一种翻转台制造技术

本实用新型专利技术涉及到硅片的制造领域，公开了一种翻转台。该翻转台包括：承载硅片的载台，且载台上设置有与每个硅片对应的多个通孔，且每个通孔内穿设有用于顶起硅片的顶针；驱动顶针伸缩的驱动装置；翻转装置，包括：拾取臂，驱动拾取臂绕其轴线转动的旋转驱动装置；其中，拾取臂上设置有与每个硅片对应的至少一个吸取口，每个吸取口与真空泵连接。在上述技术方案中，通过采用翻转装置对硅片进行翻转，使得硅片在加热时，无需从炉内取出，直接可以翻转，从而提高了硅片加热的效率，同时，避免了人工翻转硅片造成的时间浪费以及由于人工翻转易造成的硅片破损等情况的出现，提高了硅片加热后的成品率。

【技术实现步骤摘要】
一种翻转台
本技术涉及到硅片的制造领域，尤其涉及到一种翻转台。
技术介绍
现有技术中在硅片加工时，硅片需要平放在衬底上(程行列分布)送入炉内加工，其间需要将衬底上的硅片翻面后再送入炉内加工。一般采用人工将衬底上的硅片翻面，效率低、易碎、易污染。
技术实现思路
本技术提供了一种翻转台，用以提高硅片加工的效率，避免硅片加工时的损坏，提尚了成品率。 本技术提供了一种翻转台，该翻转台包括: 承载硅片的载台，且载台上设置有与每个硅片对应的多个通孔，且每个通孔内穿设有用于顶起硅片的顶针； 驱动所述顶针伸缩的驱动装置； 翻转装置，包括:拾取臂，驱动所述拾取臂绕其轴线转动的旋转驱动装置；其中，所述拾取臂上设置有与每个硅片对应的至少一个吸取口，每个吸取口与真空泵连接。 在上述具体技术方案中，通过采用翻转装置对硅片进行翻转，使得硅片在加热时，无需从炉内取出，直接可以翻转，从而提高了硅片加热的效率，同时，避免了人工翻转硅片造成的时间浪费以及由于人工翻转易造成的硅片破损等情况的出现，提高了硅片加热后的成品率。 优选的，还包括驱动所述翻转装置滑动的第一气缸，所述翻转装置沿其吸附的所述硅片的排列方向滑动；所述旋转驱动装置固定在所述第一气缸的伸缩杆上。通过第一气缸驱动拾取臂滑动，提高了工作效率。 优选的，所述旋转驱动装置为旋转气缸，所述拾取臂与所述旋转气缸的连杆同轴固定连接。旋转气缸结构简单，方便驱动拾取臂转动。 优选的，与每个硅片对应的至少一个吸取口通过真空软管与所述真空泵连接。保证了吸取口在随拾取臂翻转时能够与真空泵连通。 优选的，所述每个真空软管上设置有开关控制阀。通过开关控制阀来控制吸取口与真空泵的连通情况。 优选的，所述吸取口通过卡环固定在所述拾取臂。保证了吸取口能够稳定的固定在拾取臂上。 优选的，所述多个顶针固定在位于所述载台下方的支撑板，所述驱动装置驱动所述支撑板伸缩。保证了多个顶针能够同步伸缩。 优选的，所述驱动装置为第二气缸，所述支撑板与所述第二气缸的活塞杆固定连接。通过气缸驱动顶针的伸缩，使得驱动结构简单，成本低廉。 【附图说明】 图1为本技术实施例提供的翻转台的结构示意图。 附图标记: 10-载台11-通孔12-顶针 13-支撑板20-驱动装置 30-硅片 40-翻转装置41-拾取臂42-旋转驱动装置 43-第一气缸44-吸取口 【具体实施方式】 以下结合附图对本技术的具体实施例进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。 如图1所示，图1示出了本技术实施例提供的一种翻转台的结构示意图。 本技术实施例提供了一种翻转台，该翻转台包括: 承载硅片30的载台10，且载台10上设置有与每个硅片30对应的多个通孔11，且每个通孔11内穿设有用于顶起硅片30的顶针12 ; 驱动顶针12伸缩的驱动装置20 ； 翻转装置40，包括:拾取臂41，驱动拾取臂41绕其轴线转动的旋转驱动装置42 ;其中，拾取臂41上设置有与每个硅片30对应的至少一个吸取口 44，每个吸取口 44与真空泵连接。 在上述具体实施例中，通过采用翻转装置40对多个硅片30同时进行翻转，使得硅片30在加热时，无需从炉内取出，即可实现直接翻转，从而提高了硅片30加热的效率，同时，避免了人工翻转硅片30造成的时间浪费以及由于人工翻转易造成的硅片30破损等情况的出现，提高了硅片30加热后的成品率。 具体的，上述载台10可以采用现有技术中的载台进一步加工出与顶针12配合的通孔来制作，从而降低了本设备的成本。在载台10上承载多个硅片30进行加热，其中多个硅片30采用阵列式排列，或者成单排排列。当加热完成后，硅片30需要翻过来时，通过穿设在载台10上的顶针12将硅片30顶起，翻转装置40的拾取臂41位于一排硅片30的上方，并且使得吸取口 44与硅片30位置对应，以保证能够吸附起硅片，之后真空泵开始吸气，硅片30被吸取口 44吸住。