具有“8”字形肋条的光偏转反射镜装置和光偏转器。一种光偏转反射镜装置包括圆形或椭圆形反射镜，该圆形或椭圆形反射镜具有反射正面；和“8”字形加强肋条，该“8”字形加强肋条沿着反射镜的摆动轴对称地设置在反射镜的背面上。“8”字形加强肋条包括沿着摆动轴彼此连接的两个环形加强肋条。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】具有“8”字形肋条的光偏转反射镜装置和光偏转器。一种光偏转反射镜装置包括圆形或椭圆形反射镜，该圆形或椭圆形反射镜具有反射正面；和“8”字形加强肋条，该“8”字形加强肋条沿着反射镜的摆动轴对称地设置在反射镜的背面上。“8”字形加强肋条包括沿着摆动轴彼此连接的两个环形加强肋条。【专利说明】具有“8”字形肋条的光偏转反射镜装置和光偏转器本申请要求2013年9月17日提交的日本专利申请JP 2013-191876的优先权，此处以引证的方式将其上述公开的全部内容并入。
目前公开的主题涉及在投影仪、照明灯、条码阅读器、激光打印机、激光头放大器、平视显示单元等的光扫描器中所使用的光偏转器，更具体地说，涉及其光偏转反射镜装置。
技术介绍
目前，光扫描器中所使用的光偏转器是由半导体制造技术和微型机技术制造的微电子机械系统(MEMS)装置。 在图6(图6是例示第一现有技术的光偏转器的背面立体图)中(参见JP2001-249300的图16)，仅由单个反射镜构成的光偏转反射镜装置101由扭杆102-1和102-2支撑到支撑框(未示出)。而且，设置在支撑框与扭杆102-1和102-2之间的是充当悬臂的致动器(未示出)。由此，光偏转反射镜装置101可以利用致动器绕X轴摆动。 在图6中，因为光偏转反射镜装置101的厚度与扭杆102-1和102_2的厚度相同，所以光偏转反射镜装置101非常薄。因此，光偏转反射镜装置101的惯性矩如此之小，使得光偏转反射镜装置101的共振频率“f”非常大。例如，当光偏转反射镜装置101的厚度和直径分别是大约40 μ m和大约1.2mm时，光偏转反射镜装置101的共振频率“f”是30.0kHz或更大(参见:图4)。由此，光偏转反射镜装置101的共振频率“f”变得大于用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的共振频率fK( = 26.5kHz)。S卩，满足了 f>fK，使得可以以大于所要求速度的速度来驱动光偏转反射镜装置101。 然而，在图6的第一现有技术光偏转器中，因为光偏转反射镜装置101非常薄，所以光偏转反射镜装置101的刚性非常小。因此，当光偏转反射镜装置101的摆动角大时，光偏转反射镜装置101以碗形大大变形，使得动态面偏转峰谷量(dynamic face-deflect1npeak-to-valley amount)D非常大。例如，当光偏转反射镜装置101的厚度和直径分别是大约40 μ m和大约1.2mm时，光偏转反射镜装置101的动态面偏转峰谷量D是大约156nm (参见:图4)。由此，光偏转反射镜装置101的动态面偏转峰谷量D变得大于用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的动态面偏转峰谷量DK( = 45nm)。即，不满足D〈DK，使得光偏转反射镜装置101的反射光的光特性不满足用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的光特性。要注意的是，所要求的动态面偏转峰谷量Dk由照射到光偏转反射镜装置上的激光束的波长(λ = 450nm)的十分之一定义。 在图7(图7是例示第二现有技术的光偏转器的背面立体图)中(参见JP7-092409)，仅由单个反射镜构成的光偏转反射镜装置201比扭杆202-1和202-2厚。因此，因为光偏转反射镜装置201非常厚，所以光偏转反射镜装置201的刚性非常大。因此，即使当光偏转反射镜装置201的摆动角大时，光偏转反射镜装置201以碗形稍微变形，使得动态面偏转峰谷量D非常小。例如，当光偏转反射镜装置201的厚度和直径分别是大约200 μ m和大约1.2mm时，光偏转反射镜装置101的动态面偏转峰谷量D是几纳米(参见:图4)。由此，光偏转反射镜装置201的动态面偏转峰谷量D变得小于用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的动态面偏转峰谷量Dk ( = 45nm)。