金属件的渗氮装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种金属件的渗氮装置，包括密闭容器、设于该密闭容器内用于承载金属件的承载台、对应设于该承载台上方用于向金属件喷射含氮原子的气体的喷嘴、设于喷嘴前端的温度传感器、与喷嘴连接的气体供应装置、及分别与气体供应装置及温度传感器电连接的控制装置，所述控制装置还与一高周波电源电连接，所述高周波电源还分别与所述喷嘴和载物台电连接，所述载物台接地。本实用新型专利技术中的渗氮装置中的控制装置通过温度传感器检测的喷嘴前端的温度调整高周波电源的电压及波数来实现对金属件表面渗氮时间的管控。

【技术实现步骤摘要】
金属件的渗氮装置
本技术涉及一种渗氮装置，特别涉及一种金属件的渗氮装置。
技术介绍
离子渗氮技术是利用气体辉光放电原理，将工件置于阴极，炉壁为阳极，阴阳极之间加以数百伏直流或直流脉冲电压，真空室内放电导致低压氮氢气体电离，并在高压电场的作用下核能轰击金属工件表面，产生大量的热量加热工件至渗氮温度，同时放电产生的活性氮在金属工件表面发生吸附、化合、扩散等物理化学反应，获得一定深度的渗氮层。现有的离子体源的渗氮装置反应时间较长，降低产出效率。
技术实现思路
本技术提出一种离子体源的渗氮装置，解决了现有技术中渗氮时间产而降低产出等问题。 本技术的技术方案是这样实现的: 一种金属件的渗氮装置，包括密闭容器、设于该密闭容器内用于承载金属件的承载台、对应设于该承载台上方用于向金属件喷射含氮原子气体的喷嘴、设于喷嘴前端的温度传感器、与喷嘴连接的气体供应装置、及分别与气体供应装置及温度传感器电连接的控制装置，所述控制装置还与一高周波电源电连接，所述高周波电源分别与所述喷嘴和载物台电连接，所述载物台接地，所述控制装置通过温度传感器检测的喷嘴前端的温度调整高周波电源的电压及波数来实现对金属件表面渗氮时间的管控。 优选方案为，所述密闭容器的顶端设有一供喷嘴伸入的安装孔，所述喷头的头端由密闭容器的安装孔伸入至密闭容器的空间内，所述喷嘴的尾端的两侧与箱体的安装孔边端固定连接。 优选方案为，所述喷嘴的尾端与密闭容器于安装孔的边端之间设有密封垫。 优选方案为，所述密闭容器的底端通过一排气管与真空泵相连。 优选方案为，所述金属件为铁钢金属件。 优选方案为，所述喷嘴为导电耐热的金属喷嘴。 优选方案为，所述控制装置控制温度传感器的温度为400-1000°C。 本技术的有益效果为: 本技术中的渗氮装置，通过控制装置控制高周波电源使其处于一定的电压及周波数，并在喷嘴和载物台之间产生脉冲放电，使由喷嘴的前端喷射的含氮原子气体等离子化，该等离子化的气体喷射至金属件的表面进行渗氮处理，由于喷嘴前端设有温度传感器，由温度传感器检测出的喷嘴前端的温度，发送信号至控制装置，控制装置由接收到的信号来调节控制高周波电源的电压及周波数，从而能够容易的控制喷嘴前端的温度来调整喷嘴的放电时间，进而达成短时间内对金属件的表面进行渗氮处理，提高工作效率。 【附图说明】 为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 图1为本技术的金属件的渗透装置的示意图。 图中: 10、密闭容器；11、排气管；20、载物台；30、喷嘴；40、气体供应装置；50、控制装置；60、温度传感器；70、金属件；80、高周波电源；90、管道。 【具体实施方式】 下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。 如图1所示，本实施例中的金属件的渗氮装置包括一密闭容器10、设于该密闭容器10内的载物台20与喷嘴30、与喷嘴30连接的气体供应装置40、与气体供应装置40电连接的控制装置50、及与控制装置50电连接的温度传感器60。 所述密闭容器10为方形箱体，其内形成一密闭的空间。该密闭容器10的顶端设有一供喷嘴30伸入的安装孔，其底端通过一排气管11与一真空泵相连。所述载物台20收容于所述密闭容器10的空间内，并位于所述密闭容器10的底面中部，该载物台20的顶面用于承载需要进行渗氮处理的金属件70。该金属件70为由能进行渗氮处理的如铁钢等金属材料部件。 所述喷嘴30为导电耐热的金属喷嘴，其头端由密闭容器10的安装孔伸入至密闭容器10的空间内，并与载物台20相对应；所述喷嘴30的尾端的两侧与密闭容器的安装孔边端固定连接，并于二者之间设有密封垫，以实现二者之间的密封与绝缘。所述气体供应装置40通过管道与喷嘴30的尾端相连接，以通过喷嘴30向密闭容器10内部供应氮气、氧气等气体。 所述喷嘴30和载物台20分别与高周波电源80连接，且所述载物20台接地。所述温度传感器60设于喷嘴30的前端，用以检测喷嘴30前端的温度。所述控制装置50还分别与气体供应装置40及高周波电源80电连接，用以控制气体流量，并通过温度传感器60检测出的温度来调控高周波电源的电压及波数，以使喷嘴30前端的温度维持在400-1000°C。 使用该金属件的渗氮装置时，先将金属件70放于密闭容器10的载物台20上，该金属件70可为螺钉等机械件，使密闭容器10处于密闭状态，再对密闭容器10进行冲洗。所述冲洗的过程具体为:通过与排气管11连接的真空泵将密闭容器10内的气体排出，气体供应装置40通过管道90向喷嘴30供应一定流量的氮气，所述氮气再由喷嘴30的前端导入至密闭容器10内，导入至密闭容器10内的氮气再由排气管11排出，从而完成一次冲洗。该冲洗过程反复进行，可为3-5次。该冲洗过程中，也可采用氮气中混合添加一定比例的氢气。该冲洗过程中，通过控制装置控制高周波电源80使其处于一定的电压及周波数，由此，在喷嘴30和载物台20之间产生脉冲放电，使由喷嘴30的前端喷射的氮气等离子化，该等离子化的氮气喷射至金属件70的表面。由于喷嘴30前端设有温度传感器60，由温度传感器60检测出的喷嘴30前端的温度，发送信号至控制装置50，控制装置50由接收到的信号来调节控制高周波电源80的电压及周波数，从而根据金属件70本身的特性能够容易的控制喷嘴30前端的温度来调整喷嘴30的放电时间，进而达成短时间内对金属件70的表面进行渗氮处理，提高工作效率。 以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属件的渗氮装置，其特征在于：包括密闭容器、设于该密闭容器内用于承载金属件的承载台、对应设于该承载台上方用于向金属件喷射含氮原子的气体的喷嘴、设于喷嘴前端的温度传感器、与喷嘴连接的气体供应装置、及分别与气体供应装置及温度传感器电连接的控制装置，所述控制装置还与一高周波电源电连接，所述高周波电源还分别与所述喷嘴和载物台电连接，所述载物台接地，所述控制装置通过温度传感器检测的喷嘴前端的温度调整高周波电源的电压及波数来实现对金属件表面渗氮时间的管控。

【技术特征摘要】
1.一种金属件的渗氮装置，其特征在于:包括密闭容器、设于该密闭容器内用于承载金属件的承载台、对应设于该承载台上方用于向金属件喷射含氮原子的气体的喷嘴、设于喷嘴前端的温度传感器、与喷嘴连接的气体供应装置、及分别与气体供应装置及温度传感器电连接的控制装置，所述控制装置还与一高周波电源电连接，所述高周波电源还分别与所述喷嘴和载物台电连接，所述载物台接地，所述控制装置通过温度传感器检测的喷嘴前端的温度调整高周波电源的电压及波数来实现对金属件表面渗氮时间的管控。2.如权利要求1所述的金属件的渗氮装置，其特征在于:所述密闭容器的顶端设有一供喷嘴伸入的安装孔，所述喷嘴的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田绍洁，王伟，回博阳，
申请(专利权)人：大连圣洁真空技术开发有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21