闪烁器面板以及放射线检测器制造技术

在本发明专利技术所涉及的闪烁器面板(2A)中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板(11)成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性题。另外，在该闪烁器面板(2A)中以覆盖玻璃基板(11)的表面整体的形式形成有机树脂层(12)。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板(11)的侧面(11c)的杂散光之外，还变得能够通过将有机树脂层(12)形成于表面整体从而抑制由于形成了闪烁器层(13)之后的内部应力引起的玻璃基板(11)的翘曲。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闪烁器面板以及放射线检测器
本专利技术涉及闪烁器面板以及放射线检测器。
技术介绍
作为现有的闪烁器面板有例如专利文献1所记载的闪烁器面板。在现有的结构中，作为闪烁器层的支撑体是使用0.05mm的玻璃基板。另外，缓和来自框体外部的力的缓冲材料和刚性比闪烁器层更高的高刚性构件被配置于框体与闪烁器层之间。另外，在专利文献2所记载的闪烁器面板中，以聚酰亚胺类树脂膜或者聚对二甲苯膜覆盖的石墨基板被作为支撑体来进行使用。再有，在专利文献3所记载的闪烁器面板中，由无定形碳构成的基板的整个面被聚对二甲苯膜等中间膜覆盖。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-58124号公报专利文献2：国际公开WO2009/028275号册子专利文献3：日本特开2007-279051号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题例如关于适用于被称作为薄膜晶体管(TFT)面板的固体检测器的闪烁器面板，要求能够满足相对于固体检测器的形状追随性的可挠性。另外，如果在TFT面板的热膨胀系数与闪烁器面板的基板的热膨胀系数之间存在着差异的话，则闪烁器面板的基板上的细微伤痕、或由在通过蒸镀来形成闪烁器层13的情况下产生的异常生长部分而在与TFT面板之间产生的伤痕会由于工作时的热而相对于受光面发生移动，并且可能会产生所谓校正的工夫变得繁杂的问题。为了解决像这样的可挠性的问题或热膨胀系数的问题，例如可以考虑将厚度为150μm以下的极薄玻璃作为闪烁器面板的基板来使用。然而，在使用极薄玻璃的情况下，玻璃的端部(边缘部分)相对于冲击而会有发生发脆、缺损或龟裂的问题。本专利技术为了解决上述技术问题而完成，其目的在于提供一种既能够防止玻璃基板发生缺损或龟裂又能够确保可挠性的闪烁器面板以及使用了该闪烁器面板的放射线检测器。解决技术问题的手段为了解决上述技术问题，本专利技术所涉及的闪烁器面板的特征在于，具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板、以覆盖玻璃基板的表面整体的形式形成的第1有机树脂层、在形成有第1有机树脂层的玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层、以覆盖形成有第1有机树脂层的玻璃基板和闪烁器层的整体的形式形成的耐湿性的保护层。在该闪烁器面板中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该闪烁器面板中以覆盖玻璃基板的表面整体的形式形成第1有机树脂层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面的杂散光之外，还变得能够通过将第1有机树脂层形成于表面整体从而抑制玻璃基板的翘曲。另外，在上述闪烁器面板中，第1有机树脂层可以选自聚对二甲苯以及聚脲。另外，树脂薄膜层优选被贴附于形成有第1有机树脂层的玻璃基板的另一面侧与保护层之间。在此情况下，能够由树脂薄膜层来进一步补强玻璃基板。另外，通过树脂薄膜层处于玻璃基板的另一面侧，从而就能够消除闪烁器层的内部应力，并且能够更加有效地抑制玻璃基板的翘曲。另外，树脂薄膜层优选被贴附于形成有第1有机树脂层的玻璃基板的一面侧与闪烁器层之间。在此情况下，能够由树脂薄膜层来进一步补强玻璃基板。另外，到达玻璃基板的另一面侧的光的透过性被保持，并且能够维持分辨率。另外，在上述闪烁器面板中，树脂薄膜层可以选自PET、PEN、COP以及PI。另外，优选以覆盖形成有第1有机树脂层的玻璃基板的另一面侧和侧面侧的形式形成第2有机树脂层。由此，就能够进一步补强玻璃基板，并且能够更加有效地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，通过第2有机树脂层被形成于玻璃基板的另一面侧和侧面侧，从而就能够进一步提高杂散光的防止效果以及玻璃基板翘曲的抑制效果。另外，优选以覆盖形成有第1有机树脂层的玻璃基板的一面侧和侧面侧的形式形成第2有机树脂层。由此，玻璃基板被补强，并且能够更加有效地抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。另外，通过第2有机树脂层被形成于玻璃基板的另一面侧和侧面侧，从而既能够提高杂散光的防止效果又能够保持光到达玻璃基板的另一面侧的透过性，并且能够维持分辨率。另外，在上述闪烁器面板中，第2有机树脂层可以选自硅树脂、聚氨酯树脂、环氧树脂以及氟树脂。另外，本专利技术所涉及的放射线检测器的特征在于，具备：以上所述的闪烁器面板、与形成有保护层的闪烁器层相对配置的受光元件。在该放射线检测器中，通过厚度为150μm以下的玻璃基板成为闪烁器面板的支撑体从而就能够获得优异的放射线透过性以及可挠性，并且还能够缓和热膨胀系数的问题。另外，在该放射线检测器中，以覆盖玻璃基板的表面整体的形式形成第1有机树脂层。由此，玻璃基板被补强并且能够抑制边缘部分缺损或龟裂的发生。再有，除了能够防止来自玻璃基板的侧面地杂散光之外，通过将第1有机树脂层形成于表面整体从而变得能够抑制玻璃基板发生翘曲。专利技术效果根据本专利技术则既能够防止玻璃基板发生缺损或龟裂又能够确保可挠性。附图说明图1是表示本专利技术的第1实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。图2是表示本专利技术的第2实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。图3是表示本专利技术的第3实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。具体实施方式以下是参照附图并就本专利技术所涉及的闪烁器面板以及放射线检测器的优选的实施方式进行详细说明。[第1实施方式]图1是表示本专利技术的第1实施方式所涉及的放射线检测器结构的截面图。如该图所示，放射线检测器1A通过将受光元件3固定于闪烁面板2A来构成。受光元件3例如是将光电二极管(PD)和薄膜晶体管(TFT)排列于玻璃基板上而构成的TFT面板。受光元件3以受光面3a相对于闪烁器面板2A中的后述的闪烁器层13进行相对的形式被贴附于闪烁面板2A的一面侧。还有，作为受光元件3除了TFT面板之外还可以使用通过光学纤维面板(Fiberopticplate)(FOP：将数微米的光纤做成束的光学装置，例如可以列举浜松光子学株式会社制的J5734)来连接CCD等图像传感器的光学器件。闪烁器面板2A是由以下所述构件来构成的：成为支撑体的玻璃基板11、保护玻璃基板11的有机树脂层(第1有机树脂层)12、将入射的放射线转换成可见光的闪烁器层13、保护闪烁器层13受湿气侵袭的耐湿性的保护层14。玻璃基板11是一种例如厚度为150μm以下优选为100μm以下的极薄的基板。通过玻璃基板11的厚度变得极薄从就能够获得充分的放射线透过性以及可挠性，并且能够确保在对受光元件3的受光面3a实行贴附的时候的对闪烁器面板2A的追随性。有机树脂层12例如以通过对聚对二甲苯和聚脲等实施气相沉积(例如蒸镀)从而覆盖玻璃基板11的整个面的形式形成。有机树脂层12的厚度例如成为十～数十μm的程度。闪烁器层13例如通过由蒸镀法来使掺杂了Tl的CsI柱状结晶生长并沉积从而被形成于形成有有机树脂层12的玻璃基板11的一面11a侧。闪烁器层13的厚度例如成为250μm。闪烁器层13吸湿性强，如果就这样露出的话则恐怕会由于空气中的湿气而发生潮解。为此，对闪烁器层13来说耐湿性的保护层14就成为了必要。保护层14例如通过使用CVD法等气相沉积法来使聚对二甲苯等生长，从而以覆盖形成有有机树脂层12的玻璃基板11和闪烁器层13的形式形成。保护层14的厚度例如成为10μm左右。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闪烁器面板，其特征在于：具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板；以覆盖所述玻璃基板的表面整体的形式形成的第1有机树脂层；在形成有所述第1有机树脂层的所述玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层；以及以覆盖形成有所述第1有机树脂层的所述玻璃基板并且覆盖所述闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.07.20 JP 2012-1617621.一种闪烁器面板，其特征在于：具备：具有放射线透过性的厚度为150μm以下的玻璃基板；以覆盖所述玻璃基板的表面整体的形式形成的第1有机树脂层；在形成有所述第1有机树脂层的所述玻璃基板的一面侧形成的闪烁器层；以及以覆盖形成有所述第1有机树脂层的所述玻璃基板并且覆盖所述闪烁器层的形式形成的耐湿性的保护层，树脂...

【专利技术属性】
技术研发人员：上西秀典，式田宗功，楠山泰，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP