蒸镀坩埚和蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率。本发明专利技术所提供的蒸镀坩埚能够对蒸镀材料进行均匀加热，改善蒸镀效果。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚和蒸镀装置
本专利技术涉及显示装置的制造
，具体涉及一种蒸镀坩埚和包括该蒸镀坩埚的蒸镀装置。
技术介绍
显示装置的显示方式包括液晶显示(LiquidCrystalDisplay，LCD)、有机发光二极管显示(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)，和等离子显示等多种方式，其中OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括有源矩阵有机发光二级体面板(ActiveMatrixOrganicLightEmittingDiode，AMOLED)和无源矩阵有机发光二极管(PassiveMatrixOrganicLightEmittingDiode，PMOLED)。实现OLED显示时，使用低温多晶硅面板(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)+高精度金属掩膜板(FineMetalMask，FMM)的方式已初步成熟。FMM模式是通过蒸镀方式将有机材料程度到LTPS背板上，利用FMM上的图形形成红、绿、蓝器件。蒸镀是在真空腔体中，使用线性坩埚进行蒸镀。图1为现有的蒸镀坩埚的结构示意图，蒸镀坩埚的坩埚本体10采用的钛(Ti)制成，使得坩埚本体受热后的温度均匀性较差，整体温度均匀性有较低，从而使得蒸镀材料的受热均匀性较低；同时，蒸镀材料内部距离坩埚本体的内壁较远，受热较慢，而蒸镀材料直接接触内壁的部分受热较快，导致部分材料没有蒸发，另一部分材料受热过度而变性，从而造成材料的浪费，且影响蒸镀效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种蒸镀坩埚和蒸镀装置，以使得蒸镀工艺中，蒸镀材料的受热更加均匀。为了实现上述目的，本专利技术提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率。优选地，制成所述坩埚本体的材料包括钛或钛合金，制成所述导热层的材料包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种。优选地，所述蒸镀坩埚还包括设置在所述容纳腔内的导热结构，所述导热结构与所述导热层相连，当蒸镀材料设置在所述容纳腔内时，所述蒸镀材料的一部分与所述导热结构接触，且加热所述蒸镀坩埚时，所述蒸镀材料能够从所述容纳腔内逸出。优选地，所述导热结构包括多个导热隔板，多个所述导热隔板将所述容纳腔分隔成多个形成有开口的子腔体。优选地，多个所述导热隔板包括至少一个第一隔板，所述第一隔板沿所述容纳腔的长度方向延伸，和/或多个所述导热隔板包括至少一个第二隔板，所述第二隔板沿所述容纳腔的宽度方向延伸。优选地，多个所述导热隔板包括多个第一隔板和多个第二隔板。优选地，所述导热结构包括至少一个导热网，所述导热网沿所述容纳腔的深度方向将所述容纳腔分隔成多个子腔体。优选地，所述导热结构包括沿所述容纳腔的深度方向依次排列的多个所述导热网。优选地，制成所述导热结构的材料与制成所述导热层的材料相同。相应地，本专利技术还提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括本专利技术所提供的上述蒸镀坩埚。可以看出，由于所述坩埚本体的内壁上设置有热传导率较大的导热层，当坩埚本体受热产生温度不均一的现象时，所述导热层能够快速地将热量均匀地分布在导热层中，从而使整个导热层的温度更均匀，进而均匀地向蒸镀材料传递热量；并且，所述容纳腔内设置有导热结构，该导热结构可以将热量快速传递至蒸镀材料内部，使得蒸镀材料的不同区域可以均匀受热，减少温度不均匀造成的材料变性的发生，从而改善了蒸镀效果。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是现有技术中蒸镀坩埚的结构示意图；图2是本专利技术第一种实施方式中的蒸镀坩埚结构示意图；图3是图2中蒸镀坩埚的俯视图；图4是本专利技术第二种实施方式中的蒸镀坩埚结构示意图；图5是图4中蒸镀坩埚的俯视图。