光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法制造方法及图纸

一种光取向用偏振光照射装置以及光取向用偏振光照射方法，能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向，在方向精度方面，能够进行高品质的光取向处理。在照射面(R)上配置工件(W)，在通过经由偏振元件(121)向照射面(R)进行光照射而对工件(W)照射偏振光时，在照射面(R)配置偏振方向检测器(40)并检测偏振光的偏振轴的方向。偏振方向检测器(40)所具备的检偏振器(42)由检偏振器校准器(6)预先被定位，旋转原点相对于装置基准方向成为规定的角度。基于由偏振方向检测器(40)检测到的偏振方向，求出偏振轴的偏离量，通过偏振元件调整机构(7)对偏振元件(121)的姿势进行调整，以消除偏离量。

【技术实现步骤摘要】

本申请的专利技术涉及在进行光取向时进行的偏振光的照射技术。
技术介绍
近年来，在得到液晶显示元件用的取向膜、视场角补偿膜用的取向层时，逐渐采用通过光照射进行取向的被称为光取向的技术。以下，将通过光照射产生了取向的膜、层统称为光取向膜。另外，“取向”或“取向处理”是指针对对象物的某些性质赋予方向性。 光取向通过对光取向膜用的膜(以下称作膜材)照射偏振光来进行。膜材例如是聚酰亚胺那样的树脂制，向期望的方向偏振的偏振光被照射到膜材。通过照射规定波长的偏振光，膜材的分子结构(例如侧链)成为向偏振光的偏振轴的方向对齐的状态，能够得到光取向膜。 作为这样的照射光取向用的偏振光的偏振光照射装置，例如有专利文献1、专利文献2中公开的装置。这些装置具备长度相当于照射面的宽度或其以上的宽度的棒状光源、以及使来自该光源的光偏振的线栅偏振兀件，对在相对于光源的长度方向正交的方向上输送的膜材照射偏振光。由于在光取向中多数情况下需要照射从可视到紫外域的波长的偏振光，所以作为棒状光源，多数情况下使用高压水银灯那样的紫外线光源。 专利文献1:日本特许第4968165号公报 专利文献2:日本特许第4506412号公报 专利文献3:日本特开2007 - 127567公报 取向处理的品质的重要指标当然是取向的方向精度。若取向的方向精度差，则膜材的特定的性质不会向着期望的方向，不能得到预定的取向处理的效果。所谓取向的方向精度的恶化，有在某面内整体上取向成为与期望的方向不同的方向的情况、以及在某面内取向的方向散乱的情况。 例如，在得到液晶显示元件用的取向膜时的光取向处理中，液晶的各分子在取向的方向上排列，因此若取向的方向精度的恶化在整体上产生，则画面整体的视觉辨认性恶化。此外，若精度恶化作为取向的散乱而产生，则发生画面的局部的闪变、显示不稳。 这样的取向的方向精度在制品的高性能化、高功能化的背景下被非常严格地要求。例如，在多用于智能手机等移动设备的触摸面板(触摸屏幕显示器)中，细微的取向的方向精度的恶化会导致画面的视觉辨认性下降或显示不稳，因此要求进一步提高光取向的方向精度。 光取向的方向精度由对膜材照射的偏振光的偏振轴的方向精度决定。为了满足所要求的方向精度，必须将相对于所照射的偏振光的偏振轴的期望的方向的偏离抑制到非常小的规定的范围内。因此，光取向用偏振光照射装置需要在像这样轴偏离被抑制得较小的状态下对膜材照射偏振光，为此，需要对在照射面中偏振光的偏振轴是否高精度地朝向期望的方向进行监视的手段。 在照射面中的偏振光的偏振轴的监视中，偏振光的偏振轴的方向的检测是不可缺少的，但关于高精度地进行偏振轴的方向的检测这一点，目前没有能够满足要求的实用的提案。例如专利文献3中，提出了不使检偏振器(检光器、日语:検光子)旋转就能检测偏振轴的朝向的构造，但关于进一步提高偏振轴的方向的检测精度这一点，没有太多的教示。专利文献3中，由于不使检偏振器旋转，因此不受检偏振器的旋转停止精度的影响，但若检偏振器的旋转原点的姿势的精度差，则会导致测定精度的恶化。
技术实现思路
本申请的专利技术是考虑到上述的点而作出的，其解决课题是在光取向用的偏振光的照射技术中，使得能够高精度地检测所照射的偏振光的偏振轴的方向，在方向精度方面能够进行高品质的光取向处理。 为了解决上述课题，本申请的技术方案I记载的专利技术是一种光取向用偏振光照射装置，具备经由偏振元件对照射面进行光照射的光照射器，该光取向用偏振光照射装置具有如下结构:具备偏振方向检测系统，该偏振方向检测系统对照射到照射面的偏振光的偏振轴的方向进行检测；偏振方向检测系统能够检测所述偏振轴的方向，作为相对于在装置中设定的基准方向即装置基准方向的角度；偏振方向检测系统具备偏振方向检测器，该偏振方向检测器能够配置在对照射到照射面的偏振光的偏振轴的方向进行检测的位置上；偏振方向检测器具备相对于照射面平行的姿势的检偏振器、经由检偏振器接受从光照射器射出的光的受光器、以及使检偏振器围绕相对于照射面垂直的旋转轴旋转的旋转驱动源，并且基于由受光器接受的光的强度随着检偏振器的旋转而变化的状态，检测偏振方向；在检偏振器设有检偏振器校准器(aligner);检偏振器校准器使为了检测偏振方向而使检偏振器旋转时的旋转原点上的检偏振器的姿势成为相对于装置基准方向朝向规定的方向的姿势。 此外，为了解决上述课题，技术方案2记载的专利技术是在所述技术方案I的结构中具有如下结构:所述检偏振器上设有定位标志(校准标记)；所述检偏振器校准器具备检测定位标志的检偏振器传感器、以及根据来自检偏振器传感器的输出求出检偏振器的姿势相对于所述规定的方向的偏离量的运算处理部，并由所述旋转驱动源控制为消除所求出的偏离量。 此外，为了解决上述课题，技术方案3记载的专利技术在所述技术方案2的结构中，具有如下机构:设有对所述偏振元件的配置角度进行调整的偏振元件调整机构；偏振元件调整机构能够将所述偏振元件的配置角度调整为消除由偏振方向检测系统检测到的偏振光的方向与设定取向方向的偏离量，设定取向方向为为了光取向而应使偏振光的偏振轴指向的方向。 此外，为了解决上述课题，技术方案4记载的专利技术在所述技术方案3的结构中，具有如下结构:具备向所述照射面输送工件的工件输送系统以及工件校准器；所述设定取向方向以工件的特定的部位所延伸的方向为基准被设定；工件校准器在由工件输送系统将工件输送到了所述照射面时，对工件的姿势进行调整，以使所述工件的特定的部位所延伸的方向相对于所述装置基准方向成为规定的方向。 此外，为了解决上述课题，技术方案5记载的专利技术在所述技术方案4的结构中，具有如下结构:作为所述工件校准器，设有第一工件校准器及第二工件校准器这两个工件校准器；第一工件校准器对第一工件进行定位(校准)，第二工件校准器对第二工件进行定位(校准)；第一工件上形成有第一定位标志及第二定位标志这两个定位标志，第二工件的与第一工件相同的位置上形成有第一定位标志及第二定位标志这两个定位标志；第一工件校准器检测第一工件的两个定位标志的位置，计算连结两个定位标志的线所延伸的方向与所述装置基准方向所成的角，并对第一工件的姿势进行调整，以使该角成为规定的角度，从而进行定位(校准)；第二工件校准器具备第一传感器及第二传感器这两个传感器、运算处理部、存储部、台(stage)姿势调整机构以及移送机构；第一传感器及第二传感器这两个传感器以能够同时拍摄各工件中的两个定位标志的位置关系被配置；移送机构在由第一工件校准器完成第一工件的定位之后，移送该定位完成的第一工件或所述第一传感器及第二传感器这两个传感器，在该定位完成的姿势的状态下，使得成为能够由第一传感器拍摄第一工件的第一定位标志的状态，成为能够由第二传感器拍摄第二定位标志的状态；运算处理部对由第一传感器拍摄的第一工件的第一定位标志的图像数据进行处理，并将该第一定位标志的位置信息存储在存储部中，并且对由第一传感器拍摄的第一工件的第二定位标志的图像数据进行处理，并将该第二定位标志的位置信息存储在存储部中；所述工件输送系统向第一定位标志被第一传感器拍摄、第二定位标志被第二传感器拍摄的位置输送第二工件；台姿势调整机构是按照从存储部读出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光取向用偏振光照射装置，具备经由偏振元件进行光照射的光照射器，该偏振光照射装置的特征在于，具备偏振方向检测系统，该偏振方向检测系统对照射到照射面的偏振光的偏振轴的方向进行检测；偏振方向检测系统能够将所述偏振轴的方向作为相对于在装置中设定的基准方向即装置基准方向的角度来检测；偏振方向检测系统具备偏振方向检测器，该偏振方向检测器能够配置在对照射到照射面的偏振光的偏振轴的方向进行检测的位置上；偏振方向检测器具备相对于照射面平行的姿势的检偏振器、经由检偏振器接受从光照射器射出的光的受光器、以及使检偏振器围绕相对于照射面垂直的旋转轴旋转的旋转驱动源，并且基于由受光器接受的光的强度随着检偏振器的旋转而变化的状态，检测偏振方向；检偏振器设有检偏振器校准器；检偏振器校准器使旋转原点上的检偏振器的姿势成为相对于装置基准方向朝向规定的方向的姿势，该旋转原点是为了检测偏振方向而使检偏振器旋转时的旋转原点。

