一种实现镜面定位仪光束快速对准装置及对准方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种实现镜面定位仪光束快速对准装置及对准方法。包括镜面定位仪准直物镜管；镜面定位仪准直物镜管下端设置有光束对准装置；光束对准装置包括镜面定位仪准直物镜管射出激光的光路上依次设置的对准装置主体、分光装置、透镜装置和成像装置；分光装置反射面一侧还设置有反射装置。本发明专利技术提供了一种提高了镜面定位仪测量光学系统间隔的效率和应用范围的实现镜面定位仪光束快速对准装置及对准方法。

【技术实现步骤摘要】
一种实现镜面定位仪光束快速对准装置及对准方法
本专利技术属于精密测试计量
，涉及一种快速对准的装置及方法，具体讲的是一种实现镜面定位仪光束快速对准装置及对准方法。
技术介绍
在光学系统装调过程中，镜面定位仪广泛用于光学透镜中心厚度非接触测量和通过测量透镜间空气隙的长度来控制透镜在系统光轴中的位置。镜面定位仪采用短相干光源的迈克尔逊干涉原理进行工作，测量精度可达到1um，但其测试视场很小，被测元件的反射光很难准确快速地进入其测试视场，往往需要专业的操作人员进行长时间的调整镜面定位仪准直物镜管与被测元件的相对角度才能达到最佳状态，费事费力。在测量时也时常出现找不到反射像和出现“鬼像”等不良现象。
技术实现思路
为了解决
技术介绍
中所存在的技术问题，本专利技术提供了一种实现镜面定位仪光束快速对准装置及方法。有效的提供了一种结构简单，操作方便的可实现镜面定位仪光束快速对准装置及对准方法。本专利技术的技术方案是：一种实现镜面定位仪光束快速对准装置，其特殊之处在于：包括镜面定位仪准直物镜管；上述镜面定位仪准直物镜管下端设置有光束对准装置；上述光束对准装置包括镜面定位仪准直物镜管射出激光的光路上依次设置的对准装置主体、分光装置、透镜装置和成像装置；上述分光装置反射面一侧还设置有反射装置；上述分光装置入光镜面与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成45°；上述透镜装置的轴线与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成90°；上述成像装置设置在对准装置主体前端；上述成像装置通过桥板与透镜装置相互连接，并与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成90°；上述对准装置主体成“凸”字形，包括顶端连接口、前端连接口、底端连接口和中间腔体；上述顶端连接口、前端连接口、底端连接口通过中间腔体互相连通并且构成三通结构；上述分光装置设置在中间腔体内部；上述分光装置包括半透半反分光镜和筒座；上述半透半反分光镜用于将激光束分为反射激光束和透射激光束；上述筒座固定半透半反分光镜；上述顶端连接口与镜面定位仪准直物镜管相互连接；上述前端连接口设置有调节旋钮套筒、压簧和可直线调节激光光斑大小的透镜组；上述底端连接口设置有轴线与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线同轴的射出孔；上述镜面定位仪准直物镜管射出入射光，入射光经分光装置后分成第一反射光和第一透射光；上述第一反射光经透镜装置在成像装置上成像；上述透射光经被测元件反射成第二反射光沿原路返回；第二反射光经分光装置反射后成为第三反射光；第三反射光经反射装置反射成为第四反射光；上述第四反射光经分光装置透射及透镜装置形成第二透射光在成像装置上成像；上述反射装置与分光装置中间设置有修研隔圈，反射装置轴线与准直物镜管射出的激光轴线成90°；上述调节旋钮套筒与前端连接口通过细牙螺纹连接；上述透镜组包括镜筒，镜筒外表面上设置有直线移动定位槽；上述透镜组后端设置有环槽；上述压簧上设置有压簧底座，压簧底座上设置有压簧底座环槽；上述压簧通过透镜组后端环槽与压簧底座环槽定位，压簧底座与对准装置主体通过导向顶丝定位；导向顶丝与透镜组上直线移动定位槽间隙配合，使透镜组直线微距前后移动；上述反射装置为平面全反射镜；上述成像装置为带有“十”字型的环形靶标。