超音波清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是一种超音波清洁装置，包括一驱动轴，其受外力驱动旋转；一刷体固接该驱动轴，而受该驱动轴驱使转动；以及一超音波产生器，连接该驱动轴，该超音波产生器产生超音波并传递超音波至该驱动轴，再由该驱动轴将超音波传递至该刷体。通过，本实用新型专利技术中驱动轴驱动刷体进行板材清洁，加上超音波产生器产生超音波传递至刷体，可以增强刷体对于板材的清洁效果。

【技术实现步骤摘要】
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本技术与清洁装置有关，特别是一种超音波清洁装置，其适用于板材的清洁作业。
技术介绍
对于板材而言，如晶圆或玻璃基板，一般的清洗过程包含有干式及湿式。对于干式清洗而言，透过紫外光(uv light)照射板材使得附着于板材的有机物质可以与氧反应产生一氧化碳、二氧化碳或水汽飘散置空气中而去除。而对于湿式清洗，主要利用刷子搭配纯水或洗剂，除去板材上的微粒污染、有机物污染和离子污染等问题。其原理是利用刷子进行板材清洗，可让刷毛将表面附着的微粒刷除。然而，无论是毛刷如何配置，对于板材仍存污染残存的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的是改善上述板材污染残存的问题，而提供一种超音波清洁装置。 本技术提供一种超音波清洁装置，包括一驱动轴，其受外力驱动旋转；一刷体固接该驱动轴，而受该驱动轴驱使转动；以及一超音波产生器，连接该驱动轴，该超音波产生器产生超音波并传递超音波至该驱动轴，再由该驱动轴将超音波传递至该刷体。 其中，该刷体套设在该驱动轴上，并沿着该驱动轴设置。 其中，该刷体的外表面分布多个孔洞。 其中，该刷体固接该驱动轴一端。 本技术的有益效果:通过本技术中驱动轴驱动刷体进行板材清洁，加上超音波产生器产生超音波传递至刷体，可以增强刷体对于板材的清洁效果。 【附图说明】 图1是本技术第一实施例的立体示意图。 图2是本技术第一实施例的示意图。 图3是本技术第二实施例的示意图。 图4是本技术第三实施例的示意图。 【符号说明】 11驱动轴 12刷体 121孔洞13超音波产生器 【具体实施方式】 请参阅图1、图2，本技术第一实施例所提供的超音波清洁装置，包括:一驱动轴11、一刷体12和一超音波产生器13。 该驱动轴11，呈圆柱状。该驱动轴11，其受外力驱动旋转，如马达驱动。 该刷体12固接该驱动轴11，而受该驱动轴11驱使转动。须说明的是，在本实施例中，该刷体12套设在该驱动轴11上，并沿着该驱动轴11设置。 该超音波产生器13，连接该驱动轴11，该超音波产生器13产生超音波并传递超音波至该驱动轴11，再由该驱动轴11将超音波传递至该刷体12。 除此之外，请参阅图3，本技术第二实施例所提供的超音波清洁装置，与第一实施例不同的是，该刷体12由挠性材料制作而成，如塑料、橡胶、海绵或布料等，而该刷体12的外表面分布多个孔洞121。在使用时，被该刷体12所移除的板材表面杂质可进入各孔洞121而增强板材清洁的效果。 再来，请参阅图4，本技术第三实施例所提供的超音波清洁装置，其中该刷体12,固接该驱动轴11 一端，而受该驱动轴11驱动旋转。 于进行清洗板材作业时，本技术提供的超音波清洁装置，其驱动轴11驱动该刷体12旋转，该刷体12接触板材后进行清洗作业。该超音波产生器13产生超音波，该超音波产生器13产生超音波并传递超音波至该驱动轴11，再由该驱动轴11将超音波传递至该刷体12。由此，本技术中驱动轴11驱动刷体12进行板材清洁，加上超音波产生器产生超音波传递至刷体12，可以增强刷体12对于板材的清洁效果，以减少板材污染残存的问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超音波清洁装置，其特征在于，包括：一驱动轴，其受外力驱动旋转；一刷体固接该驱动轴，而受该驱动轴驱使转动；以及一超音波产生器，连接该驱动轴，该超音波产生器产生超音波并传递超音波至该驱动轴，再由该驱动轴将超音波传递至该刷体。

【技术特征摘要】
1.一种超音波清洁装置，其特征在于，包括: 一驱动轴，其受外力驱动旋转； 一刷体固接该驱动轴，而受该驱动轴驱使转动；以及 一超音波产生器，连接该驱动轴，该超音波产生器产生超音波并传递超音波至该驱动轴，再由该驱动轴将超音波传递至该刷体。2.如权利要求1所述的超音波清洁装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：林永强，
申请(专利权)人：朗曦科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71