【技术特征摘要】
2013.07.17 JP 2013-1485971.一种光取向用偏振光照射装置，具备经由偏振元件进行光照射的光照射器，该偏振光照射装置的特征在于， 具备偏振方向检测系统，该偏振方向检测系统对照射到照射面的偏振光的偏振轴的方向进行检测； 偏振方向检测系统能够将所述偏振轴的方向作为相对于在装置中设定的基准方向即装置基准方向的角度来检测； 偏振方向检测系统具备偏振方向检测器，该偏振方向检测器能够配置在对照射到照射面的偏振光的偏振轴的方向进行检测的位置上； 偏振方向检测器具备相对于照射面平行的姿势的检偏振器、经由检偏振器接受从光照射器射出的光的受光器、以及使检偏振器围绕相对于照射面垂直的旋转轴旋转的旋转驱动源，并且基于由受光器接受的光的强度随着检偏振器的旋转而变化的状态，检测偏振方向； 检偏振器设有检偏振器校准器； 检偏振器校准器使旋转原点上的检偏振器的姿势成为相对于装置基准方向朝向规定的方向的姿势，该旋转原点是为了检测偏振方向而使检偏振器旋转时的旋转原点。2.如权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于， 所述检偏振器上设有定位标志； 所述检偏振器校准器具备检测定位标志的检偏振器传感器、以及根据来自检偏振器传感器的输出求出检偏振器的姿势相对于所述规定的方向的偏离量的运算处理部，并对所述旋转驱动源进行控制，以消除所求出的偏离量。3.如权利要求2所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于， 设有对所述偏振元件的配置角度进行调整的偏振元件调整机构； 偏振元件调整机构能够对所述偏振元件的配置角度进行调整，以消除由偏振方向检测系统检测到的偏振光的方向与设定取向方向的偏离量，设定取向方向为为了光取向而应使偏振光的偏振轴指向的方向。4.如权利要求3述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于， 具备向所述照射面输送工件的工件输送系统以及工件校准器； 所述设定取向方向以工件的特定的部位所延伸的方向为基准被设定； 工件校准器在由工件输送系统将工件输送到了所述照射面时，对工件的姿势进行调整，以使所述工件的特定的部位所延伸的方向相对于所述装置基准方向成为规定的方向。5.如权利要求4所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于， 设有第一工件校准器及第二工件校准器这两个工件校准器作为所述工件校准器； 第一工件校准器对第一工件进行定位，第二工件校准器对第二工件进行定位； 第一工件上形成有第一定位标志及第二定位标志这两个定位标志，并且第二工件的与第一工件相同的位置上形成有第一定位标志及第二定位标志这两个定位标志； 第一工件校准器检测第一工件的两个定位标志的位置，计算连结两个定位标志的线所延伸的方向与所述装置基准方向所成的角，并对第一工件的姿势进行调整，以使该角成为规定的角度，从而进行定位； 第二工件校准器具备第一传感器及第二传感器这两个传感器、运算处理部、存储部、台姿势调整机构以及移送机构； 第一传感器及第二传感器这两个传感器以能够同时拍摄各工件中的两个定位标志的位置关系被配置； 移送机构在由第一工件校准器完成了第一工件的定位之后，移送该定位完成了的第一工件或所述第一传感器及第二传感器这两个传感器，在该定位完成了的姿势的状态下，使得成为能够由第一传感器拍摄第一工件的第一定位标志的状态，成为能够由第二传感器拍摄第二定位标志的状态；运算处理部对由第一传感器拍摄到的第一工件的第一定位标志的图像数据进行处理，并将该第一定位标志的位置信息存储在存储部中，并且对由第一传感器拍摄到的第一工件的第二定位标志的图像数据进行处理，并将该第二定位标志的位置信息存储在存储部中；所述工件输送系统向第一定位标志被第一传感器拍摄、第二定位标志被第二传感器拍摄的位置输送第二工件； 台姿势调整机构是按照从存储部读出的位置信息，使第二工件的第一定位标志位于第一工件的第一定位标志所在过的位置，使第二工件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村淳治，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP