太阳电池夹具用静电荷移除制造技术

一种制造系统包含龙门架模块，具有用于将工件从传送机系统移动到工作区的末端执行器，例如，交换模块。交换模块从装载锁移除已处理的工件的矩阵且将未处理的工件的矩阵放置在其位置。接着通过龙门架模块将已处理的工件移动回到传送机。归因于操作速度，末端执行器可能累积过量静电荷。为了移除此累积电荷，接地导电刷子策略性地定位，以使得当末端执行器在正常操作期间移动时，其与刷子接触，移除末端执行器上的累积电荷，而不影响产量。在另一实施例中，当交换模块将矩阵移动到装载锁且从装载锁移动矩阵时，末端执行器在刷子上方移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种制造系统包含龙门架模块，具有用于将工件从传送机系统移动到工作区的末端执行器，例如，交换模块。交换模块从装载锁移除已处理的工件的矩阵且将未处理的工件的矩阵放置在其位置。接着通过龙门架模块将已处理的工件移动回到传送机。归因于操作速度，末端执行器可能累积过量静电荷。为了移除此累积电荷，接地导电刷子策略性地定位，以使得当末端执行器在正常操作期间移动时，其与刷子接触，移除末端执行器上的累积电荷，而不影响产量。在另一实施例中，当交换模块将矩阵移动到装载锁且从装载锁移动矩阵时，末端执行器在刷子上方移动。【专利说明】太阳电池夹具用静电荷移除
本专利技术涉及工件处置，且更明确地说，涉及在高产量应用中从工件处置设备移除静电荷。
技术介绍
离子注入为用于将更改导电性的杂质引入到工件中的标准技术。在离子源中使所要杂质材料离子化，使离子加速以形成指定能量的离子束，且将所述离子束对准工件的表面。所述离子束中的高能离子穿透到工件材料的主体中且嵌入到工件材料的晶格中以形成具有所要导电性的区域。 离子注入已证明为用以对太阳电池掺杂的可行方法。太阳电池制造产业的两个问题为制造产量以及电池效率。电池效率测量转换为电力的太阳能的量。可能需要较高电池效率以在太阳电池制造产业中保持竞争性。然而，不能为了提高电池效率而牺牲制造产量。 使用离子注入移除现有太阳电池技术所需要的处理步骤(例如，扩散炉)。举例来说，如果使用离子注入来取代炉扩散，那么可移除激光边缘隔离步骤，这是因为离子注入将仅对所要表面掺杂。离子注入还提供执行太阳电池的整个表面的毯覆式注入或仅太阳电池的部分的选择性(或图案化)注入的能力。在高产量下使用离子注入的选择性注入避免用于炉扩散的昂贵且耗时的光刻或图案化步骤。选择性注入还实现新太阳电池设计。此外，已使用离子注入来制造具有较高电池效率的太阳电池。 因此，对离子注入器的制造产量或其可靠性的任何改进对于全世界的太阳电池制造商将为有益的。这可加速采用太阳电池作为替代能源。
技术实现思路
一种制造系统包含龙门架模块，具有用于将工件从传送机系统移动到工作区的末端执行器，例如，交换模块。所述交换模块从装载锁移除已处理的工件的矩阵且将未处理的工件的矩阵放置在其位置。接着通过所述龙门架模块将所述已处理的工件移动回到所述传送机。归因于操作速度，所述末端执行器可能累积过量静电荷。为了移除此累积电荷，接地导电刷子策略性地定位，以使得当所述末端执行器在正常操作期间移动时，其与这些刷子接触。这移除所述末端执行器上的此累积电荷，而不影响产量。在另一实施例中，当所述交换模块将矩阵移动到所述装载锁且从所述装载锁移动矩阵时，所述末端执行器在所述刷子上方移动。 【专利附图】【附图说明】 为了更好地理解本揭示，结合了相应的附图作为参考，其中: 图1为工件处置系统的第一实施例的透视图； 图2为图1所说明的工件处置系统的第一实施例的俯视透视图； 图3为图1所说明的工件处置系统的第一实施例的侧视透视图； 图4A到图4E说明使用图1到图3所说明的工件处置系统进行的工件处置的一个实施例； 图5A到图5E说明使用图6所说明的工件处置系统进行的工件处置的实施例；以及 图6为如图1所说明的龙门架模块的实施例。 【具体实施方式】 本文中结合太阳电池工件描述工件处置系统。然而，实施例可与其它工件一起使用，例如，半导体芯片、发光二极管(light emitting d1des ;LED)、绝缘体上娃(silicon-on-1nsulator ；S0I)芯片或其它装置。