本发明专利技术提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。本光扫描装置是使反射镜摆动而扫描入射的可见光的光扫描装置，上述反射镜具有形成于基板上的金属膜、和层叠于上述金属膜上的增强反射膜。
【技术实现步骤摘要】
光扫描装置以及光扫描单元
本专利技术涉及具有反射镜的光扫描装置以及光扫描单元。
技术介绍
以往，在以400?700nm的可见光区域激光为光源的投影器等所使用的不可动的反射镜中，在石英、玻璃的基体材料上形成金属膜，在该金属膜上形成由低折射率膜和高折射率膜构成的电介质多层膜以实现高反射率。例如，例示了如下反射镜，即、在基板上具有九层以上的多层膜，该多层膜由金属膜、以及将低折射率膜和高折射率膜交替地层叠于金属膜上而成的电介质多层膜构成(例如，参照专利文献I)。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2006 - 220903号公报 然而，在上述那样的不可动的反射镜中，入射光向反射镜的入射角度总是为一定角度，因此未研究考虑到反射率的入射角度依赖性的膜结构。 另一方面，光扫描装置所使用的反射镜根据与光源的位置关系而以各种各样的入射角度使用(例如，0°?50°左右)，并且反射镜自身摆动(例如，±10°左右)，因此即使在入射角度变动的情况下，也需要成能够确保规定值以上的高反射率那样的膜结构。 而且，由于不可动的反射镜能够使用比较厚的基板(数mm左右)，因此即使形成于基板上的膜的总厚度较厚，基板自身也不会变形。因此，即使层叠的膜的数量增加而总厚度变厚也不会成为大的弊病，从而也未进行减少层叠的膜的数量而使总厚度变薄的研究。 另一方面，由于光扫描装置所使用的反射镜摆动，因此需要使用比较薄的基板(数10 μ?数100 μ m左右)。在使用比较薄的基板的情况下，若增加层叠于基板上的膜的数量而总厚度变厚，则有可能产生基板自身变形，因此优选减少层叠的膜的数量而使总厚度变薄。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的情形而提出的技术方案，课题是提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。 用于解决课题的方案 本光扫描装置200是使反射镜110而扫描入射的可见光的光扫描装置200，其特征在于，上述反射镜110具有形成于基板111上的金属膜112、以及层叠于上述金属膜112上的增强反射膜113、114。 此外，上述的参照符号是为了容易理解而标注的符号，只不过一例而已，并不限定于图示的方式。 专利技术的效果如下。 根据公开的技术，能够提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。 【附图说明】 图1是例示本实施方式的光扫描装置的图。 图2是例示本实施方式的光扫描单元的图。 图3是例示反射镜的层结构的剖视图。 图4是例示实施例1的多层膜的反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。 图5是例示比较例的金属膜的反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。 图6是例示实施例1的多层膜的反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。 图7是例示比较例的金属膜的反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。 图8是比较实施例1以及比较例的平均反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。 图9是比较实施例1以及比较例的平均反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。 图10是例示入射角度为5°的情况的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(P偏光入射)的图。 图11是例示入射角度为50°的情况的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(P偏光入射)的图。 图12是从图10选出规定的波长数据而图示的图。 图13是从图11选出规定的波长数据而图示的图。 图14是例示入射角度为5°的情况的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(S偏光入射)的图。 图15是入射角度为50°的情况的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(S偏光入射)的图。 图16是从图14选出规定的波长数据而图示的图。 