一种由常断向常通状态转换的固态电子开关制造技术

本实用新型专利技术公开了一种由常断向常通状态转换的固态电子开关。本实用新型专利技术的固态电子开关包括：衬底、预连通桥、抗反射涂层、绝缘层、金属互联、控制桥、钝化层、一对预连通电极焊盘和一对控制电极焊盘；控制桥通过一对控制电极焊盘接入控制电路，从而接收来自控制电路的控制信号，预连通桥通过一对预连通电极焊盘接入被控电路。本实用新型专利技术的固态电子开关仅在状态转换的瞬间消耗电能，而在保持断开和接通的状态时均不需要消耗电能，具有双稳态特性；可以双向导通，不含任何可动部件，因此可以工作在恶劣的环境中；具备优秀的抗静电和电磁干扰的特性；基于集成电路半导体工艺，具有极好的与集成电路半导体工艺兼容性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种由常断向常通状态转换的固态电子开关，其特征在于，所述固态电子开关包括衬底、预连通桥、抗反射涂层、绝缘层、金属互联、控制桥、钝化层、一对预连通电极焊盘和一对控制电极焊盘；其中，预连通桥形成在衬底上，包括一对预连通电极和预连通桥区，预连通桥区位于一对预连通电极之间，包括不相接触的两部分，分别连接一个预连通电极；导电的抗反射涂层覆盖在预连通桥上；绝缘层覆盖在抗反射涂层上；绝缘层上与预连通桥的一对预连通电极正对的位置设置有多个通孔，形成通孔阵列；控制桥形成在绝缘层上，包括一对控制电极，以及连接二者的控制桥区；一对控制电极与一对预连通电极的位置不重叠；预连通桥区断开的位置与控制桥区发生电爆的位置重叠；钝化层形成在控制桥上；在钝化层中，分别与一对控制电极和一对预连通电极相对的地方设置有焊盘通孔，一对控制电极焊盘和一对预连通电极焊盘分别通过焊盘通孔嵌入钝化层；金属互联通过绝缘层上的通孔阵列，将一对预连通电极焊盘分别与一对预连通电极经抗反射涂层电学互联；一对控制电极分别与一对控制电极焊盘相接触形成电学互联；一对控制电极焊盘分别连接至控制电路的两端；一对预连通电极焊盘分别连接至被控电路的两端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：娄文忠，丁旭冉，赵越，
申请(专利权)人：娄文忠，丁旭冉，赵越，
类型：新型
国别省市：北京;11