本发明专利技术提供一种能够兼顾性能下降的抑制和从箱体的脱落的抑制的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。光学滤波器装置600包括：波长可变干涉滤波器5、收纳波长可变干涉滤波器5的箱体610、将可动基板52固定于箱体610的接合部件7。箱体610具有接合部件7所接合的固定部626，该固定部626具有：与可动基板52的基板表面52A的一部分相对的底座固定面627(第一面)、与底座固定面627的周围的一部分连续并与可动基板52的侧面527相对的侧壁固定面629(第二面)、从底座固定面627的周围的余部向离开可动基板52的方向连续的交叉面628A(第三面)，接合部件7位于基板表面52A与底座固定面627之间以及侧面527与侧壁固定面629之间。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种能够兼顾性能下降的抑制和从箱体的脱落的抑制的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。光学滤波器装置600包括：波长可变干涉滤波器5、收纳波长可变干涉滤波器5的箱体610、将可动基板52固定于箱体610的接合部件7。箱体610具有接合部件7所接合的固定部626，该固定部626具有：与可动基板52的基板表面52A的一部分相对的底座固定面627(第一面)、与底座固定面627的周围的一部分连续并与可动基板52的侧面527相对的侧壁固定面629(第二面)、从底座固定面627的周围的余部向离开可动基板52的方向连续的交叉面628A(第三面)，接合部件7位于基板表面52A与底座固定面627之间以及侧面527与侧壁固定面629之间。【专利说明】光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置
本专利技术涉及光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。
技术介绍
目前已知分别将反射膜经由规定的间隙相对配置于一对基板的相互相对的面的干涉滤波器、将反射膜配置在基板上的镜面元件、将晶体振荡片等的压电体配置在基板上的压电振动元件等的各种MEMS(微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems))元件。此外，已知将这种MEMS元件收纳于收纳用容器内的MEMS装置(例如，参照专利文献I)。 专利文献I记载了具备包括板状的底座及圆筒状的盖的组件(箱体)的红外线式气体检测器(光学滤波器装置)。该箱体中，底基板的周缘部分和盖的圆筒一端部通过焊接或者接合而连接，在底基板和盖之间设置有收纳法布里-珀罗干涉仪(干涉滤波器)的空间。该干涉滤波器，在构成该干涉滤波器的基板的下面侧被粘接固定。 如上所述，专利文献I所记载的干涉滤波器，在基板的下面侧被粘接固定，在与基板的厚度方向相交的面方向与粘接剂紧密接合。粘接剂通常由于固化时被付与的热而粘度下降，向基板的下面侧的广泛区域浸润扩散。其后，由于粘接剂固化收缩，因此，粘接剂的收缩所产生的应力施加于基板的广泛区域。因此，基板的下面，沿面方向以粘接位置为中心而受到应力，基板有可能挠曲。当基板挠曲时，设置于基板上的反射膜歪曲，或者反射膜间的间隙的尺寸发生变化，干涉滤波器的分光精度下降。 另一方面，如果减小粘接剂的固定面积的话，当施加振动或冲击时，干涉滤波器有可能从箱体脱落。 在上述的各种MEMS装置中，当在构成MEMS元件的基板上产生挠曲时，由于该挠曲的影响，MEMS元件的性能下降。另一方面，如果减小固定面积，则存在MEMS元件从箱体脱落的同样的问题。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2008-70163号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够兼顾性能下降的抑制和从箱体的脱落的抑制的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。 本专利技术的一方式的光学滤波器装置，其特征在于，包括:干涉滤波器，包括第一反射膜及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；箱体，收纳所述干涉滤波器；接合部件，将所述干涉滤波器固定于所述箱体，其中，所述箱体具有:位于与所述干涉滤波器的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述干涉滤波器的所述一个面交叉的另一个面相对的位置的第二面、从所述第一面连续并位于从所述干涉滤波器离开的方向的第三面，所述接合部件位于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。 该光学滤波器装置，其特征在于，包括:干涉滤波器，具备第一反射膜、与所述第一反射膜相对的第二反射膜以及所述第一反射膜及设置有所述第二反射膜中的任一个的基板；箱体，具有能够收纳所述干涉滤波器的内部空间；接合部件，将沿所述基板的厚度方向的基板侧面及与所述基板侧面相交的基板表面固定于所述箱体，其中，所述箱体具有:与所述基板表面相对的第一面、与所述第一面的周围的一部分连续并与所述基板侧面相对的第二面、从所述第一面的周围的余部向离开所述基板的方向连续的第三面，所述接合部件跨越所述基板表面和所述第一面之间以及所述基板侧面和所述第二面之间而设置。 在此，作为接合部件，可以例示各种粘接剂，更具体而言，为热固性树脂或UV固化树脂等。 在本专利技术中，箱体具有:与基板的基板表面相对的第一面、以与基板侧面相对的方式而与第一面的一部分连续的第二面、从第一面的周围中的未连接于第二面的剩余部分向离开基板的方向连续的第三面。此外，上述第一面、第二面及第三面构成与接合部件粘接的固定部。并且，接合部件跨越基板表面和固定部的第一面之间以及基板侧面和固定部的第二面之间而设置，接合箱体的固定部和基板。 在这种构成中，即使接合部件在固化前具有流动性，接合部件的流动在固定部的第一面和第三面的边缘部分停止，接合部件在第二面侧浸润扩散。因此，接合部件与基板表面中的与固定部的第一面相对的位置和基板侧面中的与固定部的第二面相对的位置粘接。也就是说，接合部件的浸润扩散能够被固定部的第一面和第三面的边界的台阶所限制。由此，能够抑制由于接合部件和基板表面粘接的面积扩大而导致的接合部件的收缩应力的增大。其结果是，能够抑制该收缩应力增大、基板挠曲而导致的干涉滤波器的分光性能的下降。 此外，虽然接合部件在基板侧面和固定部的第二面之间浸润扩散，但是，由于基板侧面与基板表面相比，对于挠曲的刚性高，因此，难以受到收缩应力的影响。 进一步，与将接合部件仅设置于基板侧面及固定部的第二面之间的情况，或者将接合部件仅设置于基板表面和固定部的第一面之间的情况相比，由于能够增大接合面积，因此，能够相应地提高接合强度，能够得到能够抑制由于振动等导致的基板的脱落等的固定力。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述箱体具备包围所述第一面的周围的余部的槽部，所述第三面为所述槽部中的所述第一面侧的侧面。 在本专利技术中，以包围固定部的第一面的方式构成槽部，通过槽部的一侧面构成第三面。通过这种构成，与例如以包围固定部的第一面的方式而设置贯通孔的构成相比，收纳干涉滤波器的收纳空间的密闭性优异，能够容易地构成气密空间。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述基板表面与所述槽部的底面之间的距离尺寸大于所述基板侧面和所述第二面之间的距离尺寸。 在本专利技术中，当接合部件浸润扩散时，通过毛细管现象，易于浸润扩散至与基板表面与槽部的底面之间相比距离尺寸更小的基板侧面和第二面之间。因此，能够更确实地抑制接合部件向基板表面的浸润扩散，能够更确实地抑制基板的挠曲。 在本专利技术的光学滤波器装置中，优选所述基板侧面包括平面状的第一侧面和与所述第一侧面连续并与所述第一侧面交叉的平面状的第二侧面，所述接合部件跨越所述第一侧面及所述第二侧面而设置。 在此，固定部的第二面具有分别与基板侧面的第一侧面和第二侧面相对的面，接合部件设置于该第一侧面及第二侧面和分别与所述第一侧面及第二侧面相对的固定部的第一面及第二面之间。 在本专利技术中，接合部件相互连续并且跨越不在同一平面上的基板侧面的第一侧面及第二侧面而设置。由此，在将接合部件从基板侧面的第一侧面经由第一侧面和第二侧面交叉的角部跨至第二侧面而配置的状态下，通过将基板抵接于固定部的第二面及第三面，通过简单的作业就能够将基板固定于箱体。 此外，由本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光学滤波器装置，其特征在于，包括：干涉滤波器，包括第一反射膜及与所述第一反射膜相对的第二反射膜；箱体，收纳所述干涉滤波器；以及接合部件，将所述干涉滤波器固定于所述箱体，所述箱体具有：位于与所述干涉滤波器的一个面相对的位置的第一面、与所述第一面连续并位于与所述干涉滤波器的所述一个面交叉的另一个面所相对的位置的第二面、以及从所述第一面连续并位于离开所述干涉滤波器的方向的第三面，所述接合部件配置于所述一个面与所述第一面之间以及所述另一个面与所述第二面之间。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松野靖史，斋藤大辅，今井英生，小池繁光，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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