一种高通量微区快速热处理设备及其热处理方法技术

本发明专利技术涉及一种高通量微区快速热处理设备，包括驱动装置、激光加热源、加热源调制装置、光学调整装置。本发明专利技术中的高通量微区快速热处理设备采用驱动装置带动样品运动，使得在不更换样品的情况下，将样品上每个样品单元微区移动到加热位置进行热处理，效率非常高，与传统热处理装置相比能够节省大量的时间和能源。本发明专利技术中高通量微区快速热处理设备的热处理方法，利用驱动装置移动样品以使得样品上不同的样品单元上的样品材料分别利用激光加热源进行热处理，如此可以完成大量的样品的热处理，且在热处理过程中针对不同的样品材料能够灵活调整热处理参数。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高通量微区快速热处理设备，其特征在于：包括：驱动装置，用于带动需要进行热处理的样品(1)运动；激光加热源(2)，用于样品(1)上、各样品单元微区上的样品材料加热；加热源调制装置(3)，与所述激光加热源(2)相配合使用，用于调制激光加热源(2)的强度和频率；光学调整装置，设置于所述加热调制装置和需要热处理的样品(1)间，用于加热激光束及样品升温辐射的红外电磁波的光学处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张海涛，张晓琨，向勇，
申请(专利权)人：宁波英飞迈材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33