液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明专利技术利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于，所述液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器至少包括：谐振式微悬臂梁，所述谐振式微悬臂梁的上表面设置有疏水薄膜，所述疏水薄膜与所述谐振式微悬臂梁之间形成空腔；所述谐振式微悬臂梁的敏感区域上方的所述疏水薄膜上开设有一凹孔，所述凹孔内设置有敏感池结构；所述敏感池结构由所述谐振式微悬臂梁及疏水侧壁围成，所述疏水侧壁与所述疏水薄膜之间形成一圈狭缝。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：于海涛，许鹏程，李昕欣，陈滢，包宇洋，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31