LED刻蚀机托盘结构制造技术

LED刻蚀机托盘结构，包括托盘和设置在托盘上的数个载片台，载片台上设置有定位凸台，定位凸台内侧即载片台四周设置有密封沟槽；所述载片台上均匀设置有数个冷却氦气分布孔，所述定位凸台上均匀分布有数个避空槽，每个载片台周围还设置有数个盖板锁紧螺丝孔；所述托盘上还设置有两个凸出的定位销，托盘的背面设置有三圈氦气引导槽。本实用新型专利技术所述的LED刻蚀机托盘结构具有无需借助摆片工装，也无需操作人员且有专业经验即可实现快速装片的特点。

【技术实现步骤摘要】
LED刻蚀机托盘结构
本技术设计半导体工艺处理设备LED-1CP刻蚀机，尤其涉及到LED刻蚀机托盘结构。
技术介绍
现有技术中的LED刻蚀机托盘是LED刻蚀机动作过程中蓝宝石基片的载体，实现对蓝宝石基片夹持、定位、引导氦气冷却等功能，与基片直接接触，是实现刻蚀工艺的核心部件之一。为了提高刻蚀过程的生产效率，同一件托盘上设计多达20几个蓝宝石工位，将蓝宝石基片安装到托盘上的工件通常采取手动并借助摆片工装的方式，先把蓝宝石基片装到摆片工装的定位槽内，之后把托盘反扣到摆片工装上，锁紧后再翻转180度，取下摆片工装，盖上盖板。整个装片过程十分繁琐不易操作，要求操作人员具有较高的熟练程度及耐心，并且在装盖板的过程中一旦蓝宝石基片发生移位，整个装片过程要重新来过，完成一块托盘的装片正常要费时2(Γ30分钟。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种无需借助摆片工装，也无需操作人员且有专业经验即可实现快速装片的LED刻蚀机托盘结构。 LED刻蚀机托盘结构，包括托盘和设置在托盘上的数个载片台，其特征在于:载片台上设置有定位凸台，定位凸台内侧即载片台四周设置有密封沟槽；所述载片台上均匀设置有数个冷却氦气分布孔，所述定位凸台上均匀分布有数个避空槽，每个载片台周围还设置有数个盖板锁紧螺丝孔；所述托盘上还设置有两个凸出的定位销，托盘的背面设置有三圈氦气引导槽。 所述定位凸台高于载片台0.4mm。 所述定位凸台上均布四个避空槽，避空槽的底面与载片台在同一平面。 所述密封沟槽为倒燕尾结构，密封沟槽底面为粗糙度Ra0.4的同心圆密封面。 所述载片台上均匀设置有七个直径约0.4mm的冷却氦气分布孔，其中一个位于载片台的中心，六个均布在密封沟槽内侧。 所述氦气引导槽为宽度2mm深度1mm的沟槽。 本技术的优点在于本技术所述的LED刻蚀机托盘结构具有无需借助摆片工装，也无需操作人员且有专业经验即可实现快速装片的特点。 【附图说明】 下面结合附图对本技术做进一步的说明: 图1为本技术的结构示意图； 图2为图1中A-A面的剖视图； 图3为本技术的仰视图； 图4为本技术的立体图； 图5为图4中C的局部放大图。 1、托盘，2、载片台，3、密封沟槽，4、盖板锁紧螺丝孔，5、冷却氦气分布孔，6、定位凸台，7、避空槽，8、氦气引导槽，9、定位销。 【具体实施方式】 LED刻蚀机托盘结构，包括托盘I和设置在托盘I上的数个载片台2，其特征在于:载片台2上设置有定位凸台6，定位凸台6内侧即载片台2四周设置有密封沟槽3 ;所述载片台2上均匀设置有数个冷却氦气分布孔5，所述定位凸台6上均匀分布有数个避空槽7，每个载片台2周围还设置有数个盖板锁紧螺丝孔4 ;所述托盘上还设置有两个凸出的定位销9，托盘I的背面设置有三圈氦气引导槽8。 所述定位凸台6比载片台2高0.4mm。 所述定位凸台6上均布四个避空槽7，避空槽7的底面与载片台2处于一个平面。 所述密封沟槽3为倒燕尾结构，密封沟槽3底面为粗糙度Ra0.4的同心圆密封面。 所述载片台2上均匀设置有七个直径约0.4mm的冷却氦气分布孔5，其中一个位于载片台2的中心，六个均布在密封沟槽3内侧。 所述氦气引导槽8为宽度2mm深度Imm的沟槽。 具体实施时，围绕载片台的外圈设计定位凸台；凸台的高度与蓝宝石基片的厚度相同，为0.4_ ;凸台内侧型腔的形状与蓝宝石基片相同，尺寸在蓝宝石基片的基础上单边扩大0.1_，蓝宝石基片可轻松放入型腔，又可实现定位作用；定位凸台上均布四个缺口，缺口深度到载片台的平面，用于避开盖板上压爪对蓝宝在基片的压紧。 密封沟槽设计在载片台上、定位凸台的内侧；密封槽为倒燕尾结构，可避免橡胶密封圈松动、脱落；密封沟槽底面为粗糙度要求Ra0.4同心圆密封面。 盖板锁紧螺丝孔为三圈柱装内螺纹孔分布在每个载片台的周围，用于锁紧盖板，锁紧后，盖板上对应的压爪穿过定位凸台上的避空缺口压住蓝宝石基片。 在托盘上设计两个凸出的定位销，与盖板上的定位孔配合，确保装配后盖板是的压爪正好通过避空缺口。 在每个载片台上设计7个直径约0.4mm通孔，其中一个位于载片台的中心，6个均布在密封沟槽内侧。冷却氦气通过小孔均匀地流经蓝宝石基片的底面，带走工艺过程中的热量。 在托盘的背面，设计3圈宽度2mm，深度Imm的沟槽，帮助氦气流畅地引入氦气分布孔。 蓝宝石基片放在载片台上；蓝宝石基片的外圆压在放入沟槽内的密封圈上，阻止氦气从侧面泄露；盖板锁紧螺丝孔分布在载片台的周围，确保压紧力均匀保用在基片上；氦气从冷却氧气分布孔内通过，流经蓝宝石基片的底面，带走刻蚀工艺过程中的热量；定位凸台高于载片台0.4mm,围成的型腔结构可实现蓝宝石基片的快速定位,并能有效防止基片入位后发生移位；定位凸台上均布的四个避空槽，盖板上的压爪压入避空槽内，作用蓝宝石在基片上；托盘背面设置有三圈氦气引导槽；定位销与盖板上的定位销孔相对应，确保装配销紧后的位置。 定位凸台围成的形状与待刻蚀的蓝宝石基片外形相同，可实现蓝宝石基片的快速定位，且不易发生移位。盖板锁紧螺丝孔设计成内螺纹，分布在载片台的同一面上，基片装好后无需翻转托盘，即可轻松锁紧盖板。 以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书内容所作的等效结构或等效流程变换或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。 综上所述，本技术所述的LED刻蚀机托盘结构具有无需借助摆片工装，也无需操作人员且有专业经验即可实现快速装片的特点。本文档来自技高网...

【技术保护点】
LED刻蚀机托盘结构，包括托盘（1）和设置在托盘（1）上的数个载片台（2），其特征在于：载片台（2）上设置有定位凸台（6），定位凸台（6）内侧即载片台（2）四周设置有密封沟槽（3）；所述载片台（2）上均匀设置有数个冷却氦气分布孔（5），所述定位凸台（6）上均匀分布有数个避空槽（7），每个载片台（2）周围还设置有数个盖板锁紧螺丝孔（4）；所述托盘上还设置有两个凸出的定位销（9），托盘（1）的背面设置有三圈氦气引导槽（8）。

【技术特征摘要】
1.LED刻蚀机托盘结构，包括托盘(I)和设置在托盘(I)上的数个载片台(2)，其特征在于:载片台(2)上设置有定位凸台(6)，定位凸台(6)内侧即载片台(2)四周设置有密封沟槽(3);所述载片台(2)上均匀设置有数个冷却氦气分布孔(5)，所述定位凸台(6)上均匀分布有数个避空槽(7)，每个载片台(2)周围还设置有数个盖板锁紧螺丝孔(4);所述托盘上还设置有两个凸出的定位销(9)，托盘(I)的背面设置有三圈氦气引导槽(8)。2.根据权利要求1所述的LED刻蚀机托盘结构，其特征在于:所述定位凸台(6)比载片台(2)高 0.4mm。3.根据权利要求2所述的LE...

【专利技术属性】
技术研发人员：游利，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32