【技术实现步骤摘要】
一种低温扫描激光显微镜的光学系统
本专利技术属于用于研究微观机理的小型设备
，具体涉及一种扫描激光显微镜的光学系统。
技术介绍
随着微加工技术的发展，电子元器件的尺寸已经到了微米甚至是纳米量级。由于器件尺度的减小，无论是基于半导体材料，还是基于超导材料的电子器件，其内部存在的热现象都对器件工作状态有着重要的影响。某些特殊的电子器件，由其材料决定，必须工作在极端条件下(如基于超导材料的超导电子器件需工作在低温环境)，这时热效应的影响就更加显著。在利用这些器件宏观效应(如基于BSCCO高温超导材料的太赫兹辐射源)的同时，希望能更深入地研究这些器件工作的微观机制，其内部的自热现象，电磁场的分布等影响器件表现的各种因素。然而这些电子器件的尺寸和工作温度条件，给研究其内部的微观机制提出了苛刻的要求。现有的研究设备，还不能完全满足使用需求。
技术实现思路
专利技术目的:针对现有技术中存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种扫描激光显微镜的光学系统，使用环形器和渐变折射率棱镜，有效地减小光学系统复杂度和相应的体积，满足使用需求。 技术方案:为了实现上述专利技术目的，本专利技术采用的技术方案为:一种扫描激光显微镜的光学系统，包括激光器、环行器、光电探测器、光纤和渐变折射率棱镜；所述的激光器、光电探测器和光纤均与环行器相连，所述的渐变折射率棱镜与光纤相连。 所述的环行器用于隔离激光器出射的激光和从样品上反射的激光；从激光器出射的激光通过环形器耦合至光纤中，从样品上反射的激光经环形器耦合到光电探测器上。 所述的光电探测器用于检测...
【技术保护点】
一种扫描激光显微镜的光学系统，其特征在于：包括激光器（1）、环行器（2）、光电探测器（3）、光纤（4）和渐变折射率棱镜（5）；所述的激光器（1）、光电探测器（3）和光纤（4）均与环行器（2）相连，所述的渐变折射率棱镜（5）与光纤（4）相连。
【技术特征摘要】
1.一种扫描激光显微镜的光学系统，其特征在于:包括激光器(I)、环行器(2)、光电探测器(3)、光纤(4)和渐变折射率棱镜(5);所述的激光器(I)、光电探测器(3)和光纤(4)均与环行器(2)相连，所述的渐变折射率棱镜(5)与光纤(4)相连。2.根据权利要求1所述的扫描激光显微镜的光学系统，其特征在于:所述的环行器(2)用于隔离激光器(I)出射的激光和从样品上反射的激光；从激光器(I)出射的激光通过环形器(2)耦合至光纤(4)中，从样品上反射的激光经环形器(2)耦合到光电探测...
【专利技术属性】
技术研发人员：王华兵，周宪靖，袁洁，吴培亨，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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