本实用新型专利技术公开了一种重离子微孔膜蚀刻装置，包括依次设置的放卷装置、蚀刻箱、清洗箱、烘干箱和收卷装置；轴支撑装置的顶部固定有多个传动轴，轴支撑装置的底部固定有多个随动轴；传动轴与随动轴一一对应间隔铺设；轴支撑装置上还固定有加热器，加热器均匀间隔铺设在蚀刻箱内的轴支撑装置上；加热器的外表面还套接有绝缘软管。本实用新型专利技术提供的重离子微孔膜蚀刻装置，结构稳定，生产出的蚀刻膜质量更好。
【技术实现步骤摘要】
一种重离子微孔膜蚀刻装置
本技术涉及蚀刻工艺设备
，尤其涉及一种重离子微孔膜蚀刻装置。
技术介绍
目前用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻是不可或缺的技术； 现有技术中存在一种蚀刻装置，应用较为广泛；具体参见附图9a、图9b以及图9c现有技术中的蚀刻装置，其主要由放卷装置301、蚀刻箱302、清洗箱305、烘干箱307、收卷装置308以及上盖303、蚀刻箱传动链轮304、清洗箱传动链轮306、蚀刻箱随动链轮312、清洗箱随动链轮313、烘干箱链轮315等结构构成。 其中蚀刻箱中装有强腐蚀性的蚀刻液，需要加热并维持恒定的温度。加热用的电加热管(或电热板)311、集中布置在箱体外面的底部和侧面，加热管309 (或电热板)贴在箱体外的底部，加热管311(或加热板)贴在箱体外面的两侧，加热管309(或加热板)和加热管311 (或加热板)相互垂直；保温层302A，采用岩棉；平面型的蚀刻箱底部设有通径6分的排污管310 ;控温采用接触器接通或断开电源的方式控制温度；蚀刻膜的行走采用一台三相异步电机316经过减速，通过链条、链轮同时带动蚀刻箱传动轴和清洗箱传动轴的运转(即传动轴上均同轴键连接有一个链轮)，带动蚀刻膜的行走；收卷部分由收卷三相异步电机317经过减速，带动收卷轴，以调整机械阻尼的方式调整收卷张力。 上述蚀刻装置主要具有以下几个方面的技术缺陷: 1.一般地，为了保证蚀刻产品的工艺质量必须要求同一水平位置处的蚀刻液温度差小于0.5°C ;然而使用传统的蚀刻设备常常会造成蚀刻温度不均匀，蚀刻箱内同一水平位置温差达到了 3°C，其严重影响蚀刻产品质量。 2.由于传统电源电压的波动致使收卷部分以及行走部分涉及的三相异步电机不能够稳定的保持转动速度，致使绕在诸多传动辊上的蚀刻膜行进速度不一致(即蚀刻速度不均匀)，通常白天和晚上速度不一样，使蚀刻产品的孔径不一致，超过偏差。 以上致使产品的废品率达到70%，从而使成本提高，质量不稳定，生产不出高质量的蚀刻膜。只能生产孔径4μπι以上的，孔径2μπι以下的重离子蚀刻膜不能生产。 综上所述，如何克服现有技术中的蚀刻装置中的上述技术缺陷，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种重离子微孔膜蚀刻装置，以解决上述问题。 为了达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的: 一种重离子微孔膜蚀刻装置，包括依次设置的放卷装置(101)、蚀刻箱(102)、清洗箱(105)、烘干箱(106)和收卷装置(109)； 所述蚀刻箱(102)包括箱本体、以及设置在箱本体内的、处于蚀刻液体中的轴支撑装置； 所述轴支撑装置的顶部固定有多个传动轴(104A)，所述轴支撑装置的底部固定有多个随动轴(104E);所述传动轴(104A)与所述随动轴(104E)--对应间隔铺设；所述轴支撑装置上还固定有加热器(104D)，所述加热器(104D)均匀间隔铺设在所述蚀刻箱(102)内的所述轴支撑装置的立体空间上；所述加热器(104D)的外表面还套装有绝缘软管； 所述蚀刻箱(102)的侧壁上设置有控制速度的蚀刻伺服电机(110)、蚀刻伺服电机(111);所述清洗箱(105)的侧壁上设有控制张力的清洗伺服电机(112);所述烘干箱(106)的侧壁上设有控制张力的烘干伺服电机(113)； 所述收卷装置(109)上设置有收卷伺服电机(114)； 优选的，在所述蚀刻箱(102)的结构中: 所述轴支撑装置为支架(104);所述支架(104)为桁架结构； 所述加热器(104D)的绝缘软管为聚四氟软管(1041);其中聚四氟软管(1041)端头与聚四氟材料的堵头(1042)焊接密封，所述加热器(104D)套入所述聚四氟软管(1041)内，所述聚四氟软管(1041)的另一端连同所述加热器的电源线引入接线箱(104C)； 所述蚀刻箱(102)的底部呈漏斗形状，且所述蚀刻箱(102)的底部的最深处还设有用于排污的排渣管(115)； 所述蚀刻箱(102)沿箱本体设有保温层(116)，所述保温层(116)采用聚氨酯发泡材料，所述保温层(116)的厚度为100?160mm。 优选的，在所述蚀刻箱(102)的结构中: 每个所述传动轴(104A)上均同轴连接有一个齿轮，且相邻的两个齿轮之间通过介轮(104B)啮合连接。 优选的，在所述蚀刻箱(102)的结构中: 所述蚀刻箱(102)内的所述支架(104)与所述箱本体可拆卸连接。 优选的，在所述清洗箱(105)的结构中: 位于所述清洗箱(105)上方设置有多个传动轴(105A)，每个所述传动轴(105A)上均同轴且键连接有一个链轮，且相邻两个链轮之间通过链条连接转动；位于所述清洗箱 (105)下方设置有多个随动轴(105B);且所述传动轴(105A)与所述随动轴(105B)均一一对应且间隔铺设； 所述清洗箱(105)内竖直铺设有多个隔板(105C)； 所述清洗箱(105)内的所述清洗伺服电机(112)用于驱动其中一个传动轴(105A)使清洗箱所有的传动轴经过链条、链轮实现同步旋转。 优选的，在所述烘干箱(106)的结构中: 位于所述烘干箱(106)左端设置有多个传动轴(106A)，每个所述传动轴(106A)上均同轴且键连接有一个链轮，且相邻两个链轮之间通过链条连接转动；位于所述烘干箱 (106)右端设置有多个随动轴(106B);且所述传动轴(105A)与所述随动轴(106B)均一一对应且间隔铺设； 所述烘干箱(106)内还设有风机(106C)。 优选的，所述纠偏驱动装置为液压缸或气缸，包括: 活塞杆和缸体； 所述缸体在与收卷辊的同轴方向上设置在所述收卷装置上，所述活塞杆的一端与所述缸体固定连接，另一端与收卷辊固定连接。 优选的，在所述蚀刻箱的另一种结构中: 所述轴支撑装置为轴架(205);每个所述轴架(205)均由顶部横梁以及两梯形架构成，且两梯形架的底部分别安装有所述随动轴，位于两个梯形架之间以及顶部横梁下方的空间内设置有传动轴(207)。 优选的，还包括不锈钢管(204A)，所述不锈钢钢管(204A)与箱体做密封焊接，且与所述加热器(204D)套接。 优选的，所述蚀刻箱的箱本体侧壁上沿竖直方向设置有滑道(205C);所述轴架(205)与所述滑道(205C)滑动连接。 与现有技术相比，本技术实施例的优点在于: 本技术提供的一种重离子微孔膜蚀刻装置，提供了新颖独特的加热结构和布局方式，其可以均匀地保障蚀刻箱内的溶液温度差处合理的、精度较高的范围；上述结构将所述加热器均匀、相互平行、间隔铺设在所述蚀刻箱内的所述轴支撑装置上，且轴支撑装置为桁架结构，其上安装多个传动轴和多个随动轴，加热器与传动轴及随动轴平行，使被加热的溶液在任何一个假设的同一个平面、同一高度的水平方向的温度均匀一致，使行走的蚀刻膜在液体中任意高度中的水平方向所受的温度一致，从而使蚀刻膜横向温度均匀，从而使蚀刻膜横向的孔径一致。避免了现有技术中使用加热元件放置在箱体外部，发热表面被保温材料包裹着，热能不能本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种重离子微孔膜蚀刻装置，其特征在于， 包括依次设置的放卷装置(101)、蚀刻箱(102)、清洗箱(105)、烘干箱(106)和收卷装置(109)； 所述蚀刻箱(102)包括箱本体、以及设置在箱本体内的轴支撑装置； 所述轴支撑装置的顶部固定有多个传动轴(104A)，所述轴支撑装置的底部固定有多个随动轴(104E)；所述传动轴(104A)与所述随动轴(104E)一一对应间隔铺设；所述轴支撑装置上还固定有加热器(104D)，所述加热器(104D)平行均匀间隔铺设在所述蚀刻箱(102)内的所述轴支撑装置的立体空间上；所述加热器(104D)的外表面还套装有绝缘软管； 所述蚀刻箱(102)的侧壁上设置有控制速度的蚀刻伺服电机(110)、蚀刻伺服电机(111)； 所述清洗箱(105)的侧壁上设有控制张力的清洗伺服电机(112)； 所述烘干箱(106)的侧壁上设有控制张力的烘干伺服电机(113)； 所述收卷装置(109)上设置有收卷伺服电机(114)。
【技术特征摘要】
1.一种重离子微孔膜蚀刻装置，其特征在于， 包括依次设置的放卷装置(101),蚀刻箱(102),清洗箱(105),烘干箱(106)和收卷装置(109)； 所述蚀刻箱(102)包括箱本体、以及设置在箱本体内的轴支撑装置； 所述轴支撑装置的顶部固定有多个传动轴(104八)，所述轴支撑装置的底部固定有多个随动轴(1042)；所述传动轴(104八)与所述随动轴(1042)--对应间隔铺设；所述轴支撑装置上还固定有加热器(1040),所述加热器(1040)平行均匀间隔铺设在所述蚀刻箱(102)内的所述轴支撑装置的立体空间上；所述加热器(1040)的外表面还套装有绝缘软管； 所述蚀刻箱(102)的侧壁上设置有控制速度的蚀刻伺服电机(110),蚀刻伺服电机(111)； 所述清洗箱(105)的侧壁上设有控制张力的清洗伺服电机(112)； 所述烘干箱(106)的侧壁上设有控制张力的烘干伺服电机(113)； 所述收卷装置(109)上设置有收卷伺服电机(114).2.如权利要求1所述的重离子微孔膜蚀刻装置，其特征在于， 在所述蚀刻箱(102)的结构中: 所述轴支撑装置为支架(104)；所述支架(104)为桁架结构；所述支架(104)全部浸在蚀刻液体中； 所述加热器(1040)的绝缘软管为聚四氟软管(1041)；其中聚四氟软管(1041)端头与聚四氟材料的堵头(1042)焊接密封，所述加热器(1040)套入所述聚四氟软管(1041)内，所述聚四氟软管(1041)的另一端连同所述加热器的电源线引入接线箱(1040 ； 所述蚀刻箱(102)的底部呈漏斗形状，且所述蚀刻箱(102)的底部的最深处还设有用于排污的排渣管(115)； 所述蚀刻箱(102)沿箱本体设有保温层(116),所述保温层(116)采用聚氨酯发泡材料，所述保温层(116)的厚度为100?160臟。3.如权利要求2所述的重离子微孔膜蚀刻装置，其特征在于， 在所述蚀刻箱(102)的结构中: 每个所述传动轴(104八)上均同轴连接有一个齿轮，且相邻的两个齿轮之间通过介轮(1048)啮合连接。4.如权利要求3所述的重离子微孔膜蚀刻装置，其特征在于， 在所述蚀刻箱(102)的结构中: 所述蚀刻箱(102)内的所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李忠海，
申请(专利权)人：李忠海，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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