涂布装置以及涂布方法制造方法及图纸

提供能够高精度地向涂布对象的排列发生歪曲的基板喷出液滴的涂布装置以及涂布方法。具体而言，在涂布装置(1)中，在基板保持部(7)保持住基板(W)的状态下，进行使涂布单元(21)和基板保持部(7)沿特定的扫描方向进行相对移动，同时使涂布单元(21)向基板(W)上的涂布对象(G)涂布涂布液的扫描动作，基板保持部(7)的把持单元把持基板(W)的同时使该基板移动，从而将基板(W)拉伸变形，在进行了基板(W)上的涂布对象(G)的排列的矫正后，进行扫描动作，在涂布对象(G)的排列的矫正中，连接规定的喷嘴(22)在1次扫描动作的涂布开始点进行涂布的涂布对象(G)的位置与该喷嘴(22)在涂布结束点进行涂布的涂布对象(G)的位置的线段的方向与涂布单元(21)的扫描方向平行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及从喷嘴向在基板上形成的多个涂布对象喷出涂布液来进行涂布的涂布装置。
技术介绍
在例如液晶电视那样的图像显示设备中使用了彩色滤光片，作为该彩色滤光片的制造方法，通常的方法是，向在玻璃上形成的多个细微的像素部进行墨的全面薄膜涂布，利用光刻技术保留所需部分，从而制造彩色滤光片。与此相对，作为进一步提高生产性的制造方法，例如，提出了专利文献I所示的基于喷墨涂布装置的喷墨法。 专利文献I所示的涂布装置是例如图13所示的涂布装置90，使设置有多个头部92的支架91沿箭头方向进行扫描的同时从各个头部92中设置的多个喷嘴93喷出墨，在基板上的矩阵状地设置的各涂布对象G上形成液滴94。此外，具有使头部92倾斜的机构，对头部92的倾斜角进行调节，使得涂布对象G的排列方向的喷嘴93的间隔与涂布对象G的尺寸吻合，并维持该倾斜角，从多个喷嘴93同时进行喷墨，由此，同时对多个涂布对象G进行液滴的形成。 另一方面，具有如下背景:近年来，在所述图像显示设备中，要求提高轻量化、薄型化以及耐冲击性，在电子纸或柔性液晶显示器等中，采用了玻璃以外的材质来作为用于得到彩色滤光片的基板的材质。例如，在电子纸中，存在由树脂构成的基板，在该基板上设置有UV硬化树脂，并实施在此形成作为涂布对象G的凹部的处理。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特开2002-273868号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题 但是，在上述专利文献I所述的涂布装置中，有可能不能正常地涂布到在上述基板上形成的涂布对象G。具体而言，多个涂布对象G被设计为在I个矩阵内等间隔地排列，但在基板是树脂等那样的容易受到热或压力的影响的材质的情况下，由于形成涂布对象G时的热或压力等，基板有时会发生变形，其结果是，涂布对象G的配置有时会发生歪曲，从而在一部分处，排列间隔形成为发生变化。在该情况下，在涂布对象G的实际位置与设计上的位置之间产生偏差，因此，如图14所示，在朝设计上的涂布对象G的位置喷出墨时，墨有可能没有到达各涂布对象G的中央这样的规定的部位，或者有可能到达相邻的涂布对象G与涂布对象G之间而形成液滴94，使得在这些涂布对象G之间产生混色，成为不能作为产品的不良品。 不过，在上述专利文献I所述的涂布装置中，也考虑对涂布对象G的配置发生歪曲的部位另外进行涂布，由此应对上述问题。但是，在该运用方法中，在涂布对象G的配置发生歪曲的部位处，涂布对象G之间的间隔与喷嘴93之间的间隔变为不同，不能同时向全部像素部93喷出墨，因此效率差。具体而言，首先，沿扫描方向实施涂布动作，仅对能够喷出到中央的涂布对象G进行涂布，进而，使支架91的位置朝与扫描方向垂直的方向偏移例如数微米，再次沿扫描方向实施涂布动作，仅对通过错开数微米即可喷出到中央的像素进行涂布。由于反复多次才能够最终完成I列的涂布，因此，不能够连续地涂布墨，效率较差。 本专利技术是鉴于上述那样的现有技术的问题点而完成的，目的在于提供一种能够高精度地向涂布对象的排列发生歪曲的基板喷出液滴的涂布装置。 用于解决问题的手段 为了解决上述问题，本专利技术的涂布装置具有:涂布单元，其具有直线状地排列的喷嘴，从所述喷嘴向涂布对象喷出涂布液；以及基板保持部，其具有多个把持单元，该把持单元将基板载置在对基板的一部分进行载置的基板载置面上而进行把持，通过各个所述把持单元把持基板，由此保持基板，在所述基板保持部保持住基板的状态下，进行使所述涂布单元和所述基板保持部沿特定的扫描方向进行相对移动，同时使所述涂布单元向基板上的所述涂布对象涂布涂布液的扫描动作，所述涂布装置的特征在于，所述基板保持部具有多个把持单元移动部件，所述多个把持单元移动部件使一部分或全部所述把持单元沿与所述基板载置面平行的方向移动，所述把持单元在把持基板的同时进行移动，从而使基板拉伸变形而进行基板上的所述涂布对象的排列的矫正，之后进行所述扫描动作，在所述涂布对象的排列的矫正中，使得连接规定的所述喷嘴在I次所述扫描动作的涂布开始点进行涂布的所述涂布对象的位置与该喷嘴在涂布结束点进行涂布的所述涂布对象的位置的线段的方向变为与所述涂布单元的所述扫描方向平行。 根据上述涂布装置，在涂布对象的排列的矫正中，连接规定的喷嘴在I次扫描动作的涂布开始点进行涂布的涂布对象的位置与该喷嘴在涂布结束点进行涂布的涂布对象的位置的线段的方向与涂布单元的扫描方向平行，由此，能够使涂布对象的排列或涂布对象的方向与扫描方向平行地进行涂布，因此，能够向沿扫描方向排列的涂布对象的规定位置连续涂布涂布液。 此外，具体而言，可以是，在所述涂布对象的排列的矫正中，使配置在基板上的4个校准对象形成的四边形的I组对边成为与所述扫描方向平行的状态，由此，连接规定的所述喷嘴在I次所述扫描动作的涂布开始点进行涂布的所述涂布对象的位置与该喷嘴在涂布结束点进行涂布的所述涂布对象的位置的线段的方向变为与所述涂布单元的所述扫描方向平行。 此外，可以是，所述涂布装置还具有涂布单元旋转部件，该涂布单元旋转部件在与所述基板载置面垂直的方向上具有旋转轴，使所述涂布单元旋转。 通过这样还具有涂布单元旋转部件，能够使喷嘴的排列间隔与和扫描方向垂直的方向的涂布对象的排列间隔吻合地进行涂布。 此外，可以是，多个所述把持单元移动部件是将一对所述把持单元移动部件组合多对而成的，成对的所述把持单元移动部件分别使同一所述把持单元朝同一方向移动。 由此，能够利用少量的把持单元移动部件，使基板朝各种方向发生变形。S卩，通过使由一对把持单元移动部件实现的把持单元的移动距离具有差异，能够使把持单元沿旋转方向移动，能够使基板不仅在直线方向上而且在旋转方向上发生变形。此外，成对的把持单元移动部件的设置间隔越大，则越能够细化把持单元的旋转的分辨率，从而能够进行精密的旋转动作。 此外，为了解决上述问题，本专利技术的涂布方法利用涂布装置向基板上的涂布对象涂布涂布液，该涂布装置具有:涂布单元，其具有直线状地排列的喷嘴，从所述喷嘴向涂布对象喷出涂布液；基板保持部，其具有多个把持单元，通过各个把持单元把持基板的一部分，由此保持基板；以及驱动装置，其使所述涂布单元与所述基板保持部在作为水平方向的一个方向的扫描方向上进行相对移动，所述涂布方法的特征在于具有如下工序:矫正工序，所述基板保持部对基板进行矫正；以及涂布工序，针对在所述矫正工序中矫正后的基板，使所述涂布单元和所述基板保持部在所述扫描方向上进行相对移动的同时使所述涂布单元向所述涂布对象涂布涂布液，在所述矫正工序中，所述把持单元把持基板的同时拉伸基板，从而使该基板发生变形，由此矫正为配置在基板上的4个校准对象所形成的四边形的I组对边与所述扫描方向平行的状态。 根据上述涂布方法，在矫正工序中，把持单元把持基板的同时拉伸基板，从而使该基板发生变形，由此矫正为配置在基板上的4个校准对象形成的四边形的I组对边与扫描方向平行的状态，由此，与上述同样，能够与扫描方向平行地排列涂布对象而进行涂布，因而能够向沿扫描方向排列的涂布对象的规定位置连续地涂布涂布液。 专利技术效果 根据本专利技术的，即使针对涂布对象的排列发生歪曲的基板也能够高精度地喷出液滴。 【附图说明】 图1是本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布装置，其具有：涂布单元，其具有直线状地排列的喷嘴，从所述喷嘴向涂布对象喷出涂布液；以及基板保持部，其具有多个把持单元，该把持单元将基板载置在对基板的一部分进行载置的基板载置面上而进行把持，通过各个所述把持单元把持基板，由此保持基板，在所述基板保持部保持住基板的状态下，进行使所述涂布单元和所述基板保持部沿特定的扫描方向进行相对移动，同时使所述涂布单元向基板上的所述涂布对象涂布涂布液的扫描动作，所述涂布装置的特征在于，所述基板保持部具有多个把持单元移动部件，所述多个把持单元移动部件使一部分或全部所述把持单元沿与所述基板载置面平行的方向移动，所述把持单元在把持基板的同时进行移动，从而使基板拉伸变形而进行基板上的所述涂布对象的排列的矫正，之后进行所述扫描动作，在所述涂布对象的排列的矫正中，使得连接规定的所述喷嘴在1次所述扫描动作的涂布开始点进行涂布的所述涂布对象的位置与该喷嘴在涂布结束点进行涂布的所述涂布对象的位置的线段的方向变为与所述涂布单元的所述扫描方向平行。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.03.16 JP 2012-0610071.一种涂布装置，其具有: 涂布单元，其具有直线状地排列的喷嘴，从所述喷嘴向涂布对象喷出涂布液；以及基板保持部，其具有多个把持单元，该把持单元将基板载置在对基板的一部分进行载置的基板载置面上而进行把持，通过各个所述把持单元把持基板，由此保持基板， 在所述基板保持部保持住基板的状态下，进行使所述涂布单元和所述基板保持部沿特定的扫描方向进行相对移动，同时使所述涂布单元向基板上的所述涂布对象涂布涂布液的扫描动作， 所述涂布装置的特征在于， 所述基板保持部具有多个把持单元移动部件，所述多个把持单元移动部件使一部分或全部所述把持单元沿与所述基板载置面平行的方向移动， 所述把持单元在把持基板的同时进行移动，从而使基板拉伸变形而进行基板上的所述涂布对象的排列的矫正，之后进行所述扫描动作， 在所述涂布对象的排列的矫正中，使得连接规定的所述喷嘴在I次所述扫描动作的涂布开始点进行涂布的所述涂布对象的位置与该喷嘴在涂布结束点进行涂布的所述涂布对象的位置的线段的方向变为与所述涂布单元的所述扫描方向平行。2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于， 在所述涂布对象的排列的矫正中，使配置在基板上的4个校准对象所形成的四边形的I组对边成为与所述扫描方向平行的状态，由此，连接规定的所述喷嘴在I次所述扫描动作的涂布开始点进行涂布的所述涂布对象的位置与该喷嘴在涂布结束点进行涂布的所述涂布对象的位置的线段的方向变为...

【专利技术属性】
技术研发人员：友枝哲，本田显真，喜多由起，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP