本实用新型专利技术公开了一种去除磷酸中还原物质的装置，它包括：原料酸贮槽、臭氧发生装置、超重力反应器、产品酸贮槽和尾气处理装置；所述原料酸贮槽设置有原料酸贮槽磷酸进口和原料酸贮槽磷酸出口；所述超重力反应器设有超重力反应器液相进口、超重力反应器气相进口和超重力反应器混合相出口；所述产品酸贮槽设有气液混合相进口，产品酸出口和气相出口；原料酸贮槽磷酸出口通过设置泵的管线与超重力反应器液相进口连接，所述臭氧发生装置通过管线与超重力反应器气相进口连接，所述超重力反应器混合相出口通过管线与气液混合相进口连接，所述气相出口通过管线与尾气处理装置连接。本实用新型专利技术能够实现装置小型化，设备布置简单，投资小。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种去除磷酸中还原物质的装置，它包括：原料酸贮槽、臭氧发生装置、超重力反应器、产品酸贮槽和尾气处理装置；所述原料酸贮槽设置有原料酸贮槽磷酸进口和原料酸贮槽磷酸出口；所述超重力反应器设有超重力反应器液相进口、超重力反应器气相进口和超重力反应器混合相出口；所述产品酸贮槽设有气液混合相进口，产品酸出口和气相出口；原料酸贮槽磷酸出口通过设置泵的管线与超重力反应器液相进口连接，所述臭氧发生装置通过管线与超重力反应器气相进口连接，所述超重力反应器混合相出口通过管线与气液混合相进口连接，所述气相出口通过管线与尾气处理装置连接。本技术能够实现装置小型化，设备布置简单，投资小。【专利说明】一种去除磷酸中还原物质的装置
本技术涉及磷酸，具体来说，涉及一种去除磷酸中还原物质的装置。
技术介绍
磷酸中能被高锰酸钾氧化的物质如有机杂质、还原性无机杂质等称为高锰酸钾还原物，它表征磷酸中还原物质的量。一般半导体制程要求磷酸中高锰酸钾还原物的质量分数控制在为5 X 10_6以内。目前，普通工业级磷酸的还原物量为500 X 10_6，食品添加剂磷酸标准(GB 3149)规定还原物质量分数120X 10_6，化学试剂磷酸标准(GB/T 1282)规定优级纯还原物质量分数50X 10_6。降低普通工业磷酸还原物量的方法一般采用双氧水氧化法，但是不可避免带入新的杂质，而且强氧化性对设备的寿命影响十分严重。更有甚者非常难以消除双氧水其在磷酸中残留，它残留在酸中将对半导体蚀刻十分不利，严重影响半导体制程的成品率。 中国专利申请CN201010602232.6公开了一种去除磷酸中还原物质的方法，在一个装有泰勒填料或立体弹性填料的催化氧化塔中，将经过经脉冲高压放电器的洁净空气与磷酸在充分接触，洁净空气脉冲高压放电条件下，空气中的氧气被电离而产生臭氧(O3)，臭氧具有很强的氧化性，可以分解一般氧化剂难以破坏的有机物，使磷酸中的还原物质被充分氧化，达到去除磷酸中还原物质的目的。该方法因使用催化氧化塔，为了使磷酸与空气充分接触，催化氧化塔需要制作得很大，且要填充很多填料，使塔件复杂，设备成本高，操作难度大。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述问题，提供一种高效小型去除磷酸中还原物质的装置。 为实现上述目的，本技术所采用的技术方案是: 一种去除磷酸中还原物质的装置，包括:原料酸贮槽、臭氧发生装置、超重力反应器、产品酸贮槽和尾气处理装置； 所述原料酸贮槽设置有原料酸贮槽磷酸进口和原料酸贮槽磷酸出口 ；所述超重力反应器设有超重力反应器液相进口、超重力反应器气相进口和超重力反应器混合相出口 ；所述产品酸贮槽设有气液混合相进口，产品酸出口和气相出口 ； 所述原料酸贮槽磷酸出口通过设置泵的管线与超重力反应器液相进口连接，所述臭氧发生装置通过管线与超重力反应器气相进口连接，所述超重力反应器混合相出口通过管线与产品酸贮槽的气液混合相进口连接，所述产品酸贮槽的气相出口通过管线与尾气处理装置连接。 上述超重力反应器优选为一种多重雾化超重力旋转床。 本技术工作时，待处理磷酸从原料酸贮槽磷酸出口经管线进超重力反应器液相进口进入超重力反应器，臭氧从臭氧发生装置由超重力反应器气相进口进入超重力反应器，气液两相介质在超重力反应器内高速撞击，臭氧与磷酸中的还原物质能充分接触使其氧化，从而达到高效去除磷酸还原物的目的，反应充分的气液混合相从超重力反应器混合相出口进入产品酸贮槽，在产品酸贮槽内，尾气从产品酸贮槽气相出口进入尾气处理装置，在尾气处理装置内处理达标后排放，液相即产品酸从产品酸出口进入产品包装系统。 从以上的技术方案可知，本技术因采用超重力反应器替代常规气液接触设备，超重力反应器利用超重力条件下多相流体系的独特流动行为，强化相与相之间的相对速度和相互接触，从而实现高效的传质过程化学反应过程。本技术利用超重力设备高效的传质性能，实现了装置小型化，设备布置简单，投资小。 【专利附图】【附图说明】 图1是本技术的结构示意图。 图中，1-原料酸贮槽；2_原料酸贮槽磷酸进口 ；3_原料酸贮槽磷酸出口 ；4_臭氧发生装置；5_超重力反应器气相进口 ；6_超重力反应器；7_超重力反应器液相进口 ；8-超重力反应器混合相出口 ；9_气液混合相进口 ；10_产品酸贮槽；11-气相出口 ；12_产品酸出口 ； 13-尾气处理装置。 【具体实施方式】 实施例1 一种去除磷酸中还原物质的装置，包括:原料酸贮槽1、臭氧发生装置4、超重力反应器6、产品酸贮槽10和尾气处理装置13 ； 所述原料酸贮槽I设置有原料酸贮槽磷酸进口 2和原料酸贮槽磷酸出口 3 ;所述超重力反应器6设有超重力反应器液相进口 7、超重力反应器气相进口 5和超重力反应器混合相出口 8 ;所述产品酸贮槽10设有气液混合相进口 9，产品酸出口 12和气相出口 11 ； 所述原料酸贮槽磷酸出口 3通过设置泵的管线与超重力反应器液相进口 7连接，所述臭氧发生装置4通过管线与超重力反应器气相进口连接5，所述超重力反应器混合相出口 8通过管线与产品酸贮槽10的气液混合相进口 9连接，所述产品酸贮槽10的气相出口 11通过管线与尾气处理装置13连接。 上述超重力反应器6优选为一种多重雾化超重力旋转床。【权利要求】1.一种去除磷酸中还原物质的装置，其特征是所述装置包括:原料酸贮槽(I)、臭氧发生装置(4)、超重力反应器(6)、产品酸贮槽(10)和尾气处理装置(13)； 所述原料酸贮槽(I)设置有原料酸贮槽磷酸进口(2)和原料酸贮槽磷酸出口(3);所述超重力反应器(6 )设有超重力反应器液相进口( 7 )、超重力反应器气相进口( 5 )和超重力反应器混合相出口( 8 );所述产品酸贮槽(10)设有气液混合相进口( 9 )，产品酸出口( 12 )和气相出口(11)； 所述原料酸贮槽磷酸出口(3)通过设置泵的管线与超重力反应器液相进口(7)连接，所述臭氧发生装置(4)通过管线与超重力反应器气相进口连接(5)，所述超重力反应器混合相出口(8)通过管线与产品酸贮槽(10)的气液混合相进口(9)连接，所述产品酸贮槽(10)的气相出口( 11)通过管线与尾气处理装置(13)连接。2.如权利要求1所述的去除磷酸中还原物质的装置，其特征在于:所述超重力反应器(6)是多重雾化超重力旋转床。【文档编号】C01B25/234GK204097097SQ201420549424【公开日】2015年1月14日 申请日期:2014年9月24日 优先权日:2014年9月24日 【专利技术者】杨毅, 赵建勇, 吴邦文 申请人:瓮福（集团）有限责任公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种去除磷酸中还原物质的装置，其特征是所述装置包括：原料酸贮槽（1）、臭氧发生装置（4）、超重力反应器（6）、产品酸贮槽（10）和尾气处理装置（13）；所述原料酸贮槽（1）设置有原料酸贮槽磷酸进口（2）和原料酸贮槽磷酸出口（3）；所述超重力反应器（6）设有超重力反应器液相进口（7）、超重力反应器气相进口（5）和超重力反应器混合相出口（8）；所述产品酸贮槽（10）设有气液混合相进口（9），产品酸出口（12）和气相出口（11）；所述原料酸贮槽磷酸出口（3）通过设置泵的管线与超重力反应器液相进口（7）连接，所述臭氧发生装置（4）通过管线与超重力反应器气相进口连接（5），所述超重力反应器混合相出口（8）通过管线与产品酸贮槽（10）的气液混合相进口（9）连接，所述产品酸贮槽（10）的气相出口（11）通过管线与尾气处理装置（13）连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨毅，赵建勇，吴邦文，
申请(专利权)人：瓮福集团有限责任公司，
类型：新型
国别省市：贵州;52
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