【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，该系统用以对产品规格进行采样检测，产品流经预设工艺条件的预设腔体，该系统的第一比较单元用以分别将每个计数器当前的计数值与计数器对应的警告值进行比较，获取第一比较结果；第二比较单元用以分别将每个计数器当前的计数值与计数器对应的上限值进行比较，获取第二比较结果；采样单元用以根据预设采样策略对流经预设腔体的产品进行采样；处理单元，用以根据比较结果控制采样单元。采用计数器对流经预设工艺条件的预设腔体的产品进行计数，通过第一比较单元和第二比较单元实现智能判断，根据判断结果对流经相应的预设腔体的产品规格进行采样检测，提高了产品规格采样的均匀性。【专利说明】
本专利技术设及生产控制领域，尤其设及一种可提高多腔体工艺设备作业后产品规格 的。
技术介绍
在半导体产品制造中，现有检测采样的方法普遍采用固定检测采样对象的方式在 整批产品中选取固定位置的个体进行检测。在多腔体设备作业后，由于每批产品的数目和 作业腔体的数目都会不断变换，固定位置的采样很容易存在死角，导致个别腔体长时间没 有被检测到如表1所示： 表 1 【权利要求】1. 一种检测采样系统，用以对产品规格进行采样检测，所述产品流经预设工艺条件的 预设腔体，其特征在于，包括： 复数个计数器，所述计数器用以对经过预设工艺条件的所述预设腔体的所述产品进行 累加计数，每个所述计数器分别对应一上限值和一警告值； 存储单元，连接所述计数器，用以存储复数个所述计数器对应的所述警告值； 第一比较单元，分别与复数个所述计数器和所述存储单元连接，用以分别将每个所述...
【技术保护点】
一种检测采样系统，用以对产品规格进行采样检测，所述产品流经预设工艺条件的预设腔体，其特征在于，包括：复数个计数器，所述计数器用以对经过预设工艺条件的所述预设腔体的所述产品进行累加计数，每个所述计数器分别对应一上限值和一警告值；存储单元，连接所述计数器，用以存储复数个所述计数器对应的所述警告值；第一比较单元，分别与复数个所述计数器和所述存储单元连接，用以分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述警告值进行比较，获取第一比较结果；采样单元，用以根据预设采样策略对流经所述预设腔体的所述产品进行采样；处理单元，分别与所述第一比较单元、所述计数器、所述采样单元和复数个所述计数器连接，用以根据所述第一比较结果控制所述采样单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：江旻，曾林华，任昱，吕煜坤，朱骏，张旭升，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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