一种蒸镀装置以及蒸镀方法制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供一种蒸镀装置以及蒸镀方法，涉及显示技术领域，可控制有机蒸汽的流向，从而提高有机材料的利用率，同时还能防止有机材料四处扩散引起的腔室污染，从而减少挡板的清洗次数，节约成本。所述蒸镀装置包括蒸发源、加电系统和电磁控制系统；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。用于蒸镀装置的制造。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种蒸镀装置以及蒸镀方法。
技术介绍
有机电致发光器件(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)具有响应速度快、色彩绚丽、温度特性好、宽视角、低功耗、适用于挠曲性面板等诸多优点，已经成为新一代平面显示装置的重点发展方向之一，受到了日益广泛的关注。所述OLED显示器件的基本结构主要包括阳极和阴极，以及二者之间的有机材料功能层；其中，所述有机材料功能层为所述OLED显示器件的核心部分，其制作方法包括喷墨打印、旋涂和蒸镀等。受限于现有的设备和工艺，通过喷墨打印法或者旋涂法制作所述有机材料功能层无法应用于量产，目前能够实现量产的方法仅有蒸镀法。现有的蒸镀装置的结构如图1所示，主要包括蒸发源10和喷射系统20；其中，所述蒸发源10用于提供有机蒸汽，所述喷射系统20用于将所述有机蒸汽喷射到基板70表面以形成有机膜层。但是，采用蒸镀法制作所述有机材料功能层时，所述蒸发源10产生的有机蒸汽弥散整个腔体，这样便会导致材料的利用率较低；与此同时，所述有机蒸汽的自由扩散还会造成对腔体的严重污染，需要频繁的清洗挡板，由此便会导致成本的增加。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种蒸镀装置以及蒸镀方法，可控制有机蒸汽的流向，从而提高有机材料的利用率，同时还能防止有机材料四处扩散引起的腔室污染，从而减少挡板的清洗次数，节约成本。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：一方面，提供一种蒸镀装置，包括蒸发源、加电系统和电磁控制系统；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。优选的，所述电磁控制系统包括靠近所述加电系统一侧的电场区域和远离所述加电系统一侧的磁场区域；在所述电场区域存在电场方向为第一方向的电场，以使所述有机蒸汽进行加速；在所述磁场区域存在磁场方向为第二方向的磁场，以使所述有机蒸汽向第三方向偏转；其中，所述第一方向为所述蒸发源的蒸发方向或所述蒸发方向的反方向，所述第二方向与所述第一方向相互垂直，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直。进一步优选的，所述电磁控制系统还包括对应于所述磁场区域的筛选孔；其中，进入所述磁场区域的所述有机蒸汽向所述筛选孔所在的一侧偏转。可选的，所述蒸镀装置还包括位于所述筛选孔两侧的回收系统。可选的，所述蒸镀装置还包括用于驱动和控制所述基板与所述筛选孔之间的相对运动的驱动系统。可选的，所述蒸发源为线性蒸发源；其中，所述线性蒸发源包括蒸发容器和线性加热源。进一步可选的，所述蒸镀装置还包括位于所述线性蒸发源的出口位置处或者位于所述筛选孔的出口位置处的晶振器。可选的，所述蒸镀装置还包括位于所述蒸发源和所述加电系统之间的喷射系统；其中，所述喷射系统包括多个相同的喷嘴。另一方面，提供一种基于上述的蒸镀装置的蒸镀方法，所述方法包括：加热蒸发源以产生有机蒸汽；通过加电系统使所述有机蒸汽带电；通过电磁控制系统控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，以使进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。优选的，所述通过电磁控制系统控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，以使进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面具体包括：带电的所述有机蒸汽经过电场方向为第一方向的电场进行加速；加速后的所述有机蒸汽经过磁场方向为第二方向的磁场向第三方向发生偏转；偏转后到达筛选孔的所述有机蒸汽从所述筛选孔飞出，并沉积至基板表面；其中，所述第一方向为所述蒸发源的蒸发方向或所述蒸发方向的反方向，所述第二方向与所述第一方向相互垂直，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直。本专利技术的实施例提供一种蒸镀装置以及蒸镀方法，所述蒸镀装置包括蒸发源、加电系统和电磁控制系统；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。基于此，通过在所述蒸镀装置中设置所述加电系统和所述电磁控制系统，可以实现对所述蒸发源产生的有机蒸汽的速率和流向的控制，从而使得具有特定能量的所述有机蒸汽沉积在所述基板表面，形成均匀的膜层。在此基础上，由于所述有机蒸汽的速率和流向具有一定的可控性，这样便可以提高所述有机材料的利用率，并能有效的防止所述有机蒸汽中的有机材料的四处扩散引起的腔室污染，从而减少挡板的清洗次数，节约成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中的蒸镀装置的原理图；图2为本专利技术的实施例提供的一种蒸镀装置的原理图；图3为本专利技术的实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；图4为本专利技术的实施例提供的一种蒸镀方法流程图。附图标记：10-蒸发源；20-喷射系统；30-加电系统；40-电磁控制系统；401-电场区域；402-磁场区域；403-筛选孔；50-回收系统；60-晶振器；70-基板。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的实施例提供一种蒸镀装置，如图2所示，包括蒸发源10、加电系统30和电磁控制系统40；所述蒸发源10用于提供有机蒸汽；所述加电系统30用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统40用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板70表面。需要说明的是，第一，所述蒸发源10产生的有机蒸汽具有特定的速率和方向；其中，所述有机蒸汽的蒸发方向指向所述加电系统30，所述有机蒸汽的蒸发速率可以通过所述蒸发源10内部的部件进行调节，以能够获得均匀一致的速率为佳。...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸发源、加电系统和电磁控制系统；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表面。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸发源、加电系统和电磁控
制系统；
所述蒸发源用于提供有机蒸汽；
所述加电系统用于使所述有机蒸汽带电；
所述电磁控制系统用于控制带电的所述有机蒸汽的速率和流向，
并选择进入预定区域并向预定方向运动的所述有机蒸汽沉积至基板表
面。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电磁控制
系统包括靠近所述加电系统一侧的电场区域和远离所述加电系统一侧
的磁场区域；
在所述电场区域存在电场方向为第一方向的电场，以使所述有机
蒸汽进行加速；
在所述磁场区域存在磁场方向为第二方向的磁场，以使所述有机
蒸汽向第三方向偏转；
其中，所述第一方向为所述蒸发源的蒸发方向或所述蒸发方向的
反方向，所述第二方向与所述第一方向相互垂直，所述第三方向与所
述第一方向和所述第二方向均垂直。
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电磁控制
系统还包括对应于所述磁场区域的筛选孔；
其中，进入所述磁场区域的所述有机蒸汽向所述筛选孔所在的一
侧偏转。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置
还包括位于所述筛选孔两侧的回收系统。
5.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置
还包括用于驱动和控制所述基板与所述筛选孔之间的相对运动的驱动
系统。
6.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发源为...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵德江，藤野诚治，殷杰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11