图17是从图15选出规定的波长数据而图示的图。 图中: 100 —光扫描单兀，110 —反射镜，111—基板，112 —金属膜，113 —低折射率膜，114一高折射率膜，115—保护膜，119一多层膜，200—光扫描装置，300—电压生成电路，400—前端1C，440— LD，500—反射镜驱动器1C。 【具体实施方式】 以下，参照附图对用于实施专利技术的方式进行说明。在附图中，对于相同的构成部分，存在标注相同符号并省略重复的说明的情况。 图1是例示了本实施方式的光扫描装置的图。本实施方式的光扫描装置200是使从激光器等光源照射的光扫描的光扫描装置，例如是利用压电元件使反射镜驱动的MEMS(Micro Electro Mechanical System,微电子机械系统)反射镜等。 具体而言，光扫描装置200具有反射镜110、反射镜支撑部120、扭转梁130AU30B、连结梁140A、140B、第一驱动梁150A、150B、可动框160、第二驱动梁170A、170B、以及固定框180。并且，第一驱动梁150A、150B分别具有驱动源151A、151B。第二驱动梁170A、170B分别具有驱动源171A、171B。第一驱动梁150A、150B、第二驱动梁170A、170B作为使反射镜110在上下或左右摆动而扫描激光的促动器发挥功能。 在反射镜支撑部120，以沿着反射镜110的圆周的方式形成有狭缝122。通过狭缝122，能够将反射镜支撑部120轻型化并且将扭转梁130AU30B的扭转向反射镜110传递。 在光扫描装置200，在反射镜支撑部120的表面支撑有反射镜110，反射镜支撑部120与处于两侧的扭转梁130AU30B的端部连结。扭转梁130A、130B构成摆动轴，在轴向上延伸并从轴向两侧支撑反射镜支撑部120。通过扭转梁130AU30B扭转，从而支撑于反射镜支撑部120的反射镜110摆动，进行使照射到反射镜110的光的反射光扫描的动作。扭转梁130A、130B分别连结支撑于连结梁140A、140B，并与第一驱动梁150A、150B连结。 第一驱动梁150A、150B、连结梁140A、140B、扭转梁130A、130B、反射镜支撑部120以及反射镜110被可动框160包围。第一驱动梁150A、150B各自的一方侧支撑于可动框160。第一驱动梁150A的另一方侧向内周侧延伸而与连结梁140AU40B连结。第一驱动梁150B的另一方侧也同样地向内周侧延伸而与连结梁140AU40B连结。 第一驱动梁150AU50B以在与扭转梁130A、130B正交的方向上夹着反射镜110以及反射镜支撑部120的方式成对地设置。在第一驱动梁150AU50B的表面分别形成有驱动源151A、151B。驱动源151A、151B由第一驱动梁150A、150B的表面上的形成于压电元件的薄膜的上表面的上部电极、和形成于压电元件的下表面的下部电极构成。驱动源151AU51B与施加于上部电极和下部电极的驱动电压的极性相应地伸长或缩小。 因此，如果在第一驱动梁150A和第一驱动梁150B交替地施加不同的位相的驱动电压，则第一驱动梁150A和第一驱动梁150B在反射镜110的左侧和右侧交替地向上下相反侧振动，能够使扭转梁130A、130B作为摆动轴或旋转轴来使反射镜110绕轴摆动。以本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种光扫描装置，使反射镜摆动而扫描入射的可见光，其特征在于，上述反射镜具有：形成于基板上的金属膜；以及层叠于上述金属膜上的增强反射膜。
【技术特征摘要】
2013.08.23 JP 2013-1735531.一种光扫描装置，使反射镜摆动而扫描入射的可见光，其特征在于， 上述反射镜具有: 形成于基板上的金属膜；以及 层叠于上述金属膜上的增强反射膜。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于， 上述增强反射膜具有层叠于上述金属膜上的低折射率膜、和层叠于上述低折射率膜上的高折射率膜。3.一种光扫描装置，具有反射以所希望范围的波长而且以所希望范围的入射角度入射的激光的反射镜、和使上述反射镜向上下或左右摆动而扫描上述激光的促动器，上述光扫描装置的特征在于， 上述反射镜具有形成于基板上的金属膜、和层叠于上述金属膜上的增强反射膜， 上述增强反射膜是由层叠于上述金属膜上的低折射率膜、和层叠于上述低折射率膜上的高折射率膜构成的层叠电介质膜。4.根据权利要求2或3所述的光扫描装置，其特征在于， 上述金属膜的材料是银。5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：丸山佑纪，阿部美里，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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