其中，附图标记为：10、坩埚本体；11、导热层；12、导热隔板；121、第一隔板；122、第二隔板；13、子腔体；20、导热网。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。作为本专利技术的一个方面，提供一种蒸镀坩埚，如图2所示，包括坩埚本体10，坩埚本体10上形成有容纳腔，所述蒸镀坩埚还包括导热层11，导热层11设置在坩埚本体10的内壁上，且制成导热层11的材料的热传导率大于制成坩埚本体10的材料的热传导率。本专利技术对导热层11设置在坩埚本体10的内壁上的方式不作具体限制，例如，可以采用镀层等方式直接将热传导率较大的材料设置在坩埚本体10的内壁上，形成导热层11；也可以先采用热传导率较大的材料制成与所述容纳腔形状一致的导热层11，再将导热层11嵌套在所述容纳腔内。在本专利技术中，当对所述蒸镀坩埚加热时，由于坩埚本体10的内壁上设置有热传导率较大的导热层11，因此，热量可以快速传递至容纳腔内的蒸镀材料，从而使得蒸镀材料的不同区域可以均匀受热，减少温度不均匀造成的材料变性的发生，进而改善了蒸镀效果。具体地，如果坩埚本体10受热后，坩埚本体10上会出现温度较高的区域和温度较低的区域。由于坩埚本体10上设置有热传导率较大的导热层11，坩埚本体10上温度较高的区域的热量传递给导热层11之后，导热层11能够快速地将温度较高的部分传递来的热量均匀地分布在导热层11中，从而使整个导热层11的温度比较均匀，进而能够均匀地向蒸镀材料传递热量。作为本专利技术的一种具体实施方式，制成坩埚本体10的材料包括钛或钛合金(例如，TC4)，以使得所述蒸镀坩埚具有较大的高温强度；制成导热层11的材料包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种，当然，制成导热层11的材料还可以为其他材料，只要导热率较大且不与蒸镀材料发生反应即可。为了进一步提高蒸镀材料的温度均匀性，所述蒸镀坩埚还可以包括设置在所述容纳腔内的导热结构，所述导热结构与导热层11相连，当蒸镀材料设置在所述容纳腔内时，所述蒸镀材料的一部分可以与所述导热结构相接触，且加热蒸镀坩埚时，所述蒸镀材料可以从所述容纳腔内逸出。本专利技术对所述导热结构的具体形式不作限定，只要可以将热量从导热层11传递至蒸镀材料内部，且不阻碍所述蒸镀材料的蒸发即可。例如，所述导热结构可以包括多个与导热层11相连的导热丝，当所述容纳腔内设置有蒸镀材料时，所述导热丝可以穿过所述蒸镀材料内部，以将热量快速传递至所述蒸镀材料的内部。作为本专利技术的第一种实施方式，如图2和图3所示，所述导热结构可以包括多个导热隔板12，多个导热隔板12将所述容纳腔分隔成多个形成有开口的子腔体13。蒸镀材料设置在多个子腔体13内，可以从所述开口中逸出。导热隔板12可以将热量传递至多个子腔体13内的蒸镀材料，以使得蒸镀材料受热更加均匀。具体地，如图3所示，多个导热隔板12可以包括至少一个第一隔板121，第一隔板121沿所述容纳腔的长度方向延伸，和/或多个导热隔板12包括至少一个第二隔板122，第二隔板122沿所述容纳腔的宽度方向延伸。优选地，如图3所示，多个导热隔板12包括多个第一隔板121和多个第二隔板12本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体上形成有容纳腔，其特征在于，所述蒸镀坩埚还包括导热层，所述导热层设置在所述坩埚本体的内壁上，且制成所述导热层的材料的热传导率大于制成所述坩埚本体的材料的热传导率；所述蒸镀坩埚还包括设置在所述容纳腔内的导热结构，所述导热结构与所述导热层相连，所述导热结构包括多个导热隔板，多个所述导热隔板将所述容纳腔分隔成多个形成有开口的子腔体。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，制成所述坩埚本体的材料包括钛或钛合金，制成所述导热层的材料包括铜、铜合金、银和银合金中的任意一种。3.根据权利要求1或2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，当蒸镀材料设置在所述容纳...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金中，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11