即，满足D〈DK，使得光偏转反射镜装置201的反射光的光特性满足用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的光特性。 然而，在图7的第二现有技术光偏转器中，光偏转反射镜装置201的惯性矩如此之大，使得光偏转反射镜装置201的共振频率“f”非常小。例如，当光偏转反射镜装置201的厚度和直径分别是大约200 μ m和大约1.2_时，光偏转反射镜装置201的共振频率“f”是15kHz或更小(参见:图4)。由此，光偏转反射镜装置201的共振频率“f”变得小于用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的共振频率fK( = 26.5kHz)。即，不满足f>fK，使得不可能以大于所要求速度的速度来驱动光偏转反射镜装置201。 在图8(图8是例示第三现有技术的光偏转器的背面立体图)中(参见JP2010-128116的图3)，连接到扭杆302-1和302-2的光偏转反射镜装置301具有包括反射正面的反射镜301a和设置在反射镜301a的背面上的环形加强肋条301b。因此，光偏转反射镜装置301的平均厚度大于扭杆302-1和302-2的平均厚度。 在图8的第三现有技术光偏转器中，由于环形加强肋条301b的存在，光偏转反射镜装置301的刚性大于图6的光偏转反射镜装置101的刚性，但是小于图7的光偏转反射镜装置201的刚性。另一方面，由于环形加强肋条301b的存在，光偏转反射镜装置301的共振频率“f”小于图6的光偏转反射镜装置101的共振频率“f”，但是大于图7的光偏转反射镜装置201的共振频率“f”。例如，当反射镜301a的厚度和直径分别是大约40 μ m和大约1.2mm,并且环形加强肋条301b的宽度和高度分别是大约100 μ m和大约150 μ m时，光偏转反射镜装置301的动态面偏转峰谷量D是大约SOnm并且光偏转反射镜装置301的共振频率“f”是大约25.6kHz (参见:图4)。 然而，在图8的第三现有技术光偏转器中，因为反射镜301a的中心处不存在肋条，所以光偏转反射镜装置301的刚性仍然小。因此，当光偏转反射镜装置301的摆动角大时，光偏转反射镜装置301以碗形大大变形,使得动态面偏转峰谷量D仍然大，即，大约80nm。由此，光偏转反射镜装置301的动态面偏转峰谷量D变得大于用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的动态面偏转峰谷量Dk ( = 45nm)。S卩，不满足D〈DK，使得光偏转反射镜装置301的反射光的光特性不满足用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的光特性。 另一方面，在图8的第三现有技术的光偏转器中，因为环形加强肋条301b设置在反射镜301a的外周处，所以光偏转反射镜装置301的惯性矩仍然大，使得光偏转反射镜装置301的共振频率“f”仍然小。例如，如上所述，光偏转反射镜装置301的共振频率“f”是大约25.6kHz。由此，光偏转反射镜装置301的共振频率“f”变得小于用于高清晰度投影仪的光扫描器中所要求的共振频率fK( = 26.5kHz)。即，不满足f>fK，使得不可能以比所要求的速度更大的速度来驱动光偏转反射镜装置301。 在图9 (图9是例示图8的光偏转器的比较例的背面立体图)中，图8的光偏转反射镜装置301由光偏转反射镜装置301’代替，该光偏转反射镜装置301’中，沿着Y轴的中心加强肋条301c添加到图8的光偏转反射镜装置301的元本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光偏转反射镜装置，该光偏转反射镜装置包括：反射镜，该反射镜具有反射正面；和“8”字形加强肋条，该“8”字形加强肋条沿着所述反射镜的摆动轴对称地设置在所述反射镜的背面上，所述“8”字形加强肋条包括沿着所述摆动轴彼此连接的两个环形加强肋条。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安田喜昭，
申请(专利权)人：斯坦雷电气株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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