抑制三银玻璃放电的二极管箱制造技术

技术编号:11225243 阅读:118 留言:0更新日期:2015-03-27 22:21
本实用新型专利技术提供抑制三银玻璃放电的二极管箱,包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元,每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元,每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容;两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的阴极,二极管整流单元的阴极接地。本实用新型专利技术具有的优点和积极效果是:减少三银夹层镀膜产品的放电,抑制放电效果明显,提高产品成品率,从而降低生产成本;二极管箱结构简单,制作成本低,安装方便,不需要增加任何控制系统,使用方便。

【技术实现步骤摘要】
抑制三银玻璃放电的二极管箱
本技术属于玻璃深加工
,尤其是涉及一种抑制三银玻璃放电的二极管箱。
技术介绍
在普通的镀膜玻璃生产中,生产大板玻璃和三银夹层玻璃时极易出现玻璃放电现象,出现放电现象后在玻璃表面形成一种放电的痕迹,出现此放电痕迹后会造成此片镀膜玻璃报废,如果是夹层玻璃会造成很大成本的浪费,给工厂带来很大的损失。 目前解决常规放电问题的方法有辊道绝缘,针对平面靶使用直流脉冲电源等方法,辊道绝缘法就是在换靶时通过清洁辊道溅射物,更换绝缘不良的轴承,以及更换辊道等办法。但做完绝缘后当时测量绝缘正常,生产一段时间后没有到一个换靶周期就会出现绝缘不良现象,导致放电现象复发。平面靶使用直流脉冲电源是将原平面靶使用的直流电源输出电压由稳定的直流输出变成脉动的方波形状,减小玻璃表面膜层电位与腔室的电位差,从而减少放电现象的产生。但从实际情况看,抑制放电的效果并不理想,而且不适用于除平面靶之外的其他靶。
技术实现思路
针对镀膜玻璃生产过程中放电问题,本技术提供一种抑制三银玻璃放电的二极管箱。 为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是: 抑制三银玻璃放电的二极管箱,包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元,每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元,每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容; 两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的旋转阴极,二极管整流单元的阴极接地。 优选的,所述两组二极管整流单元的二极管均安装在内部含有冷却水道的铝板上,所述铝板的冷却水道连接在冷却水管上,所述铝板安装在一箱体内。 优选的,每组所述二极管整流单元包含四个二极管并联单元。 本技术具有的优点和积极效果是: 减少三银夹层镀膜产品的放电,抑制放电效果明显,提高产品成品率,从而降低生产成本; 二极管箱结构简单,制作成本低,安装方便,不需要增加任何控制系统,使用方便。 【附图说明】 图1是本技术的电路原理图; 图2是本技术中频电源的输出波形; 图3是本技术并接二极管箱后的输出波形; 图4是不加二极管箱时打弧的电压图; 图5是加二极管箱后打弧的电压图。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术的具体实施例做详细说明。 本技术是在现有的玻璃深加工技术上为避免工艺缺陷的背景下产生的,具体是由于生产三银镀膜玻璃时出现在玻璃表面的膜层下放电的现象,造成玻璃报废。放电现象一般发生在玻璃的边缘部位,在膜层间形成放射状的放电痕迹,出现玻璃放电后会造成玻璃报废,尤其生产三银夹层产品时由于放电造成玻璃报废,造成很严重的成本损失。 为解决上述问题,本技术提供的技术方案是抑制三银玻璃放电的二极管箱,如图1所示,包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元,每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元,每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容,并联的电阻和电容起滤波作用; 两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的旋转阴极,二极管整流单元的阴极接地;如图2所示为中频电源的输出波形,图3为中频电源并接二极管箱后的输出波形。 为了减少二极管产生的热量,所述两组二极管整流单元的二极管均安装在内部含有冷却水道的铝板上,所述铝板的冷却水道连接在冷却水管上,所述铝板安装在一箱体内。 为了达到更好的抑制放电效果,每组所述二极管整流单元包含四个二极管并联单 J Li ο 生产三银产品时不同膜层(导电介质层和非导电介质层)之间形成了一个电容,增加二极管箱的主要作用是减少相邻平面靶与旋转靶之间的电势差,从而减少玻璃膜层间的电压差,起到减少放电的作用,从而减少放电现象的产生。生产三银产品时共使用两个二极管箱,放在第三层银前面和后面的旋转靶上试验,使用二极管箱前后打弧的电压效果分别如图4、5所示,使用二极管箱前生产三银夹层产品的放电比例为50%左右,安装二极管箱后生广同样广品时放电比例可减小到5%左右。提闻了成品率,提闻了生广效率,降低了生产成本。 以上对本技术的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本技术的较佳实施例,不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本技术的专利涵盖范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
抑制三银玻璃放电的二极管箱,其特征在于:包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元,每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元,每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容;两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的旋转阴极,二极管整流单元的阴极接地。

【技术特征摘要】
1.抑制三银玻璃放电的二极管箱,其特征在于:包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元,每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元,每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容; 两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的旋转阴极,二极管整流单元的阴极接地...

【专利技术属性】
技术研发人员:彭立群王烁齐士新王健
申请(专利权)人:天津南玻节能玻璃有限公司中国南玻集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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