氧化锌纳米或微米管的制备方法技术

技术编号:11198263 阅读:68 留言:0更新日期:2015-03-26 04:52
一种ZnO纳米或微米管的制备方法,属于纳米/微米材料制备技术领域。基本制备工艺为:将ZnO粉、碳粉和水按一定重量比例混合均匀作为原料,放入石英舟,并将沉积基片倒扣在原料上方,将管式炉温度升至1000℃以上,然后将石英舟推入管式炉的石英管中心位置,保温一定时间后,将石英舟拉出,自然冷却到室温,取出硅片,所得产品即为ZnO纳米或微米管。该制备方法工艺简单,重复性好,产品形貌规则,表面光滑,晶体质量高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种ZnO纳米或微米管的制备方法,其特征在于该制备方法包括下列步骤:1)取长方形的沉积片分别用去离子水和无水乙醇超声5min洗净,用作沉积基片;取长方形的平底石英舟,超声洗净后用作反应器皿;2)将ZnO粉、碳粉和水按重量比(12~4):6:3配制成原料,将该原料混合均匀放入石英舟,再将所述的基片倾斜地放置在石英舟内的原料上方;3)使用水平管式炉,将该水平管式炉内的石英管两侧开放,开启水平管式炉,升温到1000℃以上,保温;4)将所述的石英舟放入水平管式炉的石英管中靠近热电偶的位置,反应10min以上,将石英舟拉出自然冷却到室温,取出沉积片,在沉积片上的不同位置生长有不同尺寸的ZnO纳米/微米管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:董红星詹劲馨张龙柳洋李京周牟南历虞杰
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:上海;31

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