具备振动装置的晶锭倾翻装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及具备振动装置的晶锭倾翻装置，涉及在通过将由线切割装置实施切断的晶锭以能够倾翻的方式固定，减少晶锭与金刚石线的摩擦热，使切断面积最小，由此能够增大切断速度，减少切断时间，并且由晶锭的切断所形成的晶片的切断面均匀的具备倾翻功能的晶锭倾翻装置，还包含生成微小振动来提高切断效率并且使金刚石线的损伤最小的振动装置构成的具备振动装置的晶锭倾翻装置。根据本发明专利技术，将由线切割装置实施倾翻驱动的同时切断的晶锭，通过振动装置和上下振动单轨道及左右振动单轨道由倾翻装置固定弹簧将振动传递于倾翻装置，使切断晶锭微小地振动，从而通过切断碎片的去除使摩擦热最小，由此改善金刚石线的寿命，精密地形成被切断的晶锭的切断面。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及具备振动装置的晶锭倾翻装置，涉及在通过将由线切割装置实施切断的晶锭以能够倾翻的方式固定，减少晶锭与金刚石线的摩擦热，使切断面积最小，由此能够增大切断速度，减少切断时间，并且由晶锭的切断所形成的晶片的切断面均匀的具备倾翻功能的晶锭倾翻装置，还包含生成微小振动来提高切断效率并且使金刚石线的损伤最小的振动装置构成的具备振动装置的晶锭倾翻装置。根据本专利技术，将由线切割装置实施倾翻驱动的同时切断的晶锭，通过振动装置和上下振动单轨道及左右振动单轨道由倾翻装置固定弹簧将振动传递于倾翻装置，使切断晶锭微小地振动，从而通过切断碎片的去除使摩擦热最小，由此改善金刚石线的寿命，精密地形成被切断的晶锭的切断面。【专利说明】具备振动装置的晶锭倾翻装置
本专利技术涉及具备振动装置的倾翻装置(ingot tilting device having vibrat1ninstall)，更详细而言，涉及在通过将由线切割装置实施切断的晶锭以能够倾翻的方式固定，减少晶锭与金刚石线的摩擦热，使切断面积最小，由此能够增大切断速度，减少切断时间，并且由晶锭的切断所形成的晶片的切断面均匀的具备倾翻功能的晶锭倾翻装置，还包含生成微小振动来提高切断效率并且使金刚石线的损伤最小的振动装置而构成的具备振动装置的晶锭倾翻装置。
技术介绍
用于切断晶锭来制造晶片的现有的一般装置，利用在驱动部的驱动下上下往复运动的切断部件(主要使用具有硬度比蓝宝石硅晶锭以及S1、SiC、Nd块晶锭的硬度大的金刚石线)，切断晶锭来制造薄板晶片。 然而，这种现有的一般的用于将晶锭切片来制造晶片的装置，由于在晶锭被固定的状态下，利用由高速移动的金刚石线等构成的切断部件来切断晶锭，因此切断时随着趋近晶锭的中心部侧，金刚石线与晶锭的切断面增大，并且由此摩擦热也增大，因此存在金刚石线受损，其寿命缩短的问题，并且还存在因金刚石线的损伤而导致所生产的晶片的切断面不均的问题。 为了解决这种问题，本专利技术的 申请人:提出过“具备倾翻功能的晶锭固定装置”，已被授权(授权号第101155784号)，该专利申请在如图1?图5所示的线切割装置上设有具备如图6?图8所示的倾翻功能的晶锭固定装置。将由线切割装置实施切断的晶锭以能够倾翻的方式固定，减少晶锭与金刚石线的摩擦热，使切断面积最小，由此能够增大切断速度，减少切断时间，并且由晶锭的切断所形成的晶片的切断面均匀，从而能够应对现有的问题。 然而，即便是在使用这种装置的情况下，也存在如下问题，即，无法去除在实施倾翻驱动的同时高速移动的金刚石线的晶锭切断过程中因切断产生的切断碎片累积于切断部的现象，对于不去除切断碎片的状态下的晶锭切断，虽能够通过倾翻驱动得以改善，但存在切断引起摩擦热的产生及切断面的精密度下降的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，通过在将由线切割装置实施切断的晶锭以能够倾翻的方式固定，减少晶锭与金刚石线的摩擦热，使切断面积最小，由此能够增大切断速度，减少切断时间，并且由晶锭的切断所形成的晶片的切断面均匀的具备倾翻功能的晶锭倾翻装置，具备生成微小振动的振动装置，来去除晶锭的切断所产生的切断碎片，从而进一步减少摩擦热，确保切断面的精密性。 为实现上述目的，本专利技术提供一种设置于线切割装置，具备振动装置的晶锭倾翻装置，其中的振动装置包含固定或者能够装拆地设置于基底框架(500)的侧端的一个以上的振动发生部(400)而构成，其中，基底框架(500)具备晶锭固定台(510)、晶锭粘接支承板(520)以及对被固定的晶锭实施倾翻驱动的伺服马达(530)，上述基底框架(500)通过一个以上的轴以及紧固螺钉(430)紧固于固定台(420)，并且在紧固螺栓的下端还包含倾翻装置固定弹簧(410)，其中，所述固定台(420)设置于通过升降单轨道(310)使上述基底框架(500)升降的升降机构(300)的下部，上述固定台(420)以通过在上述升降机构(300)的一端具备一个以上的上下振动单轨道(440)来固定振动轴的方式被安置。 并且，上述固定台(420)以通过在其下部具备一个以上的左右振动单轨道(600)来固定振动轴的方式被安置。 根据本专利技术，将由线切割装置实施倾翻驱动的同时实施切断的晶锭，通过振动装置和上下振动单轨道及左右振动单轨道由倾翻装置固定弹簧将振动传递于倾翻装置，使切断晶锭微小地振动，从而通过切断碎片的去除使摩擦热最小，由此改善金刚石线的寿命，精密地形成被切断的晶锭的切断面。 【专利附图】【附图说明】 图1为表示设置本专利技术的现有的线切割装置的右侧面立体图。 图2为表示设置本专利技术的现有的线切割装置的左侧面立体图。 图3为表示设置本专利技术的现有的线切割装置的俯视图。 图4为表示设置本专利技术的现有的线切割装置的主视图。 图5为表示设置本专利技术的现有的线切割装置的后视图。 图6为现有的具备倾翻功能的晶锭固定装置的俯视图。 图7为现有的具备倾翻功能的晶锭固定装置的侧视图。 图8为现有的具备倾翻功能的晶锭固定装置的主视图。 图9为本专利技术的具备振动装置的晶锭倾翻装置的主视图。 图10为本专利技术的具备振动装置的晶锭倾翻装置的侧视图。 图11为本专利技术的具备振动装置的晶锭倾翻装置的下降状态的主视图。 图12为本专利技术的具备振动装置的晶锭倾翻装置的下降状态的侧视图。 附图标记说明 100…线切割装置；110…切割用线拉出机构；120…拉出用张力调节机构；13(l...升降机构；140…切断机构；150…切割用线卷绕机构；200…具备倾翻功能的晶锭固定装置；210…基底框架；220、220'…支承框架；230、230'…转动轴;300…升降机构;310…升降单轨道；400、400a…振动发生部；410…倾翻装置固定弹簧；420…固定台；430…轴及紧固螺钉；440…上下振动单轨道；500…基底框架；510…晶锭固定台；520…晶锭粘接夹板；600…左右振动单轨道。 【具体实施方式】 以下，参照附图对本专利技术进行详细说明。 附图用于表示本专利技术的例示性的实施方式，用于更为详细地说明本专利技术而提供，本专利技术的范围并不限于此。 首先，以下，参照图1?图5，对设置本专利技术的现有的线切割装置进行简要说明。 设置本专利技术的现有的线切割装置100，如授权专利第101155784号所揭示，包括:基底部件；切割用线拉出机构110，其设置于上述基底部件的一侧，以相同的张力拉出卷绕在拉出用卷筒上的切割用线；拉出用张力调节机构120，其可自动地调节所拉出的切割用线的张力；升降机构130，其设置于上述基底部件的上部，沿前后方向滑动移动并且升降；切断机构140，其设置于上述升降机构的下部，使所拉出的切割用线按照一定间隔卷绕的同时使其高速移动；卷绕机构150，其将经上述切断机构移动的切割用线卷绕于卷绕用卷筒；以及控制部，其控制上述切割用线拉出机构、张力调节机构、升降机构、切断机构以及切割用线卷绕机构。 另外，现有的线切割装置所具备的现有的倾翻单元，如图6?图8所示，包括:基底框架210，其固定结合于上述升降机构130的下部；支承框架220、220'，它们垂直地结合在上述基底框架的两侧下部；以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具备振动装置的晶锭倾翻装置，其设置于如下所述的线切割装置上，该线切割装置包括：基底部件；切割用线拉出机构，其设置于上述基底部件的一侧，以相同的张力拉出卷绕在拉出用卷筒上的切割用线；拉出用张力调节机构，其能够自动地调节所拉出的切割用线的张力；升降机构，其设置于上述基底部件的上部，沿前后方向滑动移动且升降；切断机构，其设置于上述升降机构的下部，将所拉出的切割用线按照一定间隔卷绕的同时使其高速移动；切割用线卷绕机构，其将通过上述切断机构而移动的切割用线卷绕于卷绕用卷筒；以及控制部，其控制上述切割用线拉出机构、拉出用张力调节机构、升降机构、切断机构以及切割用线卷绕机构，该具备振动装置的晶锭倾翻装置的特征在于，包含固定或者能够装拆地设置于基底框架(500)的侧端的一个以上的振动发生部(400)而构成，其中，基底框架(500)具备晶锭固定台(510)、晶锭粘接支承板(520)以及对被固定的晶锭实施倾翻驱动的伺服马达(530)，上述基底框架(500)通过一个以上的轴以及紧固螺钉(430)紧固于固定台(420)，并且在紧固螺栓的下端还包含倾翻装置固定弹簧(410)，其中，所述固定台(420)设置于通过升降单轨道(310)使上述基底框架(500)升降的升降机构(300)的下部，上述固定台(420)以通过在上述升降机构(300)的一端具备一个以上的上下振动单轨道(440)来固定振动轴的方式被安置。...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：安国镇，权大根，
申请(专利权)人：韩国赛橌纳米技术株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR