一种半透光镀膜机用电极结构制造技术

技术编号:11145230 阅读:127 留言:0更新日期:2015-03-13 11:04
本实用新型专利技术公开了一种半透光镀膜机用电极结构,包括设置在电镀炉内的形成正负电极用的两个电极板,所述两个电极板之间通过钨丝连接,所述钨丝上设有折弯部,且所述折弯部设有截面积从前端至后端依次增大的蒸发主体部。本实用新型专利技术通过采用折弯型钨丝且折弯部设有截面积从前端至后端依次增大的蒸发主体部,使钨丝蒸发面积越大,从而使蒸发效果最好、蒸发效率也最高,蒸发效率可达到99.5%,提高了素材利用率,降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜
,具体是指一种半透光镀膜机用电极结构
技术介绍
在过去的几十年中,光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。现有真空镀膜技术一般在10-2Pa~10-3Pa的真空中加热金属、金属化合物或其他镀膜材料,使其在极短的时间内蒸发,从而把纯净的原子沉积到基板表面上形成镀膜层,属于物理气相沉积(PVD)。由于镀膜过程中几乎无杂质进入,可以使镀层质量十分优异。真空镀膜室的真空度、镀膜材料的蒸发速率、基本和蒸发源的间距,以及基板表面状态和温度等都是影响镀膜层质量的因素。半透光镀膜是利用强大电压将镀膜源钨丝加热,把挂在钨丝上的镀材熔解,再升高钨丝电压使用镀材蒸发、并以离子的形态飞散到各方面并附着于被镀件上,经冷却后最终形成半透光的膜层。然而,现有的蒸发钨丝对镀材的蒸发率较低,金属镀材蒸发过程中金属离子分布不均匀,导致产品上的镀膜层膜厚不均匀影响透光率,电极蒸发电压不稳定,最终导致了电镀炉中的金属离子呈不均匀状态分布。另外,如何降低镀膜成本、提高镀材的蒸发率、提高涂层的稳定性和均匀性能也是目前正在研究的方向。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中的不足之处,提供一种提高镀材的蒸发率的半透光镀膜机用电极结构。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的:一种半透光镀膜机用电极结构,包括设置在电镀炉内的形成正负电极用的两个电极板,所述两个电极板之间通过钨丝连接,其特征在于:所述钨丝上设有折弯部,且所述折弯部设有截面积从前端至后端依次增大的蒸发主体部。具体的,所述两个电极板为一组电极,所述电镀炉内设有从炉内下端到炉内上端依次平行排列的多组电极。具体的,所述多组电极为20组,且首端前两组和末端后两组电极的长度大于中部位置的电极长度。优选的,首端前两组和末端后两组电极的长度为20cm。优选的,所述多组电极相邻组之间的间距为7cm。本技术相比现有技术具有以下优点及有益效果:1、本技术通过采用折弯型钨丝且折弯部设有截面积从前端至后端依次增大的蒸发主体部,使钨丝蒸发面积越大,从而使蒸发效果最好、蒸发效率也最高,蒸发效率可达到99.5%,提高了素材利用率,降低了生产成本。2、本技术针对目前电镀炉不同长度的多组电极进行空间位置调整,调整后可使每组电极可获得恒定的蒸发电流及恒定的蒸发电压,进而使金属离子均匀分布于电镀炉内。附图说明图1为本技术半透光镀膜机用电极结构中的钨丝结构示意图。图2为本技术的半透光镀膜机用电极结构的结构示意图。具体实施方式下面结合实施例及附图对本技术作进一步详细的描述,但本技术的实施方式不限于此。实施例如图1与图2所示,本实施例提供一种半透光镀膜机用电极结构,包括设置在电镀炉1内的形成正负电极用的两个电极板2,所述两个电极板2之间通过钨丝3连接,所述钨丝3上设有折弯部4,且所述折弯部设有截面积从前端至后端依次增大的蒸发主体部5。根据蒸发效率公式:对比蒸发前钨丝和蒸发后的重量,计算出多种形态钨丝对镀材的蒸发效率,包括但不限于山形、绕型、弧线形、直线型以及本实施例采用的从前端至后端依次增大类似锅型的钨丝,并进行真空电镀验证得出:本实施例的采用折弯型且折弯部设有截面积从前端至后端依次增大的蒸发主体部(类似锅型)的钨丝蒸发面积最大,其蒸发效果最好,蒸发效率也最高,蒸发效率可达到99.5%。所述两个电极板1为一组电极6,所述电镀炉内设有从炉内下端到炉内上端依次平行排列的多组电极6。所述多组电极6为20组,且首端前两组和末端后两组电极的长度大于中部位置的电极长度。优选的,首端前两组和末端后两组电极的长度为20cm。优选的,所述多组电极相邻组之间的间距为7cm。本技术的半透光镀膜机用电极结构使用时,在镀膜的过程中,待镀膜的工件排列于两个电极板的外周,由于多组电极相邻组之间的间距均匀且首端前两组和末端后两组电极的长度大于中部位置的电极长度,保证了位于电镀炉底端和顶端也有与中部一致的等离子密度,使金属离子均匀分布于电镀炉内;而且,蒸发主体部(类似锅型)的钨丝蒸发面积最大,等离子体密度提高,更多的带正点的离子在工件表面沉积,从而提高镀膜速率及效率。上述实施例为本技术较佳的实施方式,但本技术的实施方式并不受上述实施例的限制,其他的任何未背离本技术的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本实用新型的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半透光镀膜机用电极结构,包括设置在电镀炉内的形成正负电极用的两个电极板,所述两个电极板之间通过钨丝连接,其特征在于:所述钨丝上设有折弯部,且所述折弯部设有截面积从前端至后端依次增大的蒸发主体部。

【技术特征摘要】
1.一种半透光镀膜机用电极结构,包括设置在电镀炉内的形成正负电极用
的两个电极板,所述两个电极板之间通过钨丝连接,其特征在于:所述钨丝上
设有折弯部,且所述折弯部设有截面积从前端至后端依次增大的蒸发主体部。
2.根据权利要求1所述的半透光镀膜机用电极结构,其特征在于:所述两
个电极板为一组电极,所述电镀炉内设有从炉内下端到炉内上端依次平行排列
的多组电极。
3....

【专利技术属性】
技术研发人员:马晓明
申请(专利权)人:惠州建邦精密塑胶有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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