一种蓝宝石晶体生长装置制造方法及图纸

技术编号:11289126 阅读:156 留言:0更新日期:2015-04-11 15:05
本实用新型专利技术涉及一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,真空室的左侧下部设置有抽真空口,真空室右侧上部设置有测温孔,真空室内部设置有加热器,加热器的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏,加热器内放置有坩埚,坩埚内装有多晶原料,多晶原料内放置有蓝宝石晶体,蓝宝石晶体上放置有籽晶,籽晶连接有提拉杆,坩埚下方设置有旋转平台,旋转平台底部安装有丝杆,丝杆上套装有与丝杆相配合的轴,轴连接有旋转电机,真空室外设置有计时器,计时器连接有控制电机正转和反转的控制器,本实用新型专利技术设计简单,电机的控制实现了坩埚的旋转和上下移动,同时提拉杆对籽晶进行提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,使晶体的生长好,质量也高。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,真空室的左侧下部设置有抽真空口,真空室右侧上部设置有测温孔,真空室内部设置有加热器,加热器的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏,加热器内放置有坩埚,坩埚内装有多晶原料,多晶原料内放置有蓝宝石晶体,蓝宝石晶体上放置有籽晶,籽晶连接有提拉杆,坩埚下方设置有旋转平台,旋转平台底部安装有丝杆,丝杆上套装有与丝杆相配合的轴,轴连接有旋转电机,真空室外设置有计时器,计时器连接有控制电机正转和反转的控制器,本技术设计简单,电机的控制实现了坩埚的旋转和上下移动,同时提拉杆对籽晶进行提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,使晶体的生长好,质量也高。【专利说明】一种蓝宝石晶体生长装置
本技术属于晶体
,具体涉及生长装置,特别涉及一种蓝宝石晶体生长装置。
技术介绍
在蓝宝石晶体生长技术中,一般在保持坩祸静止不动,采用晶体提拉和旋转运动的方法来控制完成晶体的生长,但是在现有技术条件下,由于加热系统和保温系统因为制作精度、安装位置不能完全满足技术要求等因素,因此,整体而言,不能很好的保证拉晶过程中温度场的均匀、对称,从而影响晶体的稳定生长。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种设计简单、操作简便、生长环境好、生长质量高的蓝宝石晶体生长装置。 本技术的目的是这样实现的:一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,所述的真空室的左侧下部设置有抽真空口,真空室右侧上部设置有测温孔,所述的真空室内部设置有加热器,所述的加热器的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏,所述的加热器内放置有坩祸,所述的坩祸内装有多晶原料,所述的多晶原料内放置有蓝宝石晶体,所述的蓝宝石晶体上放置有籽晶,所述的籽晶连接有提拉杆,所述的坩祸下方设置有旋转平台,所述的旋转平台底部安装有丝杆,所述的丝杆上套装有与丝杆相配合的设置有内螺纹的轴,所述的轴连接有旋转电机,所述的真空室外设置有计时器,所述的计时器连接有控制电机正转和反转的控制器。 所述的真空室内设置有观察窗。 所述的计时器的计时时间为一分钟。 所述的丝杆和旋转平台为一体结构。 所述的旋转平台的两端均设置有挡板。 所述的计时器连接有外接电源接口。 本技术的有益效果:本技术设计简单,整个生长装置均处于真空的状态,设置有抽真空口,为工作人员提供方便,设置有加热器,将坩祸内多晶原料加热融化,加热器的底部以及左右两侧均可以加热,不仅保证了加热的均匀性,更保证了加热的对称性,设置有保温屏,更好的利用热量,坩祸底部设置有旋转平台,真空室外设置有计时器,通过计时器控制控制器,从而控制电机的正转或反转,由于设置有丝杆,这样不仅保证了坩祸的旋转还实现了坩祸的上下移动,同时提拉杆对籽晶进行上下提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,有利于蓝宝石晶体的完美生长,不仅晶体的生长好,质量也高,另外旋转平台两端设置有挡板,保证了坩祸的稳定性,为蓝宝石的生长提供稳定的环境,设置有测温孔,方便工作人员控制温度,总之本技术具有设计简单、受热均匀、生长环境好,生长质量高的优点。 【专利附图】【附图说明】 图1是本技术一种蓝宝石晶体生长装置的结构示意图。 图中:丨、真空室2、抽真空口 3、测温孔4、加热器 5、保温屏 6、坩祸7、多晶原料8、蓝宝石晶体9、籽晶10、提拉杆11、旋转平台12、丝杆13、轴14、旋转电机15、计时器16、控制器。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术做进一步的说明。 