【技术实现步骤摘要】
抑制三银玻璃放电的二极管箱
本技术属于玻璃深加工
,尤其是涉及一种抑制三银玻璃放电的二极管箱。
技术介绍
在普通的镀膜玻璃生产中,生产大板玻璃和三银夹层玻璃时极易出现玻璃放电现象,出现放电现象后在玻璃表面形成一种放电的痕迹,出现此放电痕迹后会造成此片镀膜玻璃报废,如果是夹层玻璃会造成很大成本的浪费,给工厂带来很大的损失。 目前解决常规放电问题的方法有辊道绝缘,针对平面靶使用直流脉冲电源等方法,辊道绝缘法就是在换靶时通过清洁辊道溅射物,更换绝缘不良的轴承,以及更换辊道等办法。但做完绝缘后当时测量绝缘正常,生产一段时间后没有到一个换靶周期就会出现绝缘不良现象,导致放电现象复发。平面靶使用直流脉冲电源是将原平面靶使用的直流电源输出电压由稳定的直流输出变成脉动的方波形状,减小玻璃表面膜层电位与腔室的电位差,从而减少放电现象的产生。但从实际情况看,抑制放电的效果并不理想,而且不适用于除平面靶之外的其他靶。
技术实现思路
针对镀膜玻璃生产过程中放电问题,本技术提供一种抑制三银玻璃放电的二极管箱。 为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是: 抑制三银玻璃放电的二极管箱,包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元,每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元,每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容; 两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的旋转阴极,二极管整流单元的阴极接地。 优选的,所述两组二极管整流单元的二极管均安装在内部含有冷却水道的铝板上,所述铝板的冷却水道连接在冷却 ...
【技术保护点】
抑制三银玻璃放电的二极管箱,其特征在于:包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元,每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元,每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容;两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的旋转阴极,二极管整流单元的阴极接地。
【技术特征摘要】
1.抑制三银玻璃放电的二极管箱,其特征在于:包括两组并联在中频电源输出端的二极管整流单元,每组二极管整流单元包括依次串联的若干二极管并联单元,每个二极管并联单元包括两个并联的大功率的二极管和二极管两端并联的一电阻和一电容; 两组二极管整流单元的阳极分别连接两个旋转靶的旋转阴极,二极管整流单元的阴极接地...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭立群,王烁,齐士新,王健,
申请(专利权)人:天津南玻节能玻璃有限公司,中国南玻集团股份有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。