工件处置系统可与离子注入器或与像沉积、蚀刻或其它工件处理系统等其它处理设备一起使用。因此，本专利技术不限于下文描述的具体实施例。 图1到图3所说明的示范性工件处置系统100可使用4X4工件矩阵处理大于约2000个芯片/小时(wph)。当然，可使用其它工件矩阵设计且本文中的实施例不仅限于4X 4矩阵。还可使用其它大小，例如，2X2或2X4矩阵。这些附图表示工件处置系统，下文将更详细地描述所述工件处置系统的个别组件。图1显示带模块、龙门架模块、矩阵、构建站、交换机器人以及装载锁的透视图。图2和图3分别显示这些组件的俯视图和侧视图。 此工件矩阵101可放置在具有个别狭槽或凹陷部以固持工件的承载器中。在替代实施例中，不存在用于工件的承载器。矩阵101替代地在处理之前和处理期间由机器人或其它构件处置。在此实例中，矩阵可固持在静电或机械夹钳上，或通过重力固持。 此工件处置系统100从运输盒(cassette)或其它接口转移工件，构建矩阵101，且将矩阵101移动到装载锁102中。还可通过工件处置系统100执行逆向过程以将工件转移回到运输盒或其它接口。装载锁102连接到离子注入器或某一其它处理工具。 在此实施例中，三个带模块106a、106b、106c可从运输盒运输工件。工件的运输可按指定速度、间隔或间距执行。机器人可用以将工件放置到带模块106a、106b、106c上。 接地且导电的刷子136(例如，碳纤维刷子)的数组可位于邻近带模块106之间。尽管图1到图2中仅说明这些刷子136中的一个，但可使用多个刷子136，且这些刷子136中的一个可位于邻近带模块106中的每一个之间。还可使用其它合适的导电材料。这些刷子的厚度可足以确保刷子在持久使用之后不会变形或断裂。这些刷子136可足够高以确保与末端执行器接触，但不会高到不利地接触邻近组件。在一些实施例中，刷子136比末端执行器的长度(沿着其最长尺寸)长，以使得当末端执行器105通过刷子136上方时，夹具的所有表面都被接触。当然，可使用较短数组，然而，将需要末端执行器105的额外移动以确保夹具的所有表面都接触刷子136。在夹具稍微间隔开的情况下，刷子136的数组可在其中具有对应于夹具之间的间隔的间隙。换句话说，尽管可使用刷子136的连续线性数组，但其它配置也是可能的。每一刷子136的远程用以在末端执行器105在刷子136上方移动时接触末端执行器105。每一刷子136的近端电连接到接地。 可通过将导线从刷子136连接到框架上的接地点而建立接地连接。在一个实施例中，刷子136可卷曲到金属条中。此金属条可具有接地导线可连接到的通孔或螺孔。此接地导线可为在每一末端具有合适附件(例如，环形接线片)的任何标准导电线。导线的远程可连接到工件处置设备100的框架上的合适接地位置，其可系接到接地。 在带模块106a、106b、106c的末尾，相机107以及控制器用以确定工件中的每一个的位置且用以确定在转移到矩阵101期间是否需要校正工件的位置或定向。在其它实施例中，可使用超过三个或少于三个带模块106a、106b、106c。这些带模块106a、106b、106c中的每一个可被指定用于装载或卸除工件或可用于装载和卸除两个。 龙门架模块108例如通过使用静电力、机械力或真空力从带模块106a、106b、106c抓取工件且构建矩阵101。龙门架模块108可在三个维度上移动且还可实现旋转运动。此龙门架模块108可使用来自相机107以及控制器的信息来校正工件的位置或定向。龙门架模块108还可将工件从矩阵101移除以放置到带模块10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件处置系统，包括用于将多个工件从第一位置移动到第二位置的龙门架模块，所述龙门架模块包括：末端执行器，具有用于抓取所述工件的一个以上夹具；致动器，移动所述末端执行器；以及刷子，接地且导电，位于所述末端执行器可到达的位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：杰森·夏勒，罗伯特·布然特·宝佩特，
申请(专利权)人：瓦里安半导体设备公司，
类型：发明
国别省市：美国;US