈，平垫圈以及尼龙放松螺母，垂直滚轮通过垂直螺杆顶部螺纹与螺纹孔配合实现固定在支撑移动座内部。较小的滚轮滚动摩擦力，并且有较好的承重性能，减少了传统直线导轨滑块承重性能差磨损容易产生故障的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构
本专利技术涉及一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构。
技术介绍
蓝宝石晶片清洗是蓝宝石基板制造中非常重要的一项工艺流程，它决定了蓝宝石退火或抛光后晶片表面的清洁程度，是否符合客户需求，一般单台设备使用多个清洗槽，采用不同的超声，温度，鼓泡等工艺来达到制程要求，目前大多数清洗机已经能够自动提取清洗篮，自动放入到下个槽体继续清洗指导清洗完毕。传统的自动提篮放篮装置的移动都是采用直线导轨加滑块的方式进行的，产生的滑动摩擦力较大，导轨滑块承载能力有限，长时间运行容易磨损损坏，造成设备宕机，加上市场上的直线导轨和滑块价格都比较昂贵，制造维护成本较高。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服以上不足，提供一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，较小的滚轮滚动摩擦力，替代了传统直线导轨与滑块之间较大的滑动摩擦力，并且有较好的承重性能，减少了传统直线导轨滑块承重性能差磨损容易产生故障的问题。本专利技术的目的这样实现：本专利技术一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，包括支撑移动座和两个光轴导轨，其特征在于，所述支撑移动座两侧各设有两个导轨安装孔，所述安装孔呈对称设置，所述光轴导轨通过安装孔贯穿支撑移动座，所述两个光轴导轨呈平行分布于支撑移动座两端；所述光轴导轨底部设有若干螺纹孔，所述光轴导轨底部设置有导轨垫条，所述光轴导轨通过螺纹孔与螺杆安装在清洗机的机身上；所述支撑移动座内部设有四个水平滚轮，所述水平滚轮位于所述支撑移动座四角，设置于光轴导轨上端位置，所述水平滚轮两侧设有滚珠轴承，内部设有水平滚轮轴，所述水平滚轮轴一侧设有固定圆柱，所述支撑移动座侧面设有安装圆孔，所述水平滚轮通过安装圆孔套合固定圆柱实现连接，所述移动支撑座内部设有支撑板，所述支撑板上设有定位圆孔，所述水平滚轮轴另一侧用过定位圆孔安装在支撑移动座内部；所述支撑移动座内部设有四个垂直滚轮，所述垂直滚轮位于所述支撑移动座四角，所述垂直滚轮位于所述光轴导轨一侧，所述垂直滚轮包括垂直螺杆、垂直滚轮本体，滚珠轴承、碟形弹簧垫圈，平垫圈以及尼龙放松螺母，所述垂直螺杆顶端与底端均设有螺纹，所述垂直螺杆底端自上而下依次套合垂直滚轮本体，滚珠轴承、碟形弹簧垫圈以及平垫圈，再通过底部螺纹与尼龙放松螺母实现连接固定，所述支撑移动座内设有四个圆形安装凸起，所述安装凸起内设有螺纹孔，所述垂直滚轮通过垂直螺杆顶部螺纹与螺纹孔配合实现固定在支撑移动座内部。上述一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，其中，所述固定圆柱内部设有偏心圆孔，所述固定圆柱通过偏心圆孔套合在水平滚轮轴外部，所述安固定圆柱一侧设有平垫圈与外六角螺丝，所述外六角螺丝穿过平垫圈安装在固定圆柱一端。上述一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，其中，所述安装孔一侧设有定位孔，所述水平滚轮轴通过定位螺丝与定位孔实现在支撑移动座内部固定。上述一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，其中，所述安装孔内部设有防尘橡胶刮刷片。与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：1、相对直线导轨和滑块来说，是节约了设备的制造成本。2、利用了较小的滚轮滚动摩擦力，替代了传统直线导轨与滑块之间较大的滑动摩擦力，减少了导轨和滑块发生磨损后产生故障的几率，减少设备运行维护成本，增加设备有效利用率。3、相对直线导轨和滑块来说，承重能力强，适合大型，多槽清洗机自动提篮的移动机构。4、安装孔内部设有防尘橡胶刮刷片，内圈橡胶层紧紧依附在2根光轴导轨上面，实现了没有缝隙，灰尘无法进入的功能。5、通过固定圆柱内部设有偏心圆孔的设置，可以旋转外六角螺丝，就可进行偏心调整，保证4个垂直滚轮全部与2根光轴导轨的一个水平面上；调整结束后，固定4个位置的定位螺丝，通过锁定，水平滚轮轴不会来回移动，保证了水平滚轮不来回移动，通过锁定，水平滚轮轴不会发生转动，也保证了偏心调整后，水平面不会发生变化。6、尼龙防松螺母锁在垂直螺杆的螺纹上，其锁定的扭力可以根据滚动的松紧情况进行调整，只要保持垂直滚轮的滚动面与光轴导轨之间的接触即可，每个垂直滚轮下方的2个碟形弹簧垫圈将起到调节垂直滚轮8滚动时的松紧度的作用，4个垂直滚轮安装在2根光轴导轨4的内侧，作用力分别向左和向右，起到防止在移动过程中移动座左右移动位置产生偏移的问题。附图说明图1是本专利技术结构示意图。图2是光轴导轨图。图3是本专利技术仰视图。图4是垂直滚轮示意图。图5是水平滚轮示意图。图6是水平滚轴示意图。图7是本专利技术内部结构放大图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步说明。如图所示，一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，包括支撑移动座1和两个光轴导轨2，其特征在于，所述支撑移动座1两侧各设有两个导轨安装孔3，所述安装孔3呈对称设置，所述光轴导轨2通过安装孔3贯穿支撑移动座1，所述两个光轴导轨2呈平行分布于支撑移动座1两端；所述光轴导轨2底部设有若干螺纹孔4，所述光轴导轨2底部设置有导轨垫条21，所述光轴导轨2通过螺纹孔4与螺杆14安装在清洗机的机身上；所述支撑移动座1内部设有四个水平滚轮5，所述水平滚轮5位于所述支撑移动座1四角，设置于光轴导轨2上端位置，所述水平滚轮5两侧设有滚珠轴承6，内部设有水平滚轮轴7，所述水平滚轮轴7一侧设有固定圆柱71，所述支撑移动座1侧面设有安装圆孔8，所述水平滚轮7通过安装圆孔8套合固定圆71柱实现连接，所述移动支撑座1内部设有支撑板9，所述支撑板9上设有定位圆孔91，所述水平滚轮轴7另一侧用过定位圆孔91安装在支撑移动座1内部；所述支撑移动座1内部设有四个垂直滚轮10，所述垂直滚轮10位于所述支撑移动座1四角，所述垂直滚轮10位于所述光轴导轨2一侧，所述垂直滚轮10包括垂直螺杆101、垂直滚轮本体102，滚珠轴承103、碟形弹簧垫圈104，平垫圈105以及尼龙放松螺母106，所述垂直螺杆101顶端与底端均设有螺纹11，所述垂直螺杆101底端自上而下依次套合垂直滚轮本体102，滚珠轴承103、碟形弹簧垫圈104以及平垫圈105，再通过底部螺纹11与尼龙放松螺母106实现连接固定，所述支撑移动座1内设有四个圆形安装凸起12，所述安装凸起12内设有螺纹孔121，所述垂直滚轮10通过垂直螺杆101顶部螺纹11与螺纹孔121配合实现固定在支撑移动座1内部。上述一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，其中，所述固定圆柱71内部设有偏心圆孔711，所述固定圆柱71通过偏心圆孔711套合在水平滚轮轴7外部，所述固定圆柱71一侧设有平垫圈712与外六角螺丝713，所述外六角螺丝713穿过平垫圈712安装在固定圆柱71一端。