【技术实现步骤摘要】
一种低温高速脉冲阀装置
本技术属于气压控制
，具体涉及一种低温高速脉冲阀装置。
技术介绍
在很多物理实验仪器中需要将样品的载气以很窄的高压气体脉冲，约50-100US，释放到真空腔体里，但现有的电磁阀由于其机械特性不能达到更高的开关速度，影响实验结果的精确度。另外，有些实验还需要在较低的温度下进行。
技术实现思路
本技术的目的是，为了克服现有技术存在的缺陷，提供一种低温高速脉冲阀 >J-U ρ?α装直。 本技术提供了一种低温高速脉冲阀装置，其特征在于:所述的低温高速脉冲阀装置，包括前端盖1、阀体2、压电陶瓷片3、密封垫片4、压力陶瓷支架5、接线柱6和进气管7 ; 其中:前端盖I位于阀体2前部，可拆卸或固定连接，阀体2上部连有压力陶瓷支架5、一个接线柱6和一个进气管7，压力陶瓷支架5上固定有I个密封垫片4和压电陶瓷片3。 所述的进气管7与阀体2内部连通，阀体2为圆柱状或四棱柱状结构。 所述的阀体2上部连有两个压力陶瓷支架5。 所述的压电陶瓷片3为圆片状或矩形片状结构。 工作原理: 气体从阀外壳的进气口进入阀体，由于压电陶瓷片本身的弹性和气体的压力使密封垫紧压在阀体的出气口上，达到密封的效果。当给压电陶瓷片上加上直流的脉冲电压后，压电陶瓷片会向反方向弯曲，使出口打开，气体快速从出口喷出，同时压电陶瓷片背部气压降低同时也会加速出口的打开。当脉冲电压消失后，压电陶瓷片恢复原来的形状，压住出气口，同时背部气压增大，二者合力使出气口快速关闭。通过进气管向发体内通入液氮，使阀体内保持70Κ的低温环境。 本...
【技术保护点】
一种低温高速脉冲阀装置，其特征在于：所述的低温高速脉冲阀装置，包括前端盖(1)、阀体(2)、压电陶瓷片(3)、密封垫片(4)、压力陶瓷支架(5)、接线柱(6)和进气管(7)；其中：前端盖(1)位于阀体(2)前部，可拆卸或固定连接，阀体(2)上部连有压力陶瓷支架(5)、一个接线柱(6)和一个进气管(7)，压力陶瓷支架(5)上固定有1个密封垫片(4)和压电陶瓷片(3)。
【技术特征摘要】
1.一种低温高速脉冲阀装置，其特征在于:所述的低温高速脉冲阀装置，包括前端盖⑴、阀体⑵、压电陶瓷片⑶、密封垫片(4)、压力陶瓷支架(5)、接线柱(6)和进气管(7)； 其中:前端盖(1)位于阀体(2)前部，可拆卸或固定连接，阀体(2)上部连有压力陶瓷支架(5)、一个接线柱(6)和一个进气管(7)，压力陶瓷支架(5)上固定有1个密封垫片(4)和压电...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐紫超，任文峰，张世宇，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：新型
国别省市：辽宁;21
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