实施例1 如图1所示,一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室1,所述的真空室I的左侧下部设置有抽真空口 2,真空室I右侧上部设置有测温孔3,所述的真空室I内部设置有加热器4,所述的加热器4的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏5,所述的加热器4内放置有坩祸6,所述的坩祸6内装有多晶原料7,所述的多晶原料7内放置有蓝宝石晶体8,所述的蓝宝石晶体8上放置有籽晶9,所述的籽晶9连接有提拉杆10,所述的坩祸下6方设置有旋转平台11,所述的旋转平台11底部安装有丝杆12,所述的丝杆12上套装有与丝杆12相配合的设置有内螺纹的轴13,所述的轴13连接有旋转电机14,所述的真空室I外设置有计时器15,所述的计时器15连接有控制电机14正转和反转的控制器16。 本技术设计简单,整个生长装置均处于真空的状态,设置有抽真空口,为工作人员提供方便,设置有加热器,将坩祸内多晶原料加热融化,加热器的底部以及左右两侧均可以加热,不仅保证了加热的均匀性,更保证了加热的对称性,设置有保温屏,更好的利用热量,坩祸底部设置有旋转平台,真空室外设置有计时器,通过计时器控制控制器,从而控制电机的正转或反转,由于设置有丝杆,这样不仅保证了坩祸的旋转还实现了坩祸的上下移动,同时提拉杆对籽晶进行上下提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,有利于蓝宝石晶体的完美生长,不仅晶体的生长好,质量也高,设置有测温孔,方便工作人员控制温度,总之本技术具有设计简单、受热均匀、生长环境好,生长质量高的优点。 实施例2 如图1所示,一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室1,所述的真空室I的左侧下部设置有抽真空口 2,真空室I右侧上部设置有测温孔3,所述的真空室I内部设置有加热器4,所述的加热器4的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏5,所述的加热器4内放置有坩祸6,所述的坩祸6内装有多晶原料7,所述的多晶原料7内放置有蓝宝石晶体8,所述的蓝宝石晶体8上放置有籽晶9,所述的籽晶9连接有提拉杆10,所述的坩祸下6方设置有旋转平台11,所述的旋转平台11底部安装有丝杆12,所述的丝杆12上套装有与丝杆12相配合的设置有内螺纹的轴13,所述的轴13连接有旋转电机14,所述的真空室I外设置有计时器15,所述的计时器15连接有控制电机14正转和反转的控制器16。 所述的真空室I内设置有观察窗。 所述的计时器15的计时时间为一分钟。 所述的丝杆12和旋转平台11为一体结构。 所述的旋转平台11的两端均设置有挡板。 所述的计时器15连接有外接电源接口。 本技术设计简单,整个生长装置均处于真空的状态,设置有抽真空口,为工作人员提供方便,设置有加热器,将坩祸内多晶原料加热融化,加热器的底部以及左右两侧均可以加热,不仅保证了加热的均匀性,更保证了加热的对称性,设置有保温屏,更好的利用热量,坩祸底部设置有旋转平台,真空室外设置有计时器,通过计时器控制控制器,从而控制电机的正转或反转,由于设置有丝杆,这样不仅保证了坩祸的旋转还实现了坩祸的上下移动,同时提拉杆对籽晶进行上下提拉,保证晶体生长环境温度均匀性,有利于蓝宝石晶体的完美生长,不仅晶体的生长好,质量也高,丝杆和旋转平台为一体结构,保证整个旋转平台的稳定性,另外旋转平台两端设置有挡板,保证了坩祸的稳定性,为蓝宝石的生长提供稳定的环境,设置有测温孔,方便工作人员控制温度,设置有观察窗,方便工作人员及时了解晶体生长情况,总之本技术具有设计简单、受热均匀、生长环境好,生长质量高的优点。【权利要求】1.一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,其特征在于:所述的真空室的左侧下部设置有抽真本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石晶体生长装置,它包括真空室,其特征在于:所述的真空室的左侧下部设置有抽真空口,真空室右侧上部设置有测温孔,所述的真空室内部设置有加热器,所述的加热器的上方设置有由高纯特种石墨制成的保温屏,所述的加热器内放置有坩埚,所述的坩埚内装有多晶原料,所述的多晶原料内放置有蓝宝石晶体,所述的蓝宝石晶体上放置有籽晶,所述的籽晶连接有提拉杆,所述的坩埚下方设置有旋转平台,所述的旋转平台底部安装有丝杆,所述的丝杆上套装有与丝杆相配合的设置有内螺纹的轴,所述的轴连接有旋转电机,所述的真空室外设置有计时器,所述的计时器连接有控制电机正转和反转的控制器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙占喜李吾臣李莉蔺崇召
申请(专利权)人:河南晶格光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:河南;41

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