致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备技术方案

本发明专利技术提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备：各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15)，电压控制部(15)具备：数字控制器(17)，其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2)；第一DAC(181)，其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1)；以及第二DAC(182)，其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备：各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15)，电压控制部(15)具备：数字控制器(17)，其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2)；第一DAC(181)，其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1)；以及第二DAC(182)，其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。【专利说明】致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备
本专利技术涉及致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。
技术介绍
现有技术中，已知一种具备彼此相对的一对基板、分别配置于各基板并彼此相对的反射膜、以及分别配置于各基板并彼此相对的电极(致动器)的波长选择受光元件(波长可变干涉滤波器)(例如，专利文献I)。 在具备专利文献I中所述的波长可变干涉滤波器和将驱动电压施加于上述相对的电极间的电压控制部的光学模块中，由于对应施加于致动器的驱动电压而在电极间产生的静电引力，基板间距离发生变化，设于反射膜间的间隙的尺寸被变更，选择性地取出对应于该间隙尺寸的波长的光。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开平2-257676号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题 可是，在专利文献I中所述的波长可变干涉滤波器中，为了高精度地设定对应于目标波长的光的间隙尺寸，就必须细微地调整施加于致动器的驱动电压。 作为调整这样的致动器的驱动电压的电压控制部，例如，存在以下这样的电压控制部:其将从微型计算机等数字控制器输出的数字信号输入驱动电压信号发生器(例如数字-模拟转换器(DAC:Digital to Analog Co nverter)、电压控制脉冲宽度调制器(PWM:Pulse Width Modulator)等)，并将输出的驱动电压信号(驱动电压)施加于致动器。 数字信号的比特数越多(例如16比特等)，上述电压控制部就越能细微地调整驱动电压，进而越能细微地变更致动器的驱动量。因此，例如，在波长可变干涉滤波器中，能够对应取出的光的目标波长高精度地控制间隙尺寸。 然而，驱动电压信号发生器越能处理比特数多的数字信号，价格就越昂贵。因此，具有电压控制部的制造成本增大这样的技术问题。 本专利技术的目的在于，提供能够高精度地控制驱动电压并能抑制制造成本增加的致动器的驱动系统、光学模块及电子设备。 用于解决技术问题的方案 本专利技术的致动器的驱动系统其特征在于，具备:多个致动器，以与驱动电压相应的驱动量进行驱动；以及电压控制部，将所述驱动电压施加于所述多个致动器中的各个致动器，所述电压控制部具备:变量分割单元，将对应于所述多个致动器的总驱动量的多位的驱动用变量分割为单独驱动用变量，所述单独驱动用变量具有至少I位以上并与所述多个致动器各自对应；以及信号产生单元，与所述多个致动器各自对应地设置，并基于所述单独驱动用变量产生与所述驱动电压相应的驱动电压信号。 在此，驱动用变量对应于多个致动器的总驱动量意味着其对应于驱动电压施加于所有致动器时的驱动量的总和。 另外，由变量分割单元分割的单独驱动用变量既可以是相同的位数，也可以是各自不同的位数。例如，8比特的驱动用变量既可以分割为高4比特的第一单独驱动用变量和低4比特的第二单独驱动用变量，也可以分割为高3比特的第一单独驱动用变量和低5比特的第二单独驱动用变量。 在本专利技术中，电压控制部的变量分割单元将多位的驱动用变量分割为规定位(桁単位)的单独驱动用变量。该单独驱动用变量与施加于多个致动器中的各致动器的驱动电压对应。而且，信号产生单元与多个致动器各自对应地设置，并产生基于对致动器设定(分害I])的单独驱动用变量的驱动电压信号。电压控制部将对应于驱动电压信号的驱动电压施加于致动器。需要说明的是，从信号产生单元输出的驱动电压信号本身是直流电压的信号，除了将其直接施加于致动器的构成以外，通过放大器等适当放大电压再施加于致动器的构成也包含于本专利技术中。另外，驱动电压信号为实施了脉宽调制的电压信号也包含在本专利技术中，此时，驱动电压是指，通过调制后的电压信号施加于致动器的电压的平均值。 在这种构成中，电压控制部将驱动用变量分割为I位以上的单独驱动用变量后输入至信号产生单元。因此，输入至信号产生单元的单独驱动用变量的位数少于分割前的驱动用变量的位数。由此，与将驱动用变量直接输入信号产生单元的情况相比，能够使信号产生单元可处理的位数变少，进而可以采用更加廉价的信号产生单元。另外，由于没有使驱动用变量的位数发生变化，因此，即使使用这样的信号产生单元，驱动精度也不会下降。所以，可以提供能高精度地控制驱动电压并能抑制制造成本增大的致动器的驱动系统。 另外，与将驱动用变量直接输入信号产生单元的情况相比，可以减少信号产生单元处理的位数，因此，可实现信号产生单元中的处理的高速化，进而能够使致动器更高速地驱动。 在本专利技术的致动器的驱动系统中，优选，所述多个致动器相对于所述驱动电压的所述驱动量各不相同。 在本专利技术中，多个致动器被施加规定的驱动电压时的驱动量各不相同。由此，组合多个致动器，例如组合驱动量大的致动器(粗动用)和小的致动器(微动用)来控制总驱动量。因此，能够在增大总驱动量的变动幅度的同时，在该变动幅度间精细地控制总驱动量。 在本专利技术的致动器的驱动系统中，优选，多个所述单独驱动用变量是通过从所述驱动用变量的高位向低位依次分割所述驱动用变量而获得的，在所述多个致动器中，相对于所述驱动电压的所述驱动量越小的所述致动器与包括所述驱动用变量的更低位的所述单独驱动用变量对应。 在本专利技术中，驱动用变量被设定成随着值的增大，对应的总驱动量也增大，单独驱动用变量是将该驱动用变量从高位向低位依次分割后的变量。例如，将8比特的驱动用变量分割为高4比特的第一单独驱动用变量和低4比特的第二单独驱动用变量。 而且，多个单独驱动用变量以越是相对于驱动电压的驱动量小的致动器则包括驱动用变量的更低位的方式建立对应。例如，在上述示例中，低位的第二单独驱动用变量被输入对应于驱动量小的致动器的信号转换器。 在这种构成中，能够使多个致动器的总驱动量的大小对应于驱动用变量的大小。由此，不必新设定驱动用变量，能够使用一直以来所使用的驱动用变量。 在本专利技术的致动器的驱动系统中，优选，所述电压控制部对所述多个致动器提供对应于所述单独驱动用变量的但具有相同值的所述驱动电压。 在本专利技术中，构成为单独驱动用变量相同时，对多个致动器施加相同的驱动电压。而且，多个致动器构成为即使驱动电压相同，变化量也各不相同。 在这种构成中，不必将电压控制部构成为即使单独驱动用变量相同，所输出的驱动电压也不同。因此，能够对各致动器设置相同的信号产生单元，可将电压控制部构成为不管所对应的致动器如何，均同样地处理驱动电压信号来施加驱动电压。由此，能够使电压控制部的设计及制造简单化，并能抑制成本。 另外，将各致动器设计成由各致动器引起的变化量之和成为对应于驱动用变量的变化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种致动器的驱动系统，其特征在于，具备：多个致动器，以与驱动电压相应的驱动量进行驱动；以及电压控制部，将所述驱动电压施加于所述多个致动器中的各个致动器，所述电压控制部具备：变量分割单元，将对应于所述多个致动器的总驱动量的多位的驱动用变量分割为单独驱动用变量，所述单独驱动用变量具有至少1位以上并与所述多个致动器各自对应；以及信号产生单元，与所述多个致动器各自对应地设置，并基于所述单独驱动用变量产生与所述驱动电压相应的驱动电压信号。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：广久保望，佐野朗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP