包括包含快门的微机电光调制器的显示设备制造技术

一种显示设备包含背光灯和孔隙层，所述孔隙层定位于所述背光灯的前方且界定多个孔隙。所述显示设备还包含微机电系统MEMS光调制器，其经配置以调制由所述背光灯发射的通过所述孔隙的光以在所述显示设备上形成图像。所述MEMS光调制器包含快门(1202)，所述快门具有：光阻挡部分，其具有面对孔隙层的表面和面对前方的表面；以及形成于所述光阻挡部分中的至少一个凹陷(1207)。所述至少一个凹陷的宽度占使所述快门的两个边缘分离的距离的至少50％但小于100％。在其它实施例中，快门周边表面是成角度的。光泄漏得以减轻。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种显示设备包含背光灯和孔隙层，所述孔隙层定位于所述背光灯的前方且界定多个孔隙。所述显示设备还包含微机电系统MEMS光调制器，其经配置以调制由所述背光灯发射的通过所述孔隙的光以在所述显示设备上形成图像。所述MEMS光调制器包含快门(1202)，所述快门具有：光阻挡部分，其具有面对孔隙层的表面和面对前方的表面；以及形成于所述光阻挡部分中的至少一个凹陷(1207)。所述至少一个凹陷的宽度占使所述快门的两个边缘分离的距离的至少50％但小于100％。在其它实施例中，快门周边表面是成角度的。光泄漏得以减轻。【专利说明】包括包含快门的微机电光调制器的显示设备相关申请案本专利申请案主张2012年6月I日申请的标题为“微机电装置和制造方法(Microelectromechanical Device And Method Of Manufacturing) ” 的第 13/486，722 号美国非临时申请案的优先权。先前申请案的揭示内容视为本专利申请案的部分且以引用方式并入本专利申请案。
本专利技术涉及微机电(MEMS)系统的领域。
技术介绍
MEMS已并入到其中可利用微米大小的结构的机械运动来实现有用功能的多种应用中。关注的实例是从机械光调制器建立的显示器，其为有吸引力的对液晶显示器的替代。机械光调制器足够快以用良好的观看角度和广范围的颜色和灰度级显示视频内容。
技术实现思路
本专利技术的系统、方法和装置各自具有若干创新方面，其中并无单个一者唯一地负责本文揭示的所要属性。 本专利技术中描述的标的物的一个创新方面可在一种显示设备中实施，所述显示设备具有背光和孔隙层，所述孔隙层定位于所述背光的前方且界定多个孔隙。所述显示设备还包含至少一个MEMS光调制器，其经配置以调制由所述背光发射的通过所述孔隙的光以在所述显示设备上形成图像。所述MEMS光调制器包含快门，所述快门具有:光阻挡部分，其具有面对孔隙层的表面和面对前方的表面；以及形成于所述光阻挡部分中的至少一个凹陷。所述至少一个凹陷的宽度占使所述快门的两个边缘分离的距离的至少50%但小于100%。在一些实施方案中，所述至少一个凹陷朝向孔隙层开放。在一些实施方案中，所述至少一个凹陷具有长度、宽度和深度，使得所述宽度大于所述深度。 在一些实施方案中，所述快门进一步包含用于在打开位置中时允许光通过所述快门的快门孔隙，且所述快门的所述两个边缘包含所述快门的外部周边边缘和所述快门孔隙的边缘。在一些实施方案中，所述快门在所述快门的所述外部周边边缘与所述快门孔隙的所述边缘之间包含至少两个凹陷。在一些实施方案中，所述快门包含用于在打开位置中时允许光通过所述快门的快门孔隙，且侧凹陷定位于所述快门孔隙与所述快门的一侧之间以使得所述凹陷的所述长度垂直于所述快门孔隙的长度。在一些实施方案中，所述至少一个凹陷包含至少一个纵向凹陷部分和至少一个横向凹陷部分。在一些实施方案中，所述快门包含相对于显示器法线具有至少大约20度的角度的周边表面。在一些实施方案中，所述快门周边表面朝向孔隙层成角度。在一些实施方案中，所述快门周边表面远离孔隙层成角度。在一些实施方案中，所述周边表面相对于所述显示器法线的所述角度小于大约70度。在一些实施方案中，形成于所述光阻挡部分中的所述至少一个凹陷比所述孔隙层中的对应孔隙宽。 本专利技术中描述的标的物的另一创新方面可在一种显示设备中实施，所述显示设备具有:背光；孔隙层，其定位于所述背光的前方且界定多个孔隙；以及至少一个MEMS光调制器，其经配置以调制由所述背光发射的通过所述孔隙的光以在所述显示设备上形成图像。