用于拾取焊球阵列并将其输送到晶圆的焊球输送装置制造方法及图纸

一种用于拾取焊球阵列并将其输送到晶圆的焊球输送装置，所述焊球输送装置用于从焊球储存器拾取焊球阵列并且将所述焊球阵列输送到晶圆的接触面阵列，所述焊球输送装置包括真空室，所述真空室设置有真空连接器，所述焊球输送装置具有设置有流道的基板，在所述基板的外侧设置有输送模板，所述输送模板具有用于拾取单个焊球的接收口，所述接收口被以所述焊球阵列与所述接触面阵列对应的方式配置成孔图案，其中，所述基板设置有阀瓣装置，所述阀瓣装置允许限制流过所述基板的所述流道的空气的量。该焊球输送装置能够防止多个焊球可能被同时吸取而靠抵在仍开放的接收口、彼此堵塞并阻止了每个接收口一个焊球的期望的限定的排列。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
用于拾取焊球阵列并将其输送到晶圆的焊球输送装置
本技术涉及一种焊球输送装置，该焊球输送装置用于从焊球储存器拾取焊球阵列并且将焊球阵列输送到晶圆的接触面阵列上，焊球输送装置包括真空室，该真空室设置有真空连接器，所述焊球输送装置具有设置有流道的基板，在上述基板的外侧设置有输送模板，上述输送模板具有用于拾取单个焊球的接收口，以焊球阵列与接触面阵列对应的方式将接收口配置成孔图案。
技术介绍
从DElO 2004 051 983 Al中已知上述类型的装置。该已知装置配置在焊球储存器的上方并用于通过施加负压从保持在焊球储存器中的批量焊球中吸取焊球而使焊球靠抵输送模板，形成于输送模板的接收口的分布规定输送模板上的限定的焊球阵列，该焊球阵列与晶圆的接触面的分布和排列相对应，焊球将借助于输送模板输送到该晶圆的接触面上。 在将焊球施加到晶圆的接触面之后，然后，配置于接触面上的焊球能通过重熔形成为高接触金属(凸块)。
技术实现思路
在已知装置的操作中已发现，形成于输送模板的接收口的填充和通过由流道穿孔的基板将负压施加到接收口不同时发生，而是，首先，在输送模板拾取焊球的开始阶段中，仅接收口的一部分被填充焊球，并且另外的接收口或成组的接收口被连续地填充焊球直到最终填充了所有接收口。这意味着，随着输送模板的填充增加，即，随着被焊球填充(即关闭)的接收口的数量增加，在将负压恒定地施加到真空室时，由于整体上减小的基板的流动截面，使得相对较高的吸取力作用在仍开放的接收口上，所以还没有被填充焊球的接收口受到加速的流动。结果，多个焊球可能被同时吸取而靠抵在仍开放的接收口、彼此堵塞并阻止了每个接收口一个焊球的期望的限定的排列。 因此，本技术的目的是提高已知焊球输送装置的如下效果:防止上述缺点或至少降低上述缺点的影响。 该目的通过如下焊球输送装置获得。 提供一种用于拾取焊球阵列并将其输送到晶圆的焊球输送装置，所述焊球输送装置用于从焊球储存器拾取焊球阵列并且将所述焊球阵列输送到晶圆的接触面阵列，所述焊球输送装置包括真空室，所述真空室设置有真空连接器，所述焊球输送装置具有设置有流道的基板，在所述基板的外侧设置有输送模板，所述输送模板具有用于拾取单个焊球的接收口，所述接收口被以所述焊球阵列与所述接触面阵列对应的方式配置成孔图案，所述基板设置有阀瓣装置，所述阀瓣装置允许限制流过所述基板的所述流道的空气的量。 根据本技术的焊球输送装置具有基板，该基板设置有阀瓣装置(flaparrangement),上述阀瓣装置允许限制流过基板的流道的空气的量。 能够借助于根据本技术所设计的焊球输送装置对真空室施加恒定的负压，并且借助于阀瓣装置实现流过在输送模板的接收口被部分填充之后仍开放的接收口的空气的量降低，以便允许用于收缩流动截面的吸取力的调整。 在特别优选的实施方式中，所述阀瓣装置配置在所述基板的面向所述真空室的内侦牝即在基板的朝向真空室定向的内侧配置有阀瓣装置，从而不会影响配置于基板的外侧的输送模板。 如果阀瓣装置设置有用于调整阀瓣装置和基板之间的距离的阀瓣调整装置，使得可以进行该距离的连续改变，则对于调整输送模板的变化的流动截面是特别有利的。 如果所述阀瓣装置包括多个阀瓣，所述多个阀瓣与多个出流区域配合，在每个出流区域中配置有所述流道的多个出流截面，即阀瓣装置具有与基板的多个出流区域(flowexit area)配合的多个阀瓣，在每个出流区域中配置流道的多个出流截面，则能将输送模板分成多个段并单独地或以任何给定的组合方式激活这些段，即根据需要借助于关联的阀瓣密封选择的段和打开其它段用于负压施加。 在优选的实施方式中，阀瓣装置包括阀瓣载体，该阀瓣载体用于所有阀瓣的配置，并且该阀瓣载体连接到用于阀瓣的同步调整的阀瓣调整装置。 如果阀瓣调整装置具有驱动装置，该驱动装置配置在真空室的外侧，并且该驱动装置经由弓I入真空室的调整元件连接到阀瓣载体，则可以独立于真空室安装驱动装置。 优选地，输送模板配置成与基板间隔开，并且在形成于基板和输送模板之间的中间空间内配置有引流装置。引流装置可以优选地用于形成中间空间内的横向流，上述横向流被定向为与基板和输送模板平行，并且使输送模板的接收口内的流动状况均质化。 对于形成引流装置，已证明了流动网格(flow grid)是特别有效的，该流动网格优选地实施为金属丝网(wire mesh)。 本技术的焊球输送装置能够防止多个焊球可能被同时吸取而靠抵在仍开放的接收口、彼此堵塞并阻止了每个接收口一个焊球的期望的限定的排列。 【附图说明】 在以下的描述中，在附图的辅助下将更加详细地说明焊球输送装置的优选实施方式。 在附图中: 图1示出了配置于焊球储存器的上方的输送装置的示意图； 图2示出了从下方看的焊球输送装置的轴测图； 图3示出了俯视的焊球输送装置的轴测图； 图4示出了图2和图3中所示的焊球输送装置的分解图； 图5示出了图4中所示的焊球输送装置的局部放大图； 图6示出了根据图5中的截面线V1-VI的放大截面图。 【具体实施方式】 图1示出了焊球输送装置10，该焊球输送装置10设置有输送模板11，并且该焊球输送装置10沿着竖直Z轴下降到焊球储存器12中。 焊球储存器12具有:形成环状的周向壁13 ;以及形成该周向壁13的下缘端的底壁14。在本实施方式中，底壁14由网格状金属丝网形成，该金属丝网的网眼宽度至少比保持在焊球储存器12中的焊球16的直径略小，在焊球储存器12中，所有上述焊球形成焊球层17。 为了实现焊球16在焊球储存器12中的高度均匀分布，周向壁13借助于超声波装置(图1中未示出)受到振动。此外，产生流化床(fluid bed)用于焊球储存器12中的焊球16，其中气流(优选形成为氮气流)从下方施加到底壁14。优选地，通过使用与底壁14平行配置的喷嘴杆(nozzle bar)可以将特别均匀的流体施加到底壁14，上述喷嘴杆绕着竖直轴线转动，并且该喷嘴杆包括沿着喷嘴杆的纵向配置的多个喷嘴。 图1中所示的焊球输送装置10被配置在操纵装置19上的连接装置18的底侧，该操纵装置19允许焊球输送装置10和焊球输送装置10的输送模板11沿着空间轴X、空间轴y、空间轴z移动。 特别是如图2、图4和图6的图示中所示，焊球输送装置10的输送模板11设置有多个接收口 20，每个接收口 20均用于以输送模板11中的接收口 20的排列界定在接收口20中接收的各个焊球16的排列的方式从焊球储存器12中拾取一个焊球16。 图4示出了孔图案21，通过接收口 20的排列在输送模板11中界定该孔图案21，并且出于说明的目的，以高度放大的图示的方式在图4中示出该孔图案21。事实上，输送模板11的孔图案21的接收口 20之间的距离与形成于晶圆的表面上的接触面阵列的接触面的节距对应。 图4中所示的焊球输送装置10设置有真空室23和穿孔基板24，该真空室23具有真空连接器22。设置有接收口 20的输送模板11配置于基板24的外侧。 图1示出了在从焊球储存器12拾取焊球16的开始阶段期间的焊球输送装置10。经由真空连接器22，将负压供给到真空室23，使得本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于拾取焊球阵列并将其输送到晶圆的焊球输送装置(10)，所述焊球输送装置用于从焊球储存器(12)拾取焊球阵列并且将所述焊球阵列输送到晶圆的接触面阵列，所述焊球输送装置包括真空室(23)，所述真空室设置有真空连接器(22)，所述焊球输送装置具有设置有流道(33)的基板(24)，在所述基板的外侧设置有输送模板(11)，所述输送模板具有用于拾取单个焊球(16)的接收口(20)，所述接收口被以所述焊球阵列与所述接触面阵列对应的方式配置成孔图案(21)， 其特征在于， 所述基板设置有阀瓣装置(30)，所述阀瓣装置允许限制流过所述基板(24)的所述流道(33)的空气的量。

【技术特征摘要】
2014.07.15 DE 102014109923.01.一种用于拾取焊球阵列并将其输送到晶圆的焊球输送装置(10)，所述焊球输送装置用于从焊球储存器(12)拾取焊球阵列并且将所述焊球阵列输送到晶圆的接触面阵列，所述焊球输送装置包括真空室(23)，所述真空室设置有真空连接器(22)，所述焊球输送装置具有设置有流道(33)的基板(24)，在所述基板的外侧设置有输送模板(11)，所述输送模板具有用于拾取单个焊球(16)的接收口(20)，所述接收口被以所述焊球阵列与所述接触面阵列对应的方式配置成孔图案(21)， 其特征在于， 所述基板设置有阀瓣装置(30)，所述阀瓣装置允许限制流过所述基板(24)的所述流道(33)的空气的量。2.根据权利要求1所述的焊球输送装置， 其特征在于， 所述阀瓣装置(30)配置在所述基板(24)的面向所述真空室(23)的内侧(29)。3.根据权利要求2所述的焊球输送装置， 其特征在于， 所述阀瓣装置(30)设置有用于调整所述阀瓣装置和所述基板之间的距离(a)的阀瓣调整装置。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：加西姆·阿兹达什，
申请(专利权)人：派克泰克封装技术有限公司，
类型：新型
国别省市：德国;DE