具有传感器布置的丝锯装置和监控丝锯装置操作的方法制造方法及图纸

公开了具有传感器布置的丝锯装置和监控丝锯装置操作的方法。本发明专利技术提供用于锯切半导体工件的丝锯装置（200）。所述丝锯装置包括：用于接收绕线管(250)的绕线管接收布置(210)，所述绕线管在绕线管的每一端包括绕线管凸缘(260;270)；和传感器布置(220)，用于测量至少一个所述绕线管凸缘的操作状态。此外，本发明专利技术描述了用于测量锯切半导体工件的丝锯装置(200)的操作状态的方法。所述丝锯装置包括用于接收绕线管(250)的绕线管接收布置(210)，所述绕线管(250)在绕线管的每一端包括一个凸缘(260;270)。所述方法包括通过传感器布置(220)测量至少一个所述绕线管凸缘的操作状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式涉及丝锯装置。本专利技术的实施方式特别涉及具有传感器布置的丝锯装置，本专利技术的实施方式具体地说涉及具有用于监控丝锯操作的传感器布置的丝锯，涉及用于监控丝锯装置操作的方法，且涉及用于操作丝锯装置的方法。
技术介绍
丝锯被用于从诸如硅的一块硬质材料切割块或砖、薄片，例如，半导体晶片。例如，使用丝锯将工件或锭料切割或晶片化以便切料、裁方或切片。在所述丝锯中，丝线被缠绕在两个绕线管上。一个绕线管用于新的丝线且用于馈送丝线到切割区。用于已使用的丝线的第二绕线管是在丝锯装置中，以便卷绕来自切割区的丝线。来自馈线管的丝线通过丝线导向器被导向到切割区，在所述切割区中，丝线切断各个工件，例如以便形成薄片。在切割工艺之后，丝线再次被丝线导向器导向。丝线被导引到卷线管，已使用的丝线缠绕在所述卷线管上。在退绕工艺期间，随着丝线从绕线管逐层退绕，丝线离开绕线管的位置沿着轴向而变化。丝线从绕线管的一侧到绕线管的另一侧（即，凸缘到凸缘）交替移动。因此，丝线在丝线的缠绕和退绕期间通过行进单元有规则地布置在绕线管上。行进单元横向于绕线管的轴线移动丝线。然而，在切割工艺期间，或在缠绕（退绕）工艺期间的不规则性可导致丝线断裂，所述不规则性如绕线管上的摩擦、振动、丝线扭曲、错误的操作设置和行进单元故障等等。如果丝线断裂，那么机器停止，且必须修复丝锯，并且机器必须在再次准备用于操作之前重新设置。切割工艺的中断和对于重新设置丝锯所需的时间影响丝锯的生产率。鉴于上文，本专利技术的目的是提供克服本
中的至少一些问题的丝锯和用于操作丝锯的方法。
技术实现思路
鉴于上文，本专利技术提供了如独立权利要求所述的丝锯和用于测量丝锯中的操作状态的方法。本专利技术的进一步方面、优点和特征是从附属权利要求、描述和附图中显而易见。根据一个实施方式，提供了用于锯切半导体工件的丝锯装置。丝锯装置包括用于接收绕线管的绕线管接收布置，所述绕线管在绕线管的每一端包括绕线管凸缘。丝锯装置进一步包括传感器布置，所述传感器布置用于测量至少一个所述绕线管凸缘的操作状态。根据另一实施方式，提供了用于测量锯切半导体工件的丝锯装置的操作状态的方法。丝锯装置包括用于接收绕线管的绕线管接收布置，所述绕线管在绕线管的每一端包括一个凸缘。所述方法包括通过传感器布置测量至少一个所述绕线管凸缘的操作状态。根据进一步实施方式，提供了用于操作锯切半导体工件的丝锯装置的方法。所述方法包括从绕线管提供用于锯切半导体工件的丝线，所述绕线管在绕线管的每一端包括绕线管凸缘。所述方法进一步包括测量至少一个所述绕线管凸缘的操作状态。实施方式还针对用于进行所公开的方法的设备且包括用于进行各所描述的方法步骤的设备元件。这些方法步骤可经由硬件元件、通过适当软件编程的计算机，或通过所述两者的任何组合或以任何其他方式进行。此外，根据本发明的实施方式还针对数个方法，所述设备通过所述方法进行操作。所述方法包括用于进行设备的每个功能的方法步骤。附图说明因此，以可详细地理解本专利技术的上述特征的方式，可参考实施方式获得上文简要总结的本专利技术的更特定描述。附图涉及本专利技术的实施方式且附图描述在下文中：图1图示丝锯的示意图，所述丝锯中可使用根据本文所述的实施方式的丝锯装置；图2图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和丝锯装置的绕线管的示意侧视图；图3图示图2中所示的丝锯装置的示意前视图；图4图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和安装到丝锯装置的绕线管的示意侧视图；图5图示图4中所示的丝锯装置的示意前视图；图6图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和安装到丝锯装置的绕线管的示意侧视图；图7图示根据本文所述的实施方式的包括传感器布置的绕线管布置的示意侧视图；图8图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和安装到丝锯装置的绕线管的示意侧视图；图9图示根据本文所述的实施方式的包括传感器布置的绕线管布置的示意侧视图；图10图示根据本文所述的实施方式的包括传感器布置的绕线管布置的示意侧视图；图11图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置的示意图；图12图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置和安装到丝锯装置的绕线管的示意侧视图；图13图示图12中所示的丝锯装置的示意前视图；图14图示根据本文所述的实施方式的丝锯装置的示意侧视图；图15图示根据本文所述的实施方式的用于测量丝锯装置的操作状态的方法的流程图；图16图示根据本文所述的实施方式的用于测量丝锯装置的操作状态的方法的流程图；图17图示根据本文所述的实施方式的用于操作丝锯装置的方法的流程图。具体实施方式现将对本专利技术的各种实施方式进行详细参考，所述实施方式的一个或多个示例图示于附图中。在附图的以下描述中，相同元件符号代表相同元件。通常，仅描述对于各实施方式的差异。各示例是作为对本专利技术的说明而提供，且各示例并不旨在作为对本专利技术的限制。此外，图示或描述为一个实施方式的一部分的特征可用于其他实施方式或结合其他实施方式一起使用，以产生更进一步实施方式。本描述意图包括此类修改和变化。图1图示丝锯100的示意侧视图，所述丝锯100中可使用根据本文所述的实施方式的丝锯装置。举例来说，丝锯100根据本文公开的实施方式包括四个丝线导向器112、114、116和118。每一丝线导向器112、114、116和118可被连接到用于旋转丝线导向器的电动机或驱动装置（未图示）。丝线120从馈线管134到卷线管138大体上沿在丝线120旁所示的直箭头方向导向。在图1中以侧视图图示的丝线120也可在一个实施方式中包括形成丝网的数个丝线。根据一些实施方式，丝锯可包括如下文中详述的丝锯装置。如本文中所指的丝锯装置可被用作包括进一步元件（如上述丝线导向器、电动机、控制单元等等）的丝锯的一部分，被用作包括用于通过丝网切割锭料的元件的丝锯系统的一部分，被用作布置在一个锯切系统中的一个或多个丝锯的一部分，或可被用作丝锯本身。根据一些实施方式，丝锯装置可包括用于接收绕线管的绕线管接收布置，所述绕线管接收布置诸如为上述馈线管或卷线管。将要安装到绕线管接收布置的绕线管可在绕线管的每一端处提供一个凸缘（诸如馈线管134的凸缘135和卷线管138的凸缘139，如在图1的丝锯的侧视图中可见）。例如，丝锯可具有外壳（未图示在图1中），绕线管接收布置安装到所述外壳中。有可能用于丝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于锯切半导体工件(102;104;106;108)的丝锯装置(200;300;400;500;600)，所述丝锯装置包括：用于接收绕线管(250;350;450;550;650;651)的绕线管接收布置(210;310;410;510)，所述绕线管在所述绕线管的每一端包括绕线管凸缘(260,270;360,370;460,470;560,570;660,670;661;671)；和传感器布置(220;320;420;520;620)，所述传感器布置用于测量至少一个所述绕线管凸缘(260,270;360,370;460;470;560,570;660,670;661;671)的操作状态。

【技术特征摘要】
2013.08.21 EP 13181226.51.一种用于锯切半导体工件(102;104;106;108)的丝锯装置(200;300;400;500;
600)，所述丝锯装置包括：
用于接收绕线管(250;350;450;550;650;651)的绕线管接收布置(210;310;410;
510)，所述绕线管在所述绕线管的每一端包括绕线管凸缘(260,270;360,370;460,
470;560,570;660,670;661;671)；和
传感器布置(220;320;420;520;620)，所述传感器布置用于测量至少一个所述
绕线管凸缘(260,270;360,370;460;470;560,570;660,670;661;671)的操作状态。
2.如权利要求1所述的丝锯装置，其中所述丝锯装置(200;300;400;500;600)
进一步包括移动单元(325;625)，且其中所述传感器布置(320;620)的至少一部分被
安装到所述移动单元。
3.如权利要求2所述的丝锯装置，其中所述移动单元是可伸缩臂。
4.如权利要求1所述的丝锯装置，其中所述传感器布置(220;320;420;520;620)
被配置为用于测量至少一个所述绕线管凸缘(260,270;360,370;460,470;560,570;
660,670;661;671)的形状和位置的至少一个。
5.如权利要求1所述的丝锯装置，其中所述传感器布置(220;320;420;520;620)
被配置为用于测量包括由以下项组成的群组的至少一项的操作状态：在所述绕线管
(250;350;450;550;650;651)的至少一个所述凸缘(260,270;360,370;460;470;560,
570;660,670;661;671)和所述绕线管接收布置(210;310;410;510)的表面(216;316;
416;516;616;618)之间的距离、在一个绕线管(250;350;450;550;650;651)的所述
两个凸缘(260,270;360,370;460;470;560,570;660,670;661;671)之间的距离，和
至少一个所述绕线管凸缘(260,270;360,370;460;470;560,570;660,670;661;671)
的形变。
6.如权利要求1、2、4或5中的任一项所述的丝锯装置，其中所述绕线管接
收布置包括第一绕线管接收和第二绕线管接收，所述第一绕线管接收用于接收提供
丝线的馈线管(650)，所述第二绕线管接收用于接收收纳所述丝线的卷线管(651)，
且其中所述传感器布置(220;320;420;520;620)被配置为用于测量所述馈线管(650)
的至少一个所述绕线管凸缘(660;670)的所述操作状态，且测量所述卷线管(651)的
至少一个所述绕线管凸缘(661;671)的所述操作状态。
7.如权利要求6所述的丝锯装置，其中所述传感器布置(220;320;420;520;620)

\t包括至少一个传感器(621;626)和至少一个传感器(622;627)，所述至少一个传感器
(621;626)适合于测量所述馈线管(650)的所述操作状态，且所述至少一个传感器
(622;627)用于测量所述卷线管(651)的所述操作状态。
8.如权利要求7所述的丝锯装置，如果从属于权利要求2，则其中用于所述馈
线管(650)的一个传感器和用于所述卷线管(651)的一个传感器(622)被安装到所述移
动单元(625)。
9.如权利要求1、2、4或5中的任一项所述的丝锯装置，其中所述丝锯装置
(200;300;400;500;600)包括机器主体(217;317;417;517;617)，所述机器主体(217;
317;417;517;617)被设置为用于提供所述绕线管接收(210;310;410;510)，且其中
所述传感器布置(220;320;420;520;620)至少在所述机器主体和所述绕线管接收布
置的一个处包括参考传感器装置。
10.如权利要求6所述的丝锯装置，其中所述丝锯装置(200;300;400;500;
600)包括机器主体(217;317;417;517;617)，所述机器主体(217;317;417;517;617)
被设置为用于提供所述绕线管接收(210;310;410;510)，且其中所述传感器布置
(220;320;420;520;620)至少在所述机器主体和所述绕线管接收布置的一个处包括
参考传感器装置。
11.如权利要求2至3中的任一项所述的丝锯装置，其中所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·佐米尼，M·比约，
申请(专利权)人：应用材料瑞士有限责任公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH