重型回转体的驱动方法及回转装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种重型回转体的驱动方法及回转装置。为了以低成本消除重型回转体因侧隙的反转而在回转中引起位置偏离的不良情况，在使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置(12)的驱动方法中，该回转装置具备第1马达(24)及通过该第1马达(24)进行驱动的第1驱动系统(34)、第2马达(28)及通过该第2马达(28)进行驱动的第2驱动系统(36)、以及同时被传递第1驱动系统(34)和第2驱动系统(36)的动力的共用锥齿轮(32)，该驱动方法包括：第1驱动工序，利用第1马达(24)及第2马达(28)，将该回转体的回转轴(22)从该回转装置(12)的回转起点驱动至特定回转角度(θ1)；及第2驱动工序，在成为特定回转角度(θ1)以后，将第1马达(24)、第2马达(28)的至少一个改变为另一驱动方式来驱动回转轴(22)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种重型回转体的驱动方法及回转装置。
技术介绍
专利文献1中公开有一种通过使测定如半导体器件之类的被检体的电性特性的探针装置的测试头(盖体)绕支承轴回转而进行开闭的回转装置。该探针装置的测试头逐年大型化，近年来还不断地设计出数吨级的测试头。测试头通过马达与减速机成为一体的齿轮马达进行驱动。通常，该种测试头构成为从0度(水平状态)起开始回转，并回转至打开大致180度的状态。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006-98388号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题当使这种重型测试头超过铅垂位置而回转(开闭)时，存在如下问题：在超过铅垂竖立状态的位置，驱动系统的侧隙因测试头的自重而反转，会出现巨大的测试头发出“砰”的巨大冲击声并位置偏离的现象。在专利文献1中，针对这种问题，提出了采用侧隙较小的蜗轮减速机构的技术，另外，实际上难以完全消除侧隙。本专利技术是为了解决这种以往的问题而完成的，其课题在于以低成本消除重型回转体因驱动系统的侧隙的反转而在回转中引起位置偏离的不良情况。用于解决技术课题的手段本专利技术通过设为如下结构解决上述课题，即，一种使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置的驱动方法，其中，所述回转装置具备：第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述驱动方法包括：第1驱动工序，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从该回转装置的回转起点驱动至特定回转角度；及第2驱动工序，在成为所述特定回转角度以后，将所述第1、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。在本专利技术的上述结构中，“铅垂位置”是指地球的中心、回转体的回转轴的轴心及回转体的重心排列在一直线上的位置，而不是指相对于回转体的回转起点面和终点面或设置回转装置的底面而垂直的方向。还可以换句话说，是连结回转体的重心和回转体的回转轴的轴心的直线与地面(地球表面)垂直的位置。在本专利技术中，当使重型回转体回转时，分别准备通过第1马达、第2马达单独进行驱动的第1驱动系统和第2驱动系统，将该第1驱动系统和第2驱动系统的动力同时传递至(共用的)动力传递部件。而且，在回转体的回转起点至特定回转角度的范围内，将该第1马达及第2马达同时驱动而驱动回转体(第1驱动工序)。在成为特定回转角度以后，以另一驱动方式来驱动第1马达、第2马达的至少一个(第2驱动工序)。其结果，在回转体的驱动开始时，即需要较大的驱动转矩时，第1马达和第2马达能够共同驱动回转体。并且，在发生侧隙反转的附近，由于回转体的驱动不需要较大的驱动转矩，因此通过改变第1马达和第2马达的驱动方式，能够在第1驱动系统和第2驱动系统中形成回转体的驱动无侧隙的状态，从而能够防止因侧隙的反转而发生位置偏离。另外，当本专利技术着眼于“重型回转体的回转装置”这种观点时，还能够理解为“一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备：第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，并且具备控制机构，该控制机构对第1驱动工序和第2驱动工序进行切换，在该第1驱动工序中，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从所述回转体的回转起点驱动至特定回转角度，在该第2驱动工序中，在成为所述特定回转角度以后，将所述第1马达、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。”。并且，本专利技术还能够理解为“一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备：第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述第1驱动系统的减速比与所述第2驱动系统的减速比不同。”。另外，本专利技术还能够理解为一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备：第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述第1驱动系统的所述第1马达的容量与所述第2驱动系统的所述第2马达的容量不同。”。专利技术效果根据本专利技术，能够以低成本消除重型回转体因驱动系统的侧隙的反转而在回转中引起位置偏离的不良情况。附图说明图1是本专利技术的实施方式的一例所涉及的重型回转体的回转装置的主要部分剖视图。图2是上述实施方式的主要部分放大图。图3是表示上述实施方式所涉及的回转装置的整体的概要立体图。图4是表示上述实施方式所涉及的回转装置的盖体的回转角度与驱动控制方式的关系的图表。图5是本专利技术的另一实施方式的一例所涉及的回转装置的主要部分俯视图。图6是沿图5的向视VI-VI线的剖视图。图7是本专利技术的又一实施方式的一例所涉及的回转装置的主要部分立体图。图8是表示图7的实施方式所涉及的回转装置的整体的概要立体图。图9中(A)是本专利技术的又一实施方式的一例所涉及的回转装置的概要立体图，(B)是概要主视图。图10中(A)是本专利技术的又一实施方式的一例所涉及的回转装置的概要立体图，(B)是概要主视图。图11中(A)是本专利技术的又一实施方式的一例所涉及的回转装置的概要立体图，(B)是概要主视图。具体实施方式以下，根据附图对本专利技术的实施方式的一例进行详细说明。图1是本专利技术的实施方式的一例所涉及的重型回转体的回转装置的主要部分剖视图，图2是图1的主要部分放大图，图3是表示其整体的概要立体图。参考图3，该回转装置12用于开闭(回转)半导体制造装置(主装置)14的盖体(重型回转体)16。半导体制造装置14中，在其制造工序中为了定期取放产品和进行清扫，需要相对于装置上表面14A(超过铅垂位置)180度开闭重型盖体16。盖体16较大时达数吨，重量非常大。盖体16本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种重型回转体的回转装置的驱动方法，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置的驱动方法，其特征在于，所述回转装置具备：第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述驱动方法包括：第1驱动工序，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从该回转装置的回转起点驱动至特定回转角度；及第2驱动工序，在成为所述特定回转角度以后，将所述第1马达、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.03.16 JP 2012-061239;2012.03.16 JP 2012-061231.一种重型回转体的回转装置的驱动方法，其为使重型回转体超过铅垂
位置而回转的回转装置的驱动方法，其特征在于，所述回转装置具备：
第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；
第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及
动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到
该动力传递部件，
所述驱动方法包括：
第1驱动工序，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从该
回转装置的回转起点驱动至特定回转角度；及
第2驱动工序，在成为所述特定回转角度以后，将所述第1马达、第2马
达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。
2.根据权利要求1所述的重型回转体的回转装置的驱动方法，其特征在
于，
所述第2驱动工序为能够对所述第1马达和第2马达相对地赋予速度差的
驱动工序。
3.根据权利要求2所述的重型回转体的回转装置的驱动方法，其特征在
于，
所述第2驱动工序为仅将一个马达断开的驱动工序。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的重型回转体的回转装置的驱动方
法，其特征在于，
所述驱动方法还包括第3驱动工序，该第3驱动工序在成为与所述特定回
转角度不同的第2特定回转角度以后，使所述第1马达、第2马达的驱动方式
不同于所述第2驱动工序的驱动方式。
5.一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转
的回转装置，其特征在于，具备：
第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；
第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及
动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到

\t该动力传递部件，并且，
具备控制机构，该控制机构对第1驱动工序和第2驱动工序进行切换，在
该第1驱动工序中，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从所
述回转体的回转起点驱动至特定回转角度，在该第2驱动工序中，在成为所述
特定回转角度以后，将所述第1马达、第2马达的至少一个改变为另一驱动方
式来驱动所述回转轴。

【专利技术属性】
技术研发人员：芳贺卓，田村光扩，山下英隆，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP