树脂容器用涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够对多个树脂容器一并形成具有同等品质的膜的树脂容器用涂敷装置。树脂容器用涂敷装置具有：腔室（40），存放多个树脂容器（B），并为外部电极；多个内部电极（50），形成有引导原料气体的气体导通部（51），并分别插入到在腔室（40）存放的多个树脂容器（B）的内部；气体供给部（70），向腔室（40）供给原料气体，气体供给部（70）具有原料气体供给路径（P1）和从原料气体供给路径（P1）分支并分别与多个内部电极（50）的气体导通部（51）相连通的多个气体分支路径（P2），在原料气体供给路径（P1）上设置有调整原料气体的流量的质量流量控制器（74），在多个气体分支路径（P2）上分别设置有调整原料气体的流量的流量调整阀（78）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】树脂容器用涂敷装置
本专利技术涉及一种在腔室内配置多个树脂容器并能够对多个树脂容器一并成膜的 树脂容器用涂敷装置。
技术介绍
被广泛使用在家庭用品等中的聚乙烯等树脂一般具有使氧气、二氧化碳等低分子 气体透过的性质，还具有使低分子有机化合物吸附在其内部的性质。因此，在将树脂作为容 器使用时，与玻璃等其他容器相比，周知的是因其使用对象和使用形式等而受到各种制约。 例如，在向树脂容器填充碳酸饮料水进行使用时，存在该碳酸通过容器透过到外部而难以 长时间保持作为碳酸饮料水的品质的情形。 因此，在制造树脂容器时，为了消除树脂容器中的由低分子气体的透过、以及低分 子有机化合物的吸附导致的不良情况，周知的是使用等离子体CVD成膜技术在该树脂容器 的内部表面等形成DLC (Diamond Like Carbon:类金刚石碳）涂层等(例如，参照专利文献 1)。另外，根据近年来的生产高效化的要求，还周知的是对多个树脂容器一并形成该种涂层 的装置(例如，参照专利文献2)。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :日本国专利第2788412号 专利文献2 :日本国专利第4567442号。
技术实现思路
专利技术要解决的问题 但是，本专利技术人判明：使用如上述专利文献1、2那样的以往的等离子体CVD成膜技术对 多个树脂容器一并成膜的结果，树脂容器内侧的所形成的膜的品质出现偏差。导致该偏差 的主要原因是腔室的内部空间中的高频电力的不均匀分配。但是，要将高频电力的分配调 整均匀，需要变更腔室的形状、电极的顶端形状以及配置等，结构变复杂，有可能导致制造 成本上升。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够对多个树脂容器一并 形成具有同等品质的膜的树脂容器用涂敷装置。 用于解决问题的手段 本专利技术的树脂容器用涂敷装置，其特征在于，具有： 腔室，存放多个树脂容器，并为外部电极； 多个内部电极，被电气接地并且形成为筒状，在内周部形成有引导原料气体的气体导 通部，分别插入到在所述腔室存放的多个所述树脂容器的内部； 气体供给部，向所述腔室供给原料气体， 所述气体供给部具有：原料气体供给路径，与贮存原料气体的原料的原料贮存部相连 通；多个气体分支路径，从该原料气体供给路径分支，分别与多个所述内部电极的气体导通 部相连通， 经由所述原料气体供给路径和多个所述气体分支路径以及多个所述内部电极的气体 导通部分别向在所述腔室存放的多个所述树脂容器的内部供给原料气体， 在所述原料气体供给路径上设置有调整原料气体的流量的第一流量调整部，在多个所 述气体分支路径上分别设置有调整原料气体的流量的第二流量调整部。 另外，优选所述腔室具有在直线上分别独立地存放多个所述树脂容器的多个存放 室。 另外，优选所述第二流量调整部由流量调整阀构成。 专利技术效果 根据本专利技术的树脂容器用涂敷装置，在所述原料气体供给路径上设置有调整原料气体 的流量的第一流量调整部，进而在多个所述气体分支部上分别设置有调整原料气体的流量 的第二流量调整部。因此，通过第二流量调整部对向各树脂容器的内部供给的原料气体的 流量进行调整，从而即使不变更腔室的形状、电极的顶端形状以及配置等，也能够对多个树 脂容器一并形成具有同等品质的膜。 【附图说明】 图1是说明本专利技术的树脂容器用涂敷装置的实施方式的主视剖视图。 图2是图1所示的树脂容器用涂敷装置的侧剖视图。 图3是图1所示的腔室的主要部分放大剖视图。 图4是图1所示的气体供给部的分流部的俯视图。 图5是说明图1所示的涂敷装置的管道结构的示意图。 图6是表示腔室的每个存放室的成膜评价试验结果的曲线图。 【具体实施方式】 以下，参照附图对本专利技术的树脂容器用涂敷装置的一个实施方式进行说明。 本实施方式的树脂容器用涂敷装置（以下仅称为涂敷装置）是在腔室内存放多 个树脂容器，并使用等离子体CVD技术在其内部表面等一并形成由硅化合物的气体等构成 的膜的装置。