【技术实现步骤摘要】
基于激光热应力成形的芯片引脚整形装置及方法
本专利技术涉及基于激光热应力成形技术的芯片引脚整形装置及方法,属于半导体
技术介绍
在半导体制造领域,双列直插式(DIP)封装IC芯片具有安装和布线方便等优点获得了广泛应用,但由于制造过程和运输包装环节中振动、冲击的影响,芯片引脚弯曲的情形时有发生,集成电路制造商在进行电子元件装前必须对芯片引脚进行检测剔除不合格品,这增加了电子产品的制造成本和生产周期;另一方面随着电子产品更新换代周期越来越快,产生大量废弃的DIP封装IC芯片,这些芯片多数尚可使用,但是拆解过程芯片的引脚发生了弯曲,必须进行相应整形较正后方可使用。中国专利公告号CN202363435,名称为“自动调整芯片引脚的整脚装置”,采用机械冲压塑性成形原理对弯曲芯片引脚进行校正,由于压力塑性成形存在一定量的弹性回弹,因此引脚校正后的一致性精度不易控制。
技术实现思路
为了克服现有技术引脚校正后的一致性精度不易控制的缺陷,本专利技术提供一种基于激光热应力成形技术的芯片引脚整形装置及方法,结合非接触位移测量技术,可实现DIP封装IC芯片引脚0.5微米的高度一致性的非接触无模校正,该方法具有严谨的逻辑性,工程实现简单,精度可靠,无回弹问题,且具备自动化加工的条件,具有较好的经济实用性。为解决上述问题,本专利技术的技术方案是:基于激光热应力成形技术的芯片引脚整形装置,包括激光热应力整形系统和非接触位移测量系统两部分;激光热应力整形系统包括二维运动平台、芯片夹具、激光扫描单元和光纤激光器,芯片夹具用于夹持芯片,且两者设置在二维运动平台上,光纤激光器发出的激光经 ...
【技术保护点】
基于激光热应力成形技术的芯片引脚整形装置,其特征是,包括激光热应力整形系统和非接触位移测量系统两部分;激光热应力整形系统包括二维运动平台(11)、芯片夹具(1)、激光扫描单元(4)和光纤激光器(6),芯片夹具(1)用于夹持芯片(9),且两者设置在二维运动平台(11)上,光纤激光器(6)发出的激光经过光纤(5)传输进入激光扫描单元(4)后做扫描运动,最终形成聚焦激光(3)投射在待整形的芯片引脚(2)上,对芯片引脚(2)做整形加工;非接触位移测量系统包括色差位移传感器探头(8)、传感器控制器(7)和计算机(10),传感器探头(8)在引脚整形加工前后测量芯片引脚(2)的高度变化并通过传感器控制器(7)将测量结果传至计算机(10),计算机(10)将测量结果与目标值比对后反馈给激光热应力整形系统进行下一轮整形加工,直至多次加工后芯片(9)的所有芯片引脚(2)高度差都调整在公差范围以内。
【技术特征摘要】
1.基于激光热应力成形技术的芯片引脚整形装置,其特征是,包括激光热应力整形系统和非接触位移测量系统两部分;激光热应力整形系统包括二维运动平台(11)、芯片夹具(1)、激光扫描单元(4)和光纤激光器(6);芯片夹具(1)用于夹持芯片(9),且两者设置在二维运动平台(11)上;光纤激光器(6)发出的激光经过光纤(5)传输进入激光扫描单元(4)后做扫描运动,最终形成聚焦激光(3)投射在待整形的芯片引脚(2)上,对芯片引脚(2)做整形加工;非接触位移测量系统包括色差位移传感器探头(8)、传感器控制器(7)和计算机(10),传感器探头(8)在引脚整形加工前后测量芯片引脚(2)的高度变化并通过传感器控制器(7)将测量结果传至计算机(10),计算机(10)将测量结果与目标值比对后反馈给激光热应力整形系统进行下一轮整形加工,直至多次加工后芯片(9)的所有芯片引脚(2)高度差都调整在公差范围以内。2.根据权利要求1所述的基于激光热应力成形技术的芯片引脚整形装置,其特征在于,所述芯片(9)上具有多个芯片引...
【专利技术属性】
技术研发人员:王东平,吴志会,倪明阳,李显凌,杨怀江,隋永新,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:吉林;22
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