【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种水平度调节结构，用于调整托架的水平度，其特征在于，所述水平度调节结构包括托架、支撑件和支撑管，所述托架上设置有多个连接所述托架和所述支撑管的紧固件，所述支撑件设置在所述托架下表面或所述支撑管上表面并位于所述托架和所述支撑管之间，以支撑所述托架，使得每个所述紧固件能够调节所述托架与所述支撑管之间的距离以调节所述托架的水平度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李强，张伟，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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