【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片切割废砂浆在线回收工艺，特别涉及了一种采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺。
技术介绍
目前，为了保证硅片切割质量，切割工艺中使用的砂浆基本都是极少的重复使用，切割使用后的废弃砂浆直接作为工业废弃物堆积处理，或者委托专业处理厂对使用过的砂浆进行处理，无论以上那种方式，都会造成极大浪费，产生较大成本，因此，实现砂浆的回收再利用是硅片生产企业降低生产成本的有效途径，需要合理的在线回收工艺。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了降低成本，提高废砂浆回收效率，特提供了一种采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺。本专利技术提供了一种采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，其特征在于：所述的采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，具体为将切割使用后的废弃砂浆经分离机后，流体部分通过管道输送给压滤机，压滤机的膜采用纤维膜，孔径小于5微米，流体压强小于8兆帕，助滤剂添加量的质量比为4～30%。所述的助滤剂为珍珠岩。所述的助滤剂为珍珠岩和活性炭组合，二者质量比例为1～2:1。所述的助滤剂为珍珠岩、活性炭和硅藻土，三者质量比例为1～2：1:1～2。所述的采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，助滤剂添加量的质量比小于4%时，堵塞严重，过滤无法进行；助滤剂添加量的质量比大于30%时，助滤剂成本过高，回收发砂浆经的济性不合理。在流量为1250公斤/平方米，...
【技术保护点】
一种采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，其特征在于：所述的采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，具体为将切割使用后的废弃砂浆经分离机后，流体部分通过管道输送给压滤机，压滤机的膜采用纤维膜，孔径小于5微米，流体压强小于8兆帕，助滤剂添加量的质量比为4～30%。
【技术特征摘要】
1.一种采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，其特征
在于：所述的采用膜过滤方式在线回收硅片切割废砂浆工艺，具体为
将切割使用后的废弃砂浆经分离机后，流体部分通过管道输送给压滤
机，压滤机的膜采用纤维膜，孔径小于5微米，流体压强小于8兆帕，
助滤剂添加量的质量比为4～30%。
2.按照权利要求1所述的采用膜过滤方式在线回收硅片切割废
砂浆工...
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