所述MEMS光调制器包含快门，所述快门具有:光阻挡部分，其具有面对孔隙层的表面和面对前方的表面；快门孔隙，其用于在打开位置中允许光通过所述快门；以及形成于所述光阻挡部分中的至少一个凹陷。所述至少一个凹陷定位于所述孔隙与所述快门的第一侧之间以使得所述凹陷的所述长度垂直于所述快门孔隙的长度。在一些实施方案中，所述显示设备包含定位于所述孔隙与所述快门的第二侧之间的至少第二凹陷，所述第二侧连接到所述第一侧，使得所述第二凹陷的长度平行于所述孔隙的所述长度。在一些实施方案中，所述至少一个凹陷的宽度占据所述快门的所述光阻挡部分的面积的至少50%。在一些实施方案中，所述至少一个凹陷具有长度、宽度和深度，使得所述宽度大于所述深度。 在一些实施方案中，所述快门的光阻挡部分中的凹陷朝向孔隙层开放。在一些实施方案中，所述至少一个凹陷包含至少一个纵向凹陷部分和至少一个横向凹陷部分。在一些实施方案中，形成于所述光阻挡部分中的所述至少一个凹陷比所述孔隙层中的对应孔隙宽。在一些实施方案中，所述快门包含相对于显示器法线具有至少大约20度的角度的周边表面。在一些实施方案中，所述快门周边表面朝向孔隙层成角度。在一些实施方案中，所述快门周边表面远离孔隙层成角度。在一些实施方案中，所述周边表面相对于所述显示器法线的所述角度小于大约70度。 本专利技术中描述的标的物的另一创新方面可在一种显示设备中实施，所述显示设备包含:背光；孔隙层，其定位于所述背光的前方且界定多个孔隙；以及至少一个MEMS光调制器，其经配置以调制由所述背光发射的通过所述孔隙的光以在所述显示设备上形成图像。所述MEMS光调制器包含快门，所述快门具有:光阻挡部分，其具有面对孔隙层的表面和面对前方的表面；以及形成于所述光阻挡部分中的至少一个凹陷。所述至少一个凹陷比所述孔隙层中的对应孔隙宽。在一些实施方案中，所述至少一个凹陷具有长度、宽度和深度，使得所述宽度至少大于所述深度。 在一些实施方案中，所述至少一个凹陷占据所述快门的所述光阻挡部分的面积的至少50%。在一些实施方案中，所述至少一个凹陷包含至少一个纵向凹陷部分和至少一个横向凹陷部分。在一些实施方案中，所述快门包含相对于显示器法线具有至少大约20度的角度的周边表面。在一些实施方案中，所述周边表面相对于所述显示器法线的所述角度小于大约70度。 本专利技术中描述的标的物的另一创新方面可在一种显示设备中实施，所述显示设备包含:背光；孔隙层，其定位于所述背光的前方且界定多个孔隙；以及MEMS光调制器，其经配置以调制由所述背光发射的通过所述孔隙的光以在所述显示设备上形成图像。所述MEMS光调制器包含快门，所述快门具有光阻挡部分，所述光阻挡部分主要垂直于显示器法线，且具有相对于显示器法线在20度与70度之间成角度的至少一个周边表面。 在一些实施方案中，所述快门包含具有快门孔隙周边的快门孔隙，且所述至少一个周边表面包含紧邻于所述快门孔隙周边的表面。在一些实施方案中，所述至少一个周边表面包含紧邻于所述快门的外部周边的表面。在一些实施方案中，所述至少一个周边表面朝向孔隙层成角度。在一些实施方案中，所述至少一个周边表面远离孔隙层成角度。 在附图和以下描述中陈述本说明书中描述的标的物的一或多个实施方案的细节。虽然此概述中提供的实例主要在基于MEMS的显示器方面描述，但此处提供的概念可应用于其它类型的显示器，例如LCD、0LED、电泳和场发射显示器，以及其它非显示器MEMS装置，例如MEMS麦克风、传感器和光学开关。从描述、附图和权利要求书将明了其它特征、方面和优点。应注意，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示设备，其包括：背光；孔隙层，其定位于所述背光的前方且界定多个孔隙；以及微机电系统MEMS光调制器，其经配置以调制由所述背光发射的通过所述孔隙的光以在所述显示设备上形成图像，所述MEMS光调制器包含快门，所述快门具有：光阻挡部分，其具有面对孔隙层的表面和面对前方的表面；以及形成于所述光阻挡部分中的至少一个凹陷，其中所述至少一个凹陷的宽度占使所述快门的两个边缘分离的距离的至少50％但小于100％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔伊·H·吴，石健如，马克·B·安德森，贾斯珀·洛德维克·斯泰恩，蒂莫西·J·布罗斯尼汉，
申请(专利权)人：皮克斯特隆尼斯有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US