一种紧凑型布局的薄膜沉积设备,主要解决现有半导体薄膜沉积设备体积庞大,占地空间大及洁净间资源浪费等问题。它包括晶圆存储组件,在晶圆存储组件中放置晶圆,作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域,主传片室中设有传片机械手,由机械手进行从晶圆存储组件取送片或从副传片室取送片操作,副传片室中有直线式传输机构对反应室进行晶圆的取送片操作。并可根据不同工艺流程要求挂载其他形式或功能的腔室。采用多边形组件合理布局,结构紧凑,通过对各组件所需最小空间尺寸的计算,整合各模块配合方式,可以有效的减少占地面积,节约洁净间成本。还可以根据不同的工艺制程要求挂载不同形式及功能的模块组件,增强组件的自由性及互换性。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种紧凑型布局的薄膜沉积设备,主要解决现有半导体薄膜沉积设备体积庞大,占地空间大及洁净间资源浪费等问题。它包括晶圆存储组件,在晶圆存储组件中放置晶圆,作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域,主传片室中设有传片机械手,由机械手进行从晶圆存储组件取送片或从副传片室取送片操作,副传片室中有直线式传输机构对反应室进行晶圆的取送片操作。并可根据不同工艺流程要求挂载其他形式或功能的腔室。采用多边形组件合理布局,结构紧凑,通过对各组件所需最小空间尺寸的计算,整合各模块配合方式,可以有效的减少占地面积,节约洁净间成本。还可以根据不同的工艺制程要求挂载不同形式及功能的模块组件,增强组件的自由性及互换性。【专利说明】一种紧凑型布局的薄膜沉积设备
本技术涉及一种薄膜沉积设备,特别是一种可通过多边形组件组合成的紧凑型布局的薄膜沉积设备,属于半导体薄膜沉积应用及制造
。
技术介绍
半导体镀膜设备大都需要设备前端模块用于放置晶圆,并由传片腔进行晶圆的传送及反应腔进行的薄膜沉积。但现有半导体镀膜设备大都由矩形或近似矩形模块组成,按功能排布后所占空间较大,设备有很多空余空间无法充分利用。半导体镀膜设备需要在颗粒度满足要求的洁净环境下使用,占地面积大,则所需洁净间的运行成本增加,设备多余空间的存在,使洁净间环境没有被充分利用,浪费洁净间资源及成本。
技术实现思路
本技术以解决上述问题为目的,主要解决现有半导体薄膜沉积设备体积庞大,占地空间大及洁净间资源浪费等问题。 为实现上述目的,本技术采用下述技术方案:一种紧凑型布局的薄膜沉积设备,包括晶圆存储组件(1),在晶圆存储组件(1)中放置晶圆,作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域,主传片室(2)中设有传片机械手(3),由机械手(3)进行从晶圆存储组件 (1)取送片或从副传片室(4)取送片操作,副传片室(4)中有直线式传输机构对反应室(5)进行晶圆的取送片操作。并可根据不同工艺流程要求挂载其他形式或功能的腔室。本技术采用具有特定功能的多边形组件,紧凑排布形式。 上述晶圆存储组件(1)、主传片室(2)及副传片室(4)可设计成四边形或五边形或六边形。 依据多边形模块紧凑型布局方式制定的特有的折线式流片方式,传片路径为送片路径与取片路径相同,沉积反应完成后晶圆按送片路径原路返回,各腔室及晶圆独立流片,避免了公共路径过多造成颗粒物问题影响过大,即便一个流片路径出现颗粒物问题,另一路径可不受影响独立流片。折线式流片方式有利于缩短传片路径,提高生产效率及节约成本。 本技术的有益效果及特点:采用模块化设计理念,多边形组件合理布局,结构紧凑,通过对各组件所需最小空间尺寸的计算,整合各模块配合方式,可以有效的减少占地面积,节约洁净间成本。还可以根据不同的工艺制程要求挂载不同形式及功能的模块组件,增强组件的自由性及互换性。在布局紧凑的基础上,采取独特的折线式流片方式,提高效率,节约成本。 【专利附图】【附图说明】 图1是本技术各模块布局示意图。 图2是机械手去晶圆存储组件取送片不意图。 图3是机械手去副传片室取送片示意图。 图4是晶圆传输路径不意图。 图中零件标号分别代表: 1、晶圆存储组件;2、主传片室;3、传片机械手;4、副传片室;5、反应室;6、晶圆传输路径。 【具体实施方式】 实施例 如图1所示,一种紧凑型布局的薄膜沉积设备,该设备中晶圆存储组件1、主传片室2、副传片室4及反应室5等组件以其独有的多边形结构紧凑排布。在晶圆存储组件1中放置晶圆,作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域,主传片室2中设有传片机械手3,由机械手3进行从晶圆存储组件1取送片或从副传片室4取送片操作,副传片室4中有直线式传输机构对反应室5进行晶圆的取送片操作。并可根据不同工艺流程要求挂载其他形式或功能的腔室。本专利采用具有特定功能的多边形组件,紧凑排布形式。 上述晶圆存储组件1为四边形;主传片室2为五边形;副传片室4为四边形。 工作时(参照图2-4),将装满待沉积的晶圆安置在晶圆存储组件1上,按照晶圆传输路径6的方向,主传片室2中的传片机械手3将待沉积晶圆从晶圆存储组件1中取出,并将其送往副传片室4,副传片室4中直线式传输机构将晶圆送往反应室5进行薄膜的沉积。当沉积完成后,副传片室4中直线式传输机构将晶圆从反应室5中取出,传片机械手3再将副传片室4中已取出的沉积后的晶圆送往晶圆存储组件1中,如上为一个传片周期。【权利要求】1.一种紧凑型布局的薄膜沉积设备,包括晶圆存储组件(I),其特征在于:在晶圆存储组件(I)中放置晶圆,作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域,主传片室(2)中设有传片机械手(3),由机械手(3)进行从晶圆存储组件(I)取送片或从副传片室(4)取送片操作,副传片室(4)中有直线式传输机构对反应室(5)进行晶圆的取送片操作,上述晶圆存储组件(I)、主传片室(2)及副传片室(4)的形状呈多边形。2.如权利要求1所述的紧凑型布局的薄膜沉积设备,其特征在于:上述晶圆存储组件(I)、主传片室(2)及副传片室(4)设计成四边形或五边形或六边形。【文档编号】H01L21/677GK204144225SQ201420482962【公开日】2015年2月4日 申请日期:2014年8月25日 优先权日:2014年8月25日 【专利技术者】吴凤丽, 姜崴, 陈英男 申请人:沈阳拓荆科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种紧凑型布局的薄膜沉积设备,包括晶圆存储组件(1),其特征在于:在晶圆存储组件(1)中放置晶圆,作为晶圆传入、传出过程中的堆栈及存储区域,主传片室(2)中设有传片机械手(3),由机械手(3)进行从晶圆存储组件(1)取送片或从副传片室(4)取送片操作,副传片室(4)中有直线式传输机构对反应室(5)进行晶圆的取送片操作,上述晶圆存储组件(1)、主传片室(2)及副传片室(4)的形状呈多边形。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴凤丽,姜崴,陈英男,
申请(专利权)人:沈阳拓荆科技有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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