一种贴干膜机及贴干膜的方法技术

本发明专利技术提供了一种贴干膜机及其贴膜方法。该贴干膜机包括真空压力传感器(3)、时间继电器(4)，PLC(7)。当贴膜腔体(5)内真空度达到特定值SP1时，真空压力传感器(3)将真空度信号SP1传递给PLC(7)和时间继电器(4)，并且触发时间继电器(4)开始倒计时，PLC(7)控制贴贴膜装置始贴膜；时间控电器(4)倒计时结束时传送信号T给PLC(7)；PLC(7)接收到信号T时，控制贴膜装置结束贴膜，打开贴膜腔体(5)。通过在贴干膜机和贴干膜工作中使用时间控制继电器替代人工计时直接控制机台的贴膜工艺时间，时可以大大降低人力成本，同时使用时间传感器控制时间比起人工掐表可避免错误使控制精确度更高保障贴膜机的工艺过程一致,而且可以根据不同材料的特性而进行不同的工艺时间设置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体封装
，尤其涉及一种贴干膜的时间控制装置及其方法。
技术介绍
干膜贴膜时，先从干膜上剥下聚乙烯保护膜，然后在加热加压的条件下将干膜抗蚀剂粘贴在覆铜箔板上。干膜中的抗蚀剂层受热后变软，流动性增加，借助于热压辊的压力和抗蚀剂中粘结剂的作用完成贴膜。贴膜通常在贴膜机上完成，贴膜机型号繁多，但基本结构大致相同。贴膜时影响贴膜效果的主要因素是压力、温度和传送速度，而这三个因素都受贴膜时间的影响，因此控制贴膜时间对控制贴膜质量影响至关重要。 目前，贴干膜机是由人工利用真空计和秒表进行工艺过程时间的控制，如图1所示，贴膜腔体内设置真空计，工作时，真空泵抽贴膜腔体内的空气，真空计显示值达到特定值时，人工利用秒表开始计时，并开启贴膜开关开始贴膜，在贴计时达到设定时间，人工操作闭合贴膜开关。在实际贴干膜工艺中，为了进行时间控制，需人工使用秒表计时，耗费人力且人工计时误差大，效果不好。
技术实现思路
为克服现有技术中贴干膜工艺中时间控制存在的耗费人力和偏差大的问题，本专利技术提供了一种贴干膜机及其贴膜方法。该贴干膜机包括真空压力传感器3、时间继电器4，PLC7，所述真空压力传感器3设置在贴膜腔体5内或者之上用于测量腔体5内的气压，时间继电器4由真空压力传感器3发出的信号来控制。 可选地，其还包括电磁开关阀1、贴膜腔体5、真空泵6，所述电磁开关阀I连接腔体5，用于控制贴膜腔体5的开和关；真空泵6与腔体5相连，用于对腔体5进行抽真空。所述真空压力传感器3连接一输入设备，通过该输入设备来进行压力预设。进一步，贴干膜机还包括控制模块2，所述控制模块2连接真空压力传感器3和时间继电器4，用于控制真空压力传感器3和时间继电器4的工作，电磁开关阀I与控制模块2相连，由控制模块2进行控制开关。 工作时，真空泵6对腔体5抽真空，电磁开关阀I发出控制信号控制腔体5闭合；真空压力传感器3实时测量贴干膜机的贴膜腔体5内的真空度，当真空度达到特定值SPl时，真空压力传感器3将真空度信号SPl传递给PLC7和时间继电器4，并且触发时间继电器4开始倒计时；PLC7接收到信号真空度信号SPl时，控制贴贴膜装置始贴膜；时间控电器4倒计时结束时传送信号T给PLC7 ；PLC7接收到信号T时，控制贴膜装置结束贴膜，打开贴膜腔体5。 更为优选地:所述贴干膜机还包括延迟器8，所述延迟器8位于时间继电器4和PLC7之间，用于控制时间继电器4的连通和断开。当真空度达到特定值SPl时，真空压力传感器3将真空度信号SPl传递给PLC7和延迟器8，延迟器8控制时间继电器4电源的接通，从而触发时间继电器4开始倒计时。 