上述一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，其中，所述安装孔3一侧设有定位孔13，所述水平滚轮轴7通过定位螺丝与定位孔13实现在支撑移动座1内部固定。上述一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，其中，所述安装孔3内部设有防尘橡胶刮刷片31。与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：1、相对直线导轨和滑块来说，是节约了设备的制造成本。2、利用了较小的滚轮滚动摩擦力，替代了传统直线导轨与滑块之间较大的滑动摩擦力，减少了导轨和滑块发生磨损后产生故障的几率，减少设备运行维护成本，增加设备有效利用率。3、相对直线导轨和滑块来说，承重能力强，适合大型，多槽清洗机自动提篮的移动机构。4、安装孔内部设有防尘橡胶刮刷片，内圈橡胶层紧紧依附在2根本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，包括支撑移动座和两个光轴导轨，其特征在于，所述支撑移动座两侧各设有两个导轨安装孔，所述安装孔呈对称设置，所述光轴导轨通过安装孔贯穿支撑移动座，所述两个光轴导轨呈平行分布于支撑移动座两端；所述光轴导轨底部设有若干螺纹孔，所述光轴导轨底部设置有导轨垫条，所述光轴导轨通过螺纹孔与螺杆安装在清洗机的机身上；所述支撑移动座内部设有四个水平滚轮，所述水平滚轮位于所述支撑移动座四角，设置于光轴导轨上端位置，所述水平滚轮两侧设有滚珠轴承，内部设有水平滚轮轴，所述水平滚轮轴一侧设有固定圆柱，所述支撑移动座侧面设有安装圆孔，所述水平滚轮通过安装圆孔套合固定圆柱实现连接，所述移动支撑座内部设有支撑板，所述支撑板上设有定位圆孔，所述水平滚轮轴另一侧用过定位圆孔安装在支撑移动座内部；所述支撑移动座内部设有四个垂直滚轮，所述垂直滚轮位于所述支撑移动座四角，所述垂直滚轮位于所述光轴导轨一侧，所述垂直滚轮包括垂直螺杆、垂直滚轮本体，滚珠轴承、碟形弹簧垫圈，平垫圈以及尼龙放松螺母，所述垂直螺杆顶端与底端均设有螺纹，所述垂直螺杆底端自上而下依次套合垂直滚轮本体，滚珠轴承、碟形弹簧垫圈以及平垫圈，再通过底部螺纹与尼龙放松螺母实现连接固定，所述支撑移动座内设有四个圆形安装凸起，所述安装凸起内设有螺纹孔，所述垂直滚轮通过垂直螺杆顶部螺纹与螺纹孔配合实现固定在支撑移动座内部。...

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶片清洗机移动导轨机构，包括支撑移动座和两个光轴导轨，其特征在于，所述支撑移动座两侧各设有两个导轨安装孔，所述安装孔呈对称设置，所述光轴导轨通过安装孔贯穿支撑移动座，所述两个光轴导轨呈平行分布于支撑移动座两端；所述光轴导轨底部设有若干螺纹孔，所述光轴导轨底部设置有导轨垫条，所述光轴导轨通过螺纹孔与螺杆安装在清洗机的机身上；所述支撑移动座内部设有四个水平滚轮，所述水平滚轮位于所述支撑移动座四角，设置于光轴导轨上端位置，所述水平滚轮两侧设有滚珠轴承，内部设有水平滚轮轴，所述水平滚轮轴一侧设有固定圆柱，所述支撑移动座侧面设有安装圆孔，所述水平滚轮通过安装圆孔套合固定圆柱实现连接，所述移动支撑座内部设有支撑板，所述支撑板上设有定位圆孔，所述水平滚轮轴另一侧用过定位圆孔安装在支撑移动座内部；所述支撑移动座内部设有四个垂直滚轮，所述垂直滚轮位于所述支撑移动座四角，所述垂直滚轮位于所述光轴导轨一侧，所述垂直滚轮包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵元亚，王禄宝，
申请(专利权)人：江苏吉星新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32