一种点阵激光器的双远心成像系统技术方案

本发明专利技术公开了一种点阵激光器的双远心成像系统，其采用了双远心、6片结构，工作波长为532nm。该系统光学共轭总长(物方到像方)L＝168mm，像方工作距达到58mm。物方、像方远心度均控制在±0.5度以内。数值孔径达到NA＝0.18。采用对称结构，因此正负畸变可以相互抵消，实现较好的畸变控制，实际出射激光质量良好。

【技术实现步骤摘要】
-种点阵激光器的双远心成像系统
本专利技术涉及一种点阵激光器的双远也成像系统，属于激光加工设备中的光学系统 设计领域。
技术介绍
激光器W其特有的优异特性在微细加工，测量技术，激光定位等方面正发挥着巨 大的作用。本专利技术中使用的激光器是由532nm绿光固体激光器组成的点阵激光器。 点阵激光器作为新的激光器研究热点，在微细加工方面正发挥着广泛的应用，特 别地，在临床医学中的美容疗法尤其引起国内外的关注并得到了广泛的应用。 固体激光器发出的激光光束，不同于平面波，而是一种场振幅沿径向作高斯函数 衰减变化的、具有特殊结构的高斯光束，高斯光束都存在发散角，尽管激光器的发散角很 小，但是当需要精确定位曝光时（工业应用中），激光器需要通过准直镜、扩束镜、聚焦镜的 方式照射到加工物表面实现加工。
技术实现思路
本专利技术设计了一种点阵激光器的双远也成像系统，镜片数较少，可W有效地将激 光器所产生的光1:1地中继转像到后端，达到较高的成像质量。 本专利技术采用的技术方案为；一种点阵激光器的双远也成像系统，该成像系统物象 共辆距L= 168mm;工作波长为53化皿；物方工作距为35mm，像方工作距为58mm;光学结构 为双远也结构；从入射方向开始为6片式结构，镜片编号L1?L6，L1?L3为前组，L4?L6 为后组，L3、L4两片为负透镜，其余均为正透镜； 透镜L1为正弯月透镜，有效焦距为53. 45mm;透镜L2为双凸透镜，有效焦距为 99. 63mm;透镜L3为负弯月透镜，有效焦距为-71. 54mm;透镜L4为负弯月透镜，有效焦距 为-71. 54mm;透镜L5为双凸透镜，有效焦距为99. 63mm;透镜L6为正正弯月透镜，有效焦距 为 53. 45mm。 [000引进一步的，6片镜片构成一个双远也光路，物方、像方远也度保持在±0. 5度W内， 该样设计可W保证物面、像面有一定偏离的情况下，依然保证镜头有良好的成像质量W及 相同的放大倍率。 进一步的，放大倍率M=-1X。 进一步的，物方数值孔径为NA= 0. 18 ; 进一步的，其镜片材料牌号分别为护脚^H-QK化W及H-巧的玻璃，生产厂家为成 都光明光电有限公司。 本专利技术与现有技术相比的优点在于： (1)、本专利技术使用较少的镜片，且都是易于加工的球面镜，像质良好，成本较低。 (2)、本专利技术使用严格的对称结构，可W有效提高出射光的质量。 【附图说明】 图1是本专利技术点阵激光器双远也成像系统结构示意图。 图2是本专利技术的光学点列图。 【具体实施方式】 下面结合附图对本
技术实现思路
作进一步的说明。 参照图1，系统W第一块镜片（L1)朝向物体的面为入射面，沿着光轴W此类推共 12个光学表面，6块镜片，分别是第一块正弯月镜片，第二块双凸镜片，第H片负弯月镜片， 第四片负弯月透镜，第五片双凸镜片，第六片正弯月镜片。物象共辆距为L= 168mm。所有 镜片W光阔为中也成镜像对称、双远也结构，该样布局可W保证物、像面有微量偏离的情况 下，成像质量和放大倍率都不会发生变化。 本专利技术一种点阵激光器的双远也成像系统总共包含6枚镜片，能够有效地中继激 光。达到较高的成像质量。系统结构参数如下表1所示： 表1 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种点阵激光器的双远心成像系统，其特征在于：该成像系统物象共轭距L＝168mm；工作波长为532nnm；物方工作距为35mm，像方工作距为58mm；光学结构为双远心结构；从入射方向开始为6片式结构，镜片编号L1～L6，L1～L3为前组，L4～L6为后组，L3、L4两片为负透镜，其余均为正透镜； 透镜L1为正弯月透镜，有效焦距为53.45mm；透镜L2为双凸透镜，有效焦距为99.63mm；透镜L3为负弯月透镜，有效焦距为‑71.54mm；透镜L4为负弯月透镜，有效焦距为‑71.54mm；透镜L5为双凸透镜，有效焦距为99.63mm；透镜L6为正正弯月透镜，有效焦距为53.45mm。

【技术特征摘要】
1. 一种点阵激光器的双远心成像系统，其特征在于：该成像系统物象共轭距L = 168mm ;工作波长为532nnm ;物方工作距为35mm，像方工作距为58mm ;光学结构为双远心结 构；从入射方向开始为6片式结构，镜片编号L1?L6, L1?L3为前组，L4?L6为后组， L3、L4两片为负透镜，其余均为正透镜； 透镜L1为正弯月透镜，有效焦距为53. 45mm;透镜L2为双凸透镜，有效焦距为 99. 63mm ;透镜L3为负弯月透镜，有效焦距为-71. 54mm ;透镜L4为负弯月透镜，有效焦距 为-71. 54mm ;透镜L5为双凸透镜，有效焦距为99. 63mm ;透镜L6为正正弯月透镜，有效焦距 % 5...

【专利技术属性】
技术研发人员：司新春，刘俊伯，周毅，邓钦元，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51