更进一步，所述贴干膜机还包括故障处理单元9，所述故障处理单元9与时间继电器4连接，当时间继电器4出现故障时，转为人工计时模式。所述贴干膜机还包括模式切换开关，用于人工掐表计时控制和时间继电器4控制的切换。 本专利技术还提供了一种贴干膜的控制方法，包括如下步骤:对贴膜机的贴膜腔抽真空；当腔体内真空度达到设定的值SPl时，真空压力传感器将第一控制信号传递到PLC，PLC控制机台开始贴膜；继续对贴膜腔抽真空，当腔体真空度达到预定的值SP2时，真空压力传感器将第二控制信号传递到PLC，PLC控制机台贴膜完毕，腔体打开。 本专利技术还提供了另一种贴干膜的方法，包括如下步骤:贴干膜机的贴膜腔体内的真空度达到特定值SPl时，干贴膜机的贴膜腔体内的真空压力传感器将真空度信号S传递给PLC和延迟器，PLC接收到信号S时，控制贴干膜机开始贴膜；延迟器收到S时触发时间控制继电器开始倒计时；时间控制继电器倒计时结束时传送信号T给PLC，PLC接收到信号T时，控制贴干膜机结束贴膜，打开贴膜腔体。 此外，本专利技术还提供了一种贴膜机，包括有电磁阀，真空压力传感器，真空压力传感器将特定的真空度信号S传递给电磁阀，并触动电磁阀闭合，电磁阀接通时间控制继电器的电源；所述电磁阀包括第一电磁阀和第二电磁阀，所述时间控制继电器包括时间继电器、延时继电器；真空压力传感器同时将特定的空气压力信号传递给控制器和第二电磁阀；第一电磁阀设置在干贴膜机的贴膜腔体上，干贴膜机的真空泵抽真空时触动第一电磁阀关闭，第一电磁阀接通时间控制继电器两端的电源并控制贴膜腔体闭合；时间继电器和延时继电器串联连接，时间继电器的输入端与控制器相连，当时间传感器达到设定结束时间时将信号传输给控制器和第二电磁阀，并触发第二电磁阀闭合，第二电磁阀控制延时继电器两端接通电源。 与现有技术相比，本专利技术的有益效果是:1.通过在贴干膜机和贴干膜工艺中使用时间控制继电器替代人工计时直接控制机台的贴膜工艺时间，时可以大大降低人力成本，同时使用时间传感器控制时间比起人工掐表可避免错误使控制精确度更高保障贴膜机的工艺过程一致，而且可以根据不同材料的特性而进行不同的工艺时间设置；2.通过使用延时继电器和时间继电器配合，使时间继电器被触发瞬间，常开变为常闭，但电信号比机械动作快，已经传递出去了，导致干扰信号，因此增加延时继电器，在第二电磁阀触发后将时间继电器环路闭合，去除干扰信号源，同时能保证将时间继电器的信号传递给控制器，使时间控制更加精确。 【附图说明】 图1为现有技术中贴干膜机的实现方式； 图2为本专利技术贴干膜机的结构示意图； 图3为本专利技术贴干膜机的第二结构示意图； 图4为本专利技术贴干膜的方法示意图； 图5为本专利技术另一贴干膜的方法示意图； 图6为本专利技术贴干膜机的另一实现方式。 【具体实施方式】 以下结合附图和实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。 第一【具体实施方式】如图2所示，该实施方式提供了一种贴干膜机，包括贴膜装置、电磁开关阀1、控制模块2、真空压力传感器3、时间继电器4、腔体5、真空泵6、PLC7。 其中，真空泵6与腔体5相连，用于对腔体5进行抽真空。真空压力传感器3设置在贴干膜机的贴膜腔体5内或者之上，用于测量腔体5内的气压。真空压力传感器3可通过一输入设备(图中未示出)来进行压力预设。电磁开关阀I连接腔体5，用于控制贴膜腔体5的开和关。控制模块2连接真空压力传感器3和时间继电器4，用于控制真空压力传感器3和时间继电器4的工作，电磁开关阀I可与控制模块2相连，由控制模块2进行控制开关。当然，控制模块2不是必须具备的，例如，时间继电器4可以由真空压力传感器3发出的信号来控制。 工作时，真空泵6开始抽真空，电磁开关阀I发出控制信号控制腔体5闭合。真空泵6继续抽真空，真空压力传感器3实时测量贴干膜机的贴膜腔体5内的真空度，当真空度达到特定值时，真空压力传感器3将真空度信号SPl传递给PLC7和时间继电器4，并且触发时间继电器4开始倒计时；PLC7接收到信号真空度信号SPl时，控制贴贴膜装置始贴膜；时间控电器4倒计时结束时传送信号T给PLC7 ；PLC7接收到信号T时，控制贴膜装置结束贴膜，打开贴膜腔体5。 本专利技术的第二【具体实施方式】如图3所示，该实施方式对第二实施方式进行了改进。 该实施方式提供了一种贴干膜机，包括贴膜装置、电磁开关阀1、控制模块2、真空压力传感器3、时间继电器4、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种贴干膜机，包括真空压力传感器(3)、时间继电器(4)，PLC(7)，其特征在于：所述真空压力传感器(3)设置在贴膜腔体(5)内或者之上用于测量腔体(5)内的气压，时间继电器(4)由真空压力传感器(3)发出的信号来控制。

【技术特征摘要】
1.一种贴干膜机，包括真空压力传感器⑶、时间继电器⑷，其特征在于:所述真空压力传感器(3)设置在贴膜腔体(5)内或者之上用于测量腔体(5)内的气压，时间继电器(4)由真空压力传感器(3)发出的信号来控制。2.如权利要求1所述的贴干膜机，其特征在于:还包括电磁开关阀(1)、贴膜腔体(5)、真空泵(6),所述电磁开关阀⑴连接腔体(5),用于控制贴膜腔体(5)的开和关；真空泵(6)与腔体(5)相连，用于对腔体(5)进行抽真空。3.如权利要求2所述的贴干膜机，其特征在于:所述真空压力传感器(3)连接一输入设备，通过该输入设备来进行压力预设。4.如权利要求3所述的贴干膜机，其特征在于:还包括控制模块(2)，所述控制模块(2)连接真空压力传感器(3)和时间继电器(4),用于控制真空压力传感器(3)和时间继电器⑷的工作，电磁开关阀⑴与控制模块⑵相连，由控制模块⑵进行控制开关。5.如权利要求4所述的贴干膜机，其特征在于:真空泵(6)对腔体(5)抽真空，电磁开关阀⑴发出控制信号控制腔体(5)闭合；真空压力传感器⑶实时测量贴干膜机的贴膜腔体(5)内的真空度，当真空度达到特定值3？1时，真空压力传感器(3)将真空度信号3？1传递给？1(:(7)和时间继电器(4),并且触发时间继电器⑷开始倒计时屮…⑵接收到信号真空度信号3？1时，控制贴贴膜装置始贴膜；时间控电器(4)倒计时结束时传送信号I'给^10(7) ^10(7)接收到信号I时，控制贴膜装置结束贴膜，打开贴膜腔体(5)。6.如权利要求1-5任意一项所述的贴干膜机，其特征在于:还包括延迟器(8)，所述延迟器⑶位于时间继电器⑷和？1^(7)之间，用于控制时间继电器⑷的连通和断开。7.如权利要求6所述的贴干膜机，其特征在于:当真空度达到特定值3？1时，真空压力传感器(3)将真空度信号3？1传递给？1(:(7)和延迟器(8)，延迟器(8)控制时间继电器...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁万春，
申请(专利权)人：南通富士通微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32