作为树脂容器，例如能够举出碳酸饮料和果汁等饮料水用的瓶、化妆水或药品 用的容器，但并不限于此，也可以是用于其他用途的树脂容器。 如图1~3所示，本实施方式的涂敷装置10具有：成为基座的底座部20 ;平板状的 绝缘板30,配置在该底座部20上；腔室40,设置在该绝缘板30上，并具有多个存放室Sl， 多个存放室Sl分别独立地存放多个大致圆筒状的树脂容器B ;管状的内部电极50,分别插 入并配置于在该腔室40的存放室Sl设置的树脂容器B的内部；排气部60,分别与腔室40 的存放室Sl相连通进行排气；气体供给部70 (参照图5)，向设置于腔室40的存放室Sl的 树脂容器B的内部供给原料气体。 如图1以及图2所示，底座部20由不锈钢等金属块形成，并具有矩形状的底板部 21和从该底板部21的周缘向上方延伸的周壁部25。由底板部21、周壁部25以及绝缘板 30划分出内部空间S2。另外，在该底座部20的底板部21的上表面部以大致等间隔并列排 列的状态设置有4个螺纹孔22。进而，在底座部20的底板部21内部设置有4条气体通路 23,该气体通路23在上游端与气体供给部70相连接，在下游端与螺纹孔22相连接(参照图 4)。另外，底座部20被电气接地。 如图广图3所示，腔室40具有：腔室主体41 ;腔室盖体45,能自由装卸地安装在 该腔室主体41的上部，使腔室主体41的内部处于密封状态。该腔室40还作为等离子体CVD 的外部电极发挥功能，与外部的高频电源(未图示)电连接。腔室主体41由矩形状的金属块 形成，并沿着直线上以并列排列的状态形成有4个圆形的贯通孔42,该贯通孔42具有比树 脂容器B的外形大一些的内径。该贯通孔42与底座部20的内部空间S2相连通。另外，在 该贯通孔42的下部设置有容器保持板43。在容器保持板43上的与各贯通孔42相对应的 位置上形成有直径比树脂容器B的口部稍小的开口部43a。在存放室Sl存放的树脂容器B 由容器保持板43的开口部43a周围的部分保持，故树脂容器B不会从贯通孔42脱落。另 夕卜，在容器保持板43上设置有排气口 44,成为能够对在各存放室Sl存放的树脂容器B内部 以及外部同时进行真空排气的结构。 与腔室主体41合在一起的状态下，腔室盖体45在与腔室主体41的贯通孔42相 对应的位置上同样形成有4个直径与贯通孔42相同的有底孔46。即，在腔室主体41与腔 室盖体45合在一起的状态下，通过腔室主体41的贯通孔42和腔室盖体45的有底孔46,以 在直线上配置4个的状态形成有用于存放树脂容器B的存放室S1。 内部电极50是金属的圆筒或方筒等中空筒状的管构件，在其内周部具有引导原 料气体的气体导通部51。内部电极50经由容器保持板43的各开口部43a导入至各存放 室Sl。另外，内部电极50的下部经由金属制的管道构件52与底座部20的螺纹孔22螺纹 接合。由此，在腔室40的存放室Sl分别插入内部电极50,并配置成位于腔室40的存放室 Sl的中心部。另外，此时，由于底座部20电气接地，所以通过该螺纹接合，结果是内部电极 50变成电气接地。另外，同时，由于在底座部20上，螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种树脂容器用涂敷装置，其特征在于，具有：腔室，存放多个树脂容器，并为外部电极；多个内部电极，被电气接地并且形成为筒状，在内周部形成有引导原料气体的气体导通部，分别插入到在所述腔室存放的多个所述树脂容器的内部；和气体供给部，向所述腔室供给原料气体，所述气体供给部具有：原料气体供给路径，与贮存原料气体的原料的原料贮存部相连通；多个气体分支路径，从该原料气体供给路分支，并分别与多个所述内部电极的气体导通部相连通，经由所述原料气体供给路径、多个所述气体分支路径和多个所述内部电极的气体导通部分别向在所述腔室存放的多个所述树脂容器的内部供给原料气体，在所述原料气体供给路径上设置有调整原料气体的流量的第一流量调整部，在多个所述气体分支路径上分别设置有调整原料气体的流量的第二流量调整部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.05.28 JP 2012-1211301. 一种树脂容器用涂敷装置，其特征在于，具有： 腔室，存放多个树脂容器，并为外部电极； 多个内部电极，被电气接地并且形成为筒状，在内周部形成有引导原料气体的气体导 通部，分别插入到在所述腔室存放的多个所述树脂容器的内部；和 气体供给部，向所述腔室供给原料气体， 所述气体供给部具有：原料气体供给路径，与贮存原料气体的原料的原料贮存部相连 通；多个气体分支路径，从该原料气体供给路分支，并分别与多个所述内部电极的气...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛田清典，
申请(专利权)人：日精ASB机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP