一种电源快速关断电路制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电源快速关断电路，包括光信号接收与转换单元、模拟开关控制单元；所述光信号接收与转换单元包括光纤收发器；所述光纤收发器的第一输出端与模拟开关的一个控制端连接，所述光纤收发器的第二输出端通过电阻与所述控制端连接；所述模拟开关的其中两个输入端分别与电源给定控制器的接地端、电源给定控制器的输出端连接；上述两个输入端对应的输出端均与电源给定输入端连接。本实用新型专利技术结构简单、成本低、可靠性好：使用光纤传递触发信号，仅由几个器件构成，抗干扰能力强；响应及时。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体装备制造领域，特别是一种电源快速关断电路。
技术介绍
在半导体装备制造领域，特别是离子注入机，在许多部件中均要用到带远控功能 的电源，例如引出电源、弧压电源。当某些外部触发条件满足时，例如发生glitch打火现 象，需要将电源快速关断。而关断电源的方式有两种：一是切断电源的能量供给；二是使 电源的输入设定值为零，从而使电源的输出为零。对第一种方式，当切断电源的能量供给 后，若要使电源恢复至原设定值需要较长的时间开销，另外，频繁启停电源不利于电源的使 用寿命。而第二种方式是通过改变电源的输入给定值来实现电源快速关断的，其本质是当 触发条件满足时，使电源的输入给定值立即为零，这样电源的输出也会为零，该方式可靠性 低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提供一种结构简单、成本 低、可靠性好、响应及时的电源快速关断电路。 为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种电源快速关断电路， 包括光信号接收与转换单元、模拟开关控制单元；所述光信号接收与转换单元包括光纤收 发器；所述光纤收发器的第一输出端与模拟开关的一个控制端连接，所述光纤收发器的第 二输出端通过电阻与所述控制端连接；所述模拟开关的其中两个输入端分别与电源给定控 制器的接地端、电源给定控制器的输出端连接；上述两个输入端对应的输出端均与电源给 定输入端连接。 所述光纤收发器的电源端接+5V电源，所述光纤收发器的接地端接地；所述光纤 收发器的接地端与电容一端连接，所述电容另一端接所述+5V电源。 与现有技术相比，本技术所具有的有益效果为：本技术结构简单、成本 低、可靠性好：使用光纤传递触发信号，仅由几个器件构成，抗干扰能力强；响应及时。【附图说明】 图1是本技术电源快速关断电路的结构框图。 图2是本技术电路原理图； 图3为电位计接线示意图。【具体实施方式】 如图1和图2所示，当触发条件满足时，由外部信号源通过光纤向光信号接收与 转换单元发送光信号，即如图2中的光纤收发器HFBR-2521，它能将接收到的光信号转换为 5V的标准TTL电平信号。当无光信号时，HFBR-2521的1脚输出0V电平信号；当有光信号 时，HFBR-2521输出5V电平信号。从图2可见，HFBR-2521的1脚与模拟开关DG303ACWE的 控制端6脚相连，这样，当无光信号时，表示无异常glitch打火情况，DG303ACWE的6脚为 低电平，其4脚与5脚断开，2脚与3脚连通，从而电源给定控制器的输出信号通过2脚、3 脚传送至电源给定输入端，使电源正常工作；当有光信号时，表示有异常glitch打火情况， DG303ACWE的6脚为高电平，4脚与5脚连通，2脚与3脚断开，从而电源给定控制器的地信号 通过5脚、4脚传送至电源给定输入端，此时电源的输出立即为零。当异常glitch打火消失 后，需要电源回复原工作状态时，只需通过光纤取消光信号即可，即光信号消失，HFBR-2521 的1脚输出低电平，则DG303的4脚与5脚断开，2脚与3脚连通，这时电源正常接收电源给 定控制器的输出给定。 电源给定控制器：电源给定控制器一般由单片机或DSP构成，最简单的电源给定 控制器是一个电位计。以电位计为例，如图3所示，电位计最大可输出10V，最小可输出0V， 这样，将电位计的输出与电源给定输入端相连，则滑动电位计时，电源的输入给定就可设定 为0-10V的任意值。对于电源，若其输入给定为10V时，电源最大输出为30kV，则可得到电 源输出与输入给定值的计算公式：【主权项】1. 一种电源快速关断电路，其特征在于，包括光信号接收与转换单元、模拟开关控制 单元；所述光信号接收与转换单元包括光纤收发器；所述光纤收发器的第一输出端与模拟 开关的一个控制端连接，所述光纤收发器的第二输出端通过电阻与所述控制端连接；所述 模拟开关的其中两个输入端分别与电源给定控制器的接地端、电源给定控制器的输出端连 接；上述两个输入端对应的输出端均与电源给定输入端连接。2. 根据权利要求1所述的电源快速关断电路，其特征在于，所述光纤收发器的电源端 接+5V电源，所述光纤收发器的接地端接地；所述光纤收发器的接地端与电容一端连接，所 述电容另一端接所述+5V电源。3. 根据权利要求1或2所述的电源快速关断电路，其特征在于，所述模拟开关型号为 DG303ACWE。4. 根据权利要求1或2所述的电源快速关断电路，其特征在于，所述光纤收发器的型号 为 HFBR-2521。【专利摘要】本技术公开了一种电源快速关断电路，包括光信号接收与转换单元、模拟开关控制单元；所述光信号接收与转换单元包括光纤收发器；所述光纤收发器的第一输出端与模拟开关的一个控制端连接，所述光纤收发器的第二输出端通过电阻与所述控制端连接；所述模拟开关的其中两个输入端分别与电源给定控制器的接地端、电源给定控制器的输出端连接；上述两个输入端对应的输出端均与电源给定输入端连接。本技术结构简单、成本低、可靠性好：使用光纤传递触发信号，仅由几个器件构成，抗干扰能力强；响应及时。【IPC分类】H02H3-22【公开号】CN204271612【申请号】CN201420813491【专利技术人】王高腾 【申请人】北京中科信电子装备有限公司【公开日】2015年4月15日【申请日】2014年12月22日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电源快速关断电路，其特征在于，包括光信号接收与转换单元、模拟开关控制单元；所述光信号接收与转换单元包括光纤收发器；所述光纤收发器的第一输出端与模拟开关的一个控制端连接，所述光纤收发器的第二输出端通过电阻与所述控制端连接；所述模拟开关的其中两个输入端分别与电源给定控制器的接地端、电源给定控制器的输出端连接；上述两个输入端对应的输出端均与电源给定输入端连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王高腾，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11