用于固持衬底的设备制造技术

本发明专利技术提供一种用于固持衬底的设备。所述设备包含：多个抽吸通道，垂直地穿过固持台的至少一个部分，并且所述多个抽吸通道布置在所述固持台的宽度方向上以通过使用真空吸力来支撑所述衬底；多个通风通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，所述多个通风通道布置在所述固持台的所述宽度方向上，使得所述多个通风通道位于所述多个抽吸通道之间，以通过所述多个通风通道释放衬底与固持台之间的气体。根据本发明专利技术的实施例，所述衬底固持设备可以防止当在固持台上固持大型衬底时大型衬底由于其自身的重量而发生滑动。

【技术实现步骤摘要】
用于固持衬底的设备
本专利技术涉及一种用于固持衬底的设备，并且更具体地说涉及一种能够在固持台上稳定地固持衬底的设备。
技术介绍
总地来说，用于固持衬底的设备安置在用于制造例如液晶显示器(light crystaldisplay, IXD)、有机发光二极管(organic light emitting d1de, OLED)等显示装置的处理腔室中。通用衬底固持设备包含上面固持着衬底的固持台，和多个垂直地穿过固持台并且被抬高的提升杆(lift bar)。所述提升杆辅助在固持台上支撑衬底。当衬底位于固持台上方时，提升杆被提升以支撑衬底的下部部分，并且接着降低以允许在衬底固持台上固持衬底。 用于例如IXD、0LED等显示装置的玻璃衬底的尺寸逐渐增加。当衬底固持设备的所述多个提升杆支撑大型衬底时，衬底会因为自身的重量而发生弯曲，并且在衬底固持在固持台上时发生滑动。因而，不方便再次对准衬底，并且因此处理时间延长。 第10-2004-0115542号韩国专利公开案中揭示了一种液晶显示设备的真空装置。这里，真空装置包含:基座，上面固持着衬底；头部，安置成对应于衬底的背面，并且具有对应于基座一侧的长度的预定宽度；以及提升杆，由穿过基座以便使头部在真空腔室中垂直地移动的主体构成。 现有技术文献 专利文献 第10-2004-0115542号韩国专利公开案
技术实现思路
本专利技术提供一种用于在固持台上稳定地固持衬底的设备。 本专利技术还提供一种用于固持衬底的设备，其能够在固持台上固持衬底时防止衬底滑动。 根据示范性实施例，一种用于在其顶面上固持衬底的设备包含:固持台，所述衬底固持在所述固持台的顶面上；多个抽吸通道(suct1n channel)，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，并且所述多个抽吸通道布置在所述固持台的宽度方向上以通过使用真空吸力来支撑所述衬底；多个通风通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，所述多个通风通道布置在所述固持台的所述宽度方向上，使得所述多个通风通道位于所述多个抽吸通道之间以通过所述多个通风通道释放所述衬底与所述固持台之间的气体；以及多个衬底支撑件，布置在所述固持台的所述宽度方向上，所述多个衬底支撑件升高或降低以允许在所述固持台上加载所述衬底以及从所述固持台卸载所述衬底。 所述多个抽吸通道的多个部分可以在所述固持台的X方向上延伸，并且在Y方向上彼此间隔开，并且其余所述多个抽吸通道可以在所述固持台的Y方向上延伸，并且在所述X方向上彼此间隔开。 在X方向上延伸的抽吸通道与在Y方向上延伸的抽吸通道可以彼此交叉。 所述多个通风通道中的每一个可以界定在所述多个抽吸通道之间，其中所述多个通风通道的多个部分在固持台的X方向上延伸，并且在Y方向上彼此间隔开，并且其余所述多个通风通道在所述固持台的Y方向上延伸，并且在X方向上彼此间隔开。 在X方向上延伸的通风通道与在Y方向上延伸的通风通道可以彼此交叉。 所述多个衬底支撑件中支撑所述衬底的边缘的衬底支撑件的高度可以大于支撑所述衬底的中心区域的支撑件的高度。 所述多个抽吸通道可包含:中心抽吸通道，界定在所述衬底的中心区域在上面支撑在所述固持台上的区域中；以及周边抽吸通道，界定在中心抽吸通道外部的周边中。 所述用于固持衬底的设备可以进一步包含抽吸控制单元，所述抽吸控制单元连接到所述多个抽吸通道，其中所述抽吸控制单元控制所述抽吸通道，使得从中心抽吸通道到周边抽吸通道以一时间间隔连续地产生真空吸力。 【附图说明】 通过结合附图进行的以下描述可以更详细地理解示范性实施例，其中: 图1和图2是根据示范性实施例的用于固持衬底的设备的三维视图。 图3是沿图1的A-A’线截取的用于固持衬底的设备的横截面图。 图4是沿图1的B-B’线截取的用于固持衬底的设备的横截面图。 图5至图8的(b)是说明在衬底固持设备上固持衬底的过程的视图。 附图标记说明 100:固持台 110:主体 120:支撑板 200:通风通道 300:抽吸通道 310:中心抽吸通道 321、322、331、332:抽吸通道 400a、400b:衬底支撑件 500a、500b:传动部分 600:抽吸控制单元 610:真空泵 620:储气槽 630:真空阀 631:真空管线 640:气体阀 641:气体管线 650:连接管线 660:中心管线 661:第一管线 662:第二管线 663:第三管线 664:第四管线 670:中心阀 671:第一阀 672:第二阀 673:第三阀 674:第四阀 S:衬底 【具体实施方式】 下文中将参看附图详细描述具体实施例。但是，本专利技术可以用不同形式实施，并且不应被解释为限于本文所阐述的实施例。实际上，提供这些实施例是为了使得本专利技术将是彻底并且完整的，并且将把本专利技术的范围完整地传达给所属领域的技术人员。全文中，相同的参考标号指代相同的元件。 图1和图2是根据示范性实施例的用于固持衬底的设备的三维视图。这里，图1是说明多个衬底支撑件升高以从固持台向上突出的状态的视图，并且图2是说明所述多个衬底支撑件降低以使得所述多个衬底支撑件安置在固持台内部的状态的视图。图3是沿图1的A-A’线截取的用于固持衬底的设备的横截面图，并且图4是沿图1的B-B’线截取的用于固持衬底的设备的横截面图。 根据示范性实施例的用于固持衬底设备可以是一种用于固持玻璃衬底、具体来说是用于固持大型衬底的设备。所述衬底固持设备安置在用于处理衬底的处理腔室(未图示)中。举例来说，其中安置着根据示范性实施例的衬底固持设备的处理腔室可以是在其中执行激光诱导热成像(laser induced thermal imaging, LITI)的腔室。 参看图1至图3,根据示范性实施例的衬底固持设备包含:固持台100,具有上面固持着衬底的上部部分；多个抽吸通道300，垂直地穿过所述固持台100的至少一个部分以通过使用真空吸力来支撑衬底；多个通风通道200，垂直地穿过所述固持台100的至少一个部分以充当释放衬底与固持台100之间的气体所经过的通路(passage);抽吸控制单元600,连接到所述多个抽吸通道300中的每一者以产生真空吸力；多个衬底支撑件400a和400b，布置在固持台100的宽度方向上，所述多个衬底支撑件400a和400b被抬升以支持对衬底的负载/卸载；以及多个传动单元500a和500b，用于抬升所述多个衬底支撑件400a和400b。 固持台100可以是用于在其上部部分上安放衬底以便支撑衬底的单元。固持台100包含主体110和安置在主体110上以支撑衬底的支撑板120。这里，支撑板120的尺寸小于主体110的尺寸，并且支撑板120安置在主体110上。主体110的面积大于衬底的面积。虽然根据示范性实施例的支撑板120具有方板形状，但是本专利技术不限于此。举例来说，支撑板120可以制造成对应于衬底形状的多种形状。 抽吸通道300沿固持台100的两个宽度方向以线形形状延伸，由此在固持台100上形成晶格图案形状(lattice pattern shape)。具体来说，所述多个抽吸通道300的多个部分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于固持衬底的设备，其特征在于所述设备包括：固持台，所述衬底固持在所述固持台的顶面上；多个抽吸通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，并且所述多个抽吸通道布置在所述固持台的宽度方向上以通过使用真空吸力来支撑所述衬底；多个通风通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，所述多个通风通道布置在所述固持台的所述宽度方向上，使得所述多个通风通道位于所述多个抽吸通道之间以通过所述通风通道释放所述衬底与所述固持台之间的气体；以及多个衬底支撑件，布置在所述固持台的所述宽度方向上，所述多个衬底支撑件升高或降低以允许在所述固持台上加载所述衬底以及从所述固持台卸载所述衬底。

【技术特征摘要】
2013.08.28 KR 10-2013-01024791.一种用于固持衬底的设备，其特征在于所述设备包括: 固持台，所述衬底固持在所述固持台的顶面上； 多个抽吸通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，并且所述多个抽吸通道布置在所述固持台的宽度方向上以通过使用真空吸力来支撑所述衬底； 多个通风通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，所述多个通风通道布置在所述固持台的所述宽度方向上，使得所述多个通风通道位于所述多个抽吸通道之间以通过所述通风通道释放所述衬底与所述固持台之间的气体；以及 多个衬底支撑件，布置在所述固持台的所述宽度方向上，所述多个衬底支撑件升高或降低以允许在所述固持台上加载所述衬底以及从所述固持台卸载所述衬底。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于所述多个抽吸通道的多个部分在所述固持台的X方向上延伸，并且在Y方向上彼此间隔开，并且 其余所述多个抽吸通道在所述固持台的所述Y方向上延伸，并且在所述X方向上彼此间隔开。3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于在所述X方向上延伸的所述抽吸通道与在所述Y...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁相熙，白圣焕，金戊一，金钟元，
申请(专利权)人：AP系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR