一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃及制造方法技术

本发明专利技术公开了一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，包括有玻璃基片，在所述的玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有七个膜层，其特征在于：其中第一膜层即最内层为Al2O3层，第二层为ZrO2层，第三层为Al2O3层，第四层为ZrO2层，第五层为Al2O3层，第六层为ZrO2层，最外层为MgF2层。本发明专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种对可见光和近红外光透过率高，保障人眼安全的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃。本发明专利技术还提供一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃的制造方法。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，包括有玻璃基片，在所述的玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有七个膜层，其特征在于：其中第一膜层即最内层为Al2O3层，第二层为ZrO2层，第三层为Al2O3层，第四层为ZrO2层，第五层为Al2O3层，第六层为ZrO2层，最外层为MgF2层。本专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种对可见光和近红外光透过率高，保障人眼安全的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃。本专利技术还提供一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃的制造方法。【专利说明】【
】本专利技术涉及一种镀膜玻璃，更具体地说是一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃。本专利技术还涉及一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃的制造方法。【
技术介绍
】目前，国内军用光电仪器上一般采用波长1.064um激光测距机，因其激光脉冲能量较大，人眼对这一波长敏感故对操作者的眼睛安全有一定影响，易对人眼造成伤害，且1.064um波段的光在大气传输中穿透烟雾、灰尘的能力差，回波率较低，最大测程受天气能见度的影响很大。而1.54um波长的的激光对人眼的损伤阈值比1.064um波长的激光高20万倍，因此，1.54um波长的激光对人眼安全，大气传输性好，透过战场烟雾和灰尘的能力强，目标反差比大，军事保密性好，可用锗光二极管在室温下探测，不需要低温，从而适用于小型化和野外。由于其具有如此多的优势，因此用1.54um波长的激光测距机代替1.064um波长激光测距机是必然的发展趋势。为了作战效能的需要，现代军用光电系统上，都装备了夜视仪即热像仪、光电瞄准跟踪仪、激光测机等单元。在光谱分布上，它们包括0.43-0.911!11及1.5411111波段。特别对机载、车载光电仪器。研究可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃就十分必要。【
技术实现思路
】本专利技术目的是克服了现有技术的不足，提供一种对可见光和近红外光透过率高，保障人眼安全的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃。本专利技术还提供一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃的制造方法。本专利技术是通过以下技术方案实现的:一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，包括有玻璃基片I，在所述的玻璃基片I的复合面上由内到外依次相邻地复合有七个膜层，其特征在于:其中第一膜层即最内层为Al2O3层21，弟_.层为ZrO2层22，兎二层为Al2O3层23，弟四层为ZrO2层24，弟五层为Al2O3层25，第六层为ZrO2层26，最外层为MgF2层27。如上所述的金属反射镜，其特征在于所述第一膜层的Al2O3层21的厚度为140?160nmo如上所述的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，其特征在于所述第二膜层的ZrO2层22的厚度为280?320nm。如上所述的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，其特征在于所述第三膜层的Al2O3层23的厚度为140?160nm。如上所述的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，其特征在于所述第四层ZrO2层24的厚度为280?320nm。 如上所述的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，其特征在于所述第五层Al2O3层25的厚度为140?160nm。如上所述的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，其特征在于所述第六层ZrO2层26的厚度为280?320nm。如上所述的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，其特征在于所述最外层MgF2层27的厚度为120?140nm。一种制造上述的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃的方法，其特征在于包括如下步骤:(I)磁控溅射Al2O3层，用直流电源溅射铝靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:2 ；(2)磁控溅射ZrO2层，用直流电源溅射镉靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:3 ;(3)磁控溅射Al2O3层，用直流电源溅射铝靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:2 ；(4)磁控溅射ZrO2层，用直流电源溅射镉靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:3 ;(5)磁控溅射Al2O3层，用直流电源溅射铝靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:2 ；(6)磁控溅射ZrO2层，用直流电源溅射镉靶，用氧气做反应气体，氩氧比为1:3 ;(7)镀制MgF2层，采用离子蒸发法镀制MgF2。如上所述的方法，其特征在于步骤(7)包括如下步骤:(71)打开真空室阀门，对真空室放大气，做镀膜前的准备工作，将前步骤(6)工序镀好膜的工件放进镀膜机，添加膜料，换监控片，换离子源灯丝，清洁镀膜室；(72)关真空室门，打开基片架公转，开机械泵，开低阀阀门，对真空室抽低真空，当真空室的压力达到5Pa时，关低阀阀门，开预阀阀门，对真空室抽高真空，同时打开烘烤；(73)当真空室的气压达到预期压力时，开始熔料、除气；(74)选择手动模式进行预融料，熔料前，打开电子枪高压，然后开辐射，用手持盒上的按键调整电子枪束流，由于不同的膜料熔点不同，束流也不同，选择合适的电子枪蒸发功率，使膜料充分除气，蒸镀时真空室的压力才能保持稳定；(75)镀膜前打开离子源电源轰击5分钟；(76)按照设计的膜系，采用晶控的方法控制膜层厚度140nm ；(77)蒸镀过程结束后关闭电子枪和高压阀，等到基片温度自然降温至60度左右时放气，取出工件。与现有技术相比，本专利技术有如下优点:本专利技术保证0.43?0.9um及1.54um波段都是高增透折射率，对可见光和近红外光透过率高应用范围广，保障人眼安全。本专利技术从膜层上保证人眼安全激光测距、可见光观瞄、微光夜视或电视跟踪等系统共用同一窗口即物镜的全部，而不是部分共用。将镀制的膜层光谱范围从0.43-1.1um扩展到保证0.43-0.9um及1.54um波段都是高增透。可以使得集可见光、微光夜视、电视跟踪及1.54um的人眼安全激光测距功能于一体，就可以应用上述波段共窗口的集成光电仪器。【【专利附图】【附图说明】】图1是本专利技术结构示意图。图2是本专利技术膜层光谱曲线图。【【具体实施方式】】一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，包括有玻璃基片I，在所述的玻璃基片I的复合面上由内到外依次相邻地复合有七个膜层，其中第一膜层即最内层为Al2O3层21，弟_■层为ZrO2层22，兎二层为Al2O3层23，弟四层为ZrO2层24，弟五层为Al2O3层25，弟六层为ZrO2层26，最外层为MgF2层27。所述第一膜层的层21A1203，即氧化铝层，提高膜层的附着力，的厚度为140?160nm,优选 150nm。所述第二膜层的ZrO2层22，ZrO2即二氧化锆，二氧化锆镀膜可以有效降低晶体硅片表面的反射率，提高透过率。所述第二膜层的ZrO2层22的厚度为280?320nm，优选300nm。所述第三膜层的Al2O3层23的厚度为140?160nm，优选150nm。所述第四层ZrO2层24的厚度为280?320nm，优选300nm。所述第五层Al2O3层25的厚度为140?160nm,优选150nm。所述第六层ZrO2层26的厚度为280?320nm，优选300nm。所述最外层MgF2层27，MgF2即氟化镁层，增加玻璃的透过率，降低反射率。所述最外层MgF2层27的厚度为120?140nm，优选130nm。一种制造上述的可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃的方法，包括如下步骤:(I)磁控溅射Al2O3层，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可见光和近红外光双波段减反射膜玻璃，包括有玻璃基片(1)，在所述的玻璃基片(1)的复合面上由内到外依次相邻地复合有七个膜层，其特征在于：其中第一膜层即最内层为Al2O3层(21)，第二层为ZrO2层(22)，第三层为Al2O3层(23)，第四层为ZrO2层(24)，第五层为Al2O3层(25)，第六层为ZrO2层(26)，最外层为MgF2层(27)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永华，王玲，秦文锋，
申请(专利权)人：中山市创科科研技术服务有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44