一种实现镜面定位仪光束快速对准装置的对准方法，其特征在于：包括以下步骤：1】将光束对准装置安装于镜面定位仪准直物镜管下端，通过顶端连接口与准直物镜管接触进行定位；2】镜面定位仪准直物镜管射出激光，激光经半透半反分光镜后分成第一反射光和第一透射光；上述第一反射光经透镜组成为第一会聚光束并在环形成像靶标上成像；上述第一透射光经被测元件反射成第二反射光沿原路返回；第二反射光经半透半反分光镜反射后成为第三反射光；第三反射光经平面全反射镜反射成为第四反射光；上述第四反射光经半透半反分光镜透射形成第二透射光；上述第二透射光经透镜组形成第二会聚光束并在环形成像靶标上成像；3】调整镜面定位仪准直物镜管与被测元件的相对角度，使第一会聚光束和第二会聚光束在光束对准装置环形成像靶标上成像重合；3.1当第一会聚光束和第二会聚光束在光束对准装置环形成像靶标上成像重合，则光束对准成功，取下光束找准器即可进行测量。3.2当第一会聚光束和第二会聚光束在光束对准装置环形成像靶标上成像不重合，则光束对准不成功，重新调整调整镜面定位仪准直物镜管与被测元件的相对角度，直至第一会聚光束和第二会聚光束在光束对准装置环形成像靶标上成像重合。本专利技术的技术优点是：本专利技术在实际应用中可以大大缩短已广泛使用的镜面定位仪测量光学透镜中心厚度的调整时间。在实验室条件下，专业人员一般需要较长的时间完成光学透镜中心厚度的非接触测量，非专业人员所需时间则更长。而如果使用本专利技术的镜面定位仪光束快速对准的对准装置，可缩短镜面定位仪测量系统光学系统间隔的调整找像、对准时间3～5倍，进一步提高了镜面定位仪测量光学系统间隔的效率和应用范围。附图说明：图1是本专利技术的光束对准装置的结构示意图；图2是本专利技术的光束对准装置的工作原理图；其中，1-镜面定位仪准直物镜管、2-半透半反分光镜、3-透镜组、4-环形靶标、5-被测元件、6-平面全反射镜、7-对准装置主体、8-分光装置、9-反射装置、10-透镜装置、11-成像装置、12-桥板、13-调节旋钮套筒、14-导向顶丝、15-压簧、16-修研隔圈、17-顶端连接口、18-前端连接口、19-底端连接口、20-中间腔体、21-射出孔、22-筒座、23-压簧底座。具体实施方式参见图1-2，一种实现镜面定位仪光束快速对准装置，包括镜面定位仪准直物镜管1；镜面定位仪准直物镜管1下端设置有光束对准装置；光束对准装置包括镜面定位仪准直物镜管1射出激光的光路上依次设置的对准装置主体7、分光装置8、透镜装置10和成像装置11；分光装置8反射面一侧还设置有反射装置9；分光装置8入光镜面与镜面定位仪准直物镜管1射出的激光轴线成45°；透镜装置10的轴线与镜面定位仪准直物镜管1射出的激光轴线成90°；成像装置11设置在对准装置主体7前端；成像装置11通过桥板12与透镜装置10相互连接，并与镜面定位仪准直物镜管1射出的激光轴线成90°；对准装置主体7成“凸”字形，包括顶端连接口17、前端连接口18、底端连接口19和中间腔体20；顶端连接口17、前端连接口18、底端连接口19通过中间腔体20互相连通并且构成三通结构；分光装置8设置在中间腔体20内部；分光装置8包括半透半反分光镜2和筒座22；半透半反分光镜2用于将激光束分为反射激光束和透射激光束；筒座22固定半透半反分光镜；顶端连接口17与镜面定位仪准直物镜管1相互连接；前端连接口18设置有调节旋钮套筒13、压簧15和可直线调节激光光斑大小的透镜组；底端连接口19设置有轴线与镜面定位仪准直物镜管1射出的激光轴线同轴的射出孔21；镜面定位仪准直物镜管1射出入射光，入射光经分光装置后分成第一反射光和第一透射光；第一反射光经透镜装置在成像装置11上成像；透射光经被测元件反射成第二反射光沿原路返回；第二反射光经分光装置反射后成为第三反射光；第三反射光经反射装置9反射成为第四反射光；第四反射光经分光装置8透射及透镜装置10形成第二透射光在成像装置11上成像。反射装置9与分光装置8中间设置有修研隔圈1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种实现镜面定位仪光束快速对准装置，其特征在于：包括镜面定位仪准直物镜管；所述镜面定位仪准直物镜管下端设置有光束对准装置；所述光束对准装置包括镜面定位仪准直物镜管射出激光的光路上依次设置的对准装置主体、分光装置、透镜装置和成像装置；所述分光装置反射面一侧还设置有反射装置；所述分光装置入光镜面与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成45°；所述透镜装置的轴线与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成90°；所述成像装置设置在对准装置主体前端；所述成像装置通过桥板与透镜装置相互连接，并与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成90°；所述对准装置主体成“凸”字形，包括顶端连接口、前端连接口、底端连接口和中间腔体；所述顶端连接口、前端连接口、底端连接口通过中间腔体互相连通并且构成三通结构；所述分光装置设置在中间腔体内部；所述分光装置包括半透半反分光镜和筒座；所述半透半反分光镜用于将激光束分为反射激光束和透射激光束；所述筒座固定半透半反分光镜；所述顶端连接口与镜面定位仪准直物镜管相互连接；所述前端连接口设置有调节旋钮套筒、压簧和可直线调节激光光斑大小的透镜组；所述底端连接口设置有轴线与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线同轴的射出孔；所述镜面定位仪准直物镜管射出入射光，入射光经分光装置后分成第一反射光和第一透射光；所述第一反射光经透镜装置在成像装置上成像；所述透射光经被测元件反射成第二反射光沿原路返回；第二反射光经分光装置反射后成为第三反射光；第三反射光经反射装置反射成为第四反射光；所述第四反射光经分光装置透射及透镜装置形成第二透射光在成像装置上成像。...

【技术特征摘要】
1.一种实现镜面定位仪光束快速对准装置，其特征在于：包括镜面定位仪准直物镜管；所述镜面定位仪准直物镜管下端设置有光束对准装置；所述光束对准装置包括镜面定位仪准直物镜管射出激光的光路上依次设置的对准装置主体、分光装置、透镜装置和成像装置；所述分光装置反射面一侧还设置有反射装置；所述分光装置入光镜面与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成45°；所述透镜装置的轴线与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成90°；所述成像装置设置在对准装置主体前端；所述成像装置通过桥板与透镜装置相互连接，并与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线成90°；所述对准装置主体成“凸”字形，包括顶端连接口、前端连接口、底端连接口和中间腔体；所述顶端连接口、前端连接口、底端连接口通过中间腔体互相连通并且构成三通结构；所述分光装置设置在中间腔体内部；所述分光装置包括半透半反分光镜和筒座；所述半透半反分光镜用于将激光束分为反射激光束和透射激光束；所述筒座固定半透半反分光镜；所述顶端连接口与镜面定位仪准直物镜管相互连接；所述前端连接口设置有调节旋钮套筒、压簧和可直线调节激光光斑大小的透镜组；所述底端连接口设置有轴线与镜面定位仪准直物镜管射出的激光轴线同轴的射出孔；所述镜面定位仪准直物镜管射出入射光，入射光经分光装置后分成第一反射光和第一透射光；所述第一反射光经透镜装置在成像装置上成像；所述透射光经被测元件反射成第二反射光沿原路返回；第二反射光经分光装置反射后成为第三反射光；第三反射光经反射装置反射成为第四反射光；所述第四反射光经分光装置透射及透镜装置形成第二透射光在成像装置上成像。2.根据权利要求1所述的一种实现镜面定位仪光束快速对准装置，其特征在于：所述反射装置与分光装置中间设置有修研隔圈，反射装置轴线与准直物镜管射出的激光轴线成90°。3.根据权利要求2所述的一种实现镜面定位仪光束快速对准装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：付西红，李华，刘杰，王鹏，马娜娜，陈生辉，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：陕西;61