一种用于放置硅片的环形花篮制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种用于放置硅片的环形花篮
本专利技术涉及一种用于放置硅片的环形花篮。
技术介绍
目前用于放置硅片的花篮为方形，在清洗硅片时，由于方形的花篮存在很多死角，很难清洗干净，而且工作效率低；由于花篮为方形，在后续的干燥时，不能通过旋转的形式将硅片上的水分甩出。
技术实现思路
本专利技术提供了一种硅片清洗装置，旨在解决现有的方形花篮存在较多的死角，造成清洗硅片不干净的问题。为了解决以上技术问题，本专利技术通过以下技术方案实现：一种用于放置硅片的环形花篮，包括同轴的内圆管和外圆管，所述内圆管的外侧壁上设有外卡槽，所述外圆管的内侧壁上设有与外卡槽一一对应且与外卡槽配合放置硅片的内卡槽，所述内圆管底部和外圆管的底部之间固连有杆；所述内圆管上开设有用于连通外卡槽与内圆管内部且与外卡槽一一对应的内通槽，每个外卡槽顶部均与内圆管的上端相通，每个外卡槽的底部均不与内圆管底端相通；所述外圆管上开设有用于连通内卡槽与外圆管外部且与内卡槽一一对应的外通槽，每个内卡槽顶部均与外圆管的上端相通，每个内卡槽的底部均不与外圆管的底端相通。进一步，所述杆有三个且均布在内圆管和外圆管之间；多于三个时，浪费材料；少于三个时，内圆管和外圆管连接时的牢固性较差。与现有技术相比本专利技术的优点是：本专利技术中的花篮为环形，不存在死角，便于冲洗清干净，提高了清洗时的工作效率，也有利于后序通过旋转甩出硅片上的部分水分，便于干燥。附图说明下面结合附图对本专利技术作进一步说明：图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的俯视图。具体实施方式参阅图1和图2，一种用于放置硅片的环形花篮，包括同轴的内圆管1和外圆管2...
【技术保护点】
一种用于放置硅片的环形花篮，其特征是：包括同轴的内圆管(1)和外圆管(2)，所述内圆管(1)的外侧壁上设有外卡槽(11)，所述外圆管(2)的内侧壁上设有与外卡槽(11)一一对应且与外卡槽(11)配合放置硅片的内卡槽(21)，所述内圆管(1)底部和外圆管(2)的底部之间固连有杆(3)；所述内圆管(1)上开设有用于连通外卡槽(11)与内圆管(1)内部且与外卡槽(11)一一对应的内通槽(12)，每个外卡槽(11)顶部均与内圆管(1)的上端相通，每个外卡槽(11)的底部均不与内圆管(1)底端相通；所述外圆管(2)上开设有用于连通内卡槽(21)与外圆管(2)外部且与内卡槽(21)一一对应的外通槽(22)，每个内卡槽(21)顶部均与外圆管(2)的上端相通，每个内卡槽(21)的底部均不与外圆管(2)的底端相通。
【技术特征摘要】
1.一种用于放置硅片的环形花篮，其特征是：包括同轴的内圆管(1)和外圆管(2)，所述内圆管(1)的外侧壁上设有外卡槽(11)，所述外圆管(2)的内侧壁上设有与外卡槽(11)一一对应且与外卡槽(11)配合放置硅片的内卡槽(21)，所述内圆管(1)底部和外圆管(2)的底部之间固连有杆(3)；所述内圆管(1)上开设有用于连通外卡槽(11)与内圆管(1)内部且与外卡槽(11)一一对应的内通...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈小力，王进昌，
申请(专利权)人：浙江辉弘光电能源有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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