在吸取口 44将硅片30吸牢后，顶针12回到初始位置，旋转驱动装置42开始驱动拾取臂41旋转，并绕拾取臂41的轴线转动180°，从而带动硅片30翻转。完成翻转后，顶针12伸出，支撑起其对应的硅片30，真空泵开始吹气，使得硅片30与吸取口 44脱离接触，硅片30落在顶针12上。之后撤走翻转装置40，顶针12回到初始位置，硅片30回落到载台10上继续进行加热，完成整个硅片30翻转的过程。通过上述描述可以看出，通过翻转装置40与顶针12的配合实现了在炉内对多个硅片30进行翻转，并且，在采用上述翻转结构时，可以对多个硅片30同时进行翻转，提高了工作效率。 其中的旋转驱动装置42为旋转气缸，并且拾取臂41与旋转气缸的连杆同轴固定连接。从而使得旋转气缸的连杆在旋转时，能够带动拾取臂41同轴转动，并且该旋转气缸结构简单，便于驱动。此外，拾取臂41上的吸取口 44通过卡环固定在拾取臂41上，使得吸取口 44能够稳定的固定在拾取臂41上，并在拾取臂41旋转时，能够带动吸取口 44同步转动，为了保证吸取口 44在旋转时，其能够保证与真空泵连通，较佳的，吸取口 44与真空泵通过真空软管连接，作为一种较佳的方案，与每个硅片30对应的至少一个吸取口 44与真空泵通过真空软管连接，从而保证了吸取同一个硅片30的多个吸取口 44在吸气及吹气时，能够同步进行，同时，采用这种结构也减少了真空软管的数量，便于设置。并且，在每个真空软管上设置有开关控制阀。从而能够控制吸取口 44的使用状态，在不需要使用该吸取口 44时，可以通过开关控制阀将吸取口 44关闭，避免浪费。 其中的多个顶针12固定在位于载台10下方的支撑板13，驱动装置20驱动支撑板13伸缩。从而能够保证多个顶针12能够同步伸缩，保证了硅片30在翻转时的统一性。其中的驱动装置20为第二气缸，支撑板13与第二气缸的活塞杆固定连接。通过气缸的活塞杆的伸缩保证了顶针12能够完成将硅片30顶起及放下的过程。 此外，作为一种优选的技术方案，该翻转台还包括驱动翻转装置40滑动的第一气缸43，翻转装置40沿其吸附的硅片30的排列方向滑动；旋转驱动装置42固定在第一气缸43的伸缩杆上。通过采用第一气缸43驱动翻转装置40滑动，使得翻转装置40在完成硅片30翻转后方便移开。 继续参考图1，下面结合附图1对本实施例提供的翻转台的一种优选实施例进行详细的说明。 在进行翻转时，多个片硅片30放置于载台10上，位于载台10下面的顶针12穿过载台10将硅片30顶起。 预先安置于载台10 —侧的第一气缸43的活塞杆上固定有旋转驱动装置42，该旋转驱动装置42为旋转气缸，旋转气缸同轴连接有旋转臂。在顶针12将硅片30顶起时，第一气缸43驱动拾取臂41开始向载台10方向移动，并将拾取臂41送到载台10与被顶起的硅片30之间。 顶针12落下，同时拾取臂41上的吸取口 44开始吸气，将落下的硅片30固定住。 旋转气缸带动拾取臂41及硅片30开始做旋转动作，转动180度后，停止。 顶针12再次升起，吸取口 44开始吹气，硅片30落于顶针12上。同时第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种翻转台，其特征在于，包括：承载硅片的载台，且载台上设置有与每个硅片对应的多个通孔，且每个通孔内穿设有用于顶起硅片的顶针；驱动所述顶针伸缩的驱动装置；翻转装置，包括：拾取臂，驱动所述拾取臂绕其轴线转动的旋转驱动装置；其中，所述拾取臂上设置有与每个硅片对应的至少一个吸取口，每个吸取口与真空泵连接。

【技术特征摘要】
1.一种翻转台，其特征在于，包括: 承载硅片的载台，且载台上设置有与每个硅片对应的多个通孔，且每个通孔内穿设有用于顶起硅片的顶针； 驱动所述顶针伸缩的驱动装置； 翻转装置，包括:拾取臂，驱动所述拾取臂绕其轴线转动的旋转驱动装置；其中，所述拾取臂上设置有与每个硅片对应的至少一个吸取口，每个吸取口与真空泵连接。2.如权利要求1所述的翻转台，其特征在于，还包括驱动所述翻转装置滑动的第一气缸，所述翻转装置沿其吸附的所述硅片的排列方向滑动；所述旋转驱动装置固定在所述第一气缸的伸缩杆上。3.如权利要求1所述的翻转台，其特征在于，所述旋转驱动装置为...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵鑫，陈宇，苗为民，李健，赵冠超，杨荣，李立伟，孟原，
申请(专利权)人：新奥光伏能源有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13