伸展模态传感器及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种伸展模态传感器及其制造方法，所述伸展模态传感器至少包括：左右对称的两个质量块；互相平行、左右对称并可在平面内伸缩的两个微梁；所述微梁中形成有离子注入区；所述微梁两端分别与两个质量块连接；两个支撑台；所述支撑台阶一端往顶端方向逐渐缩小并与所述微梁中部外侧连接并使得所述质量块与所述微梁悬空；所述质量块上的金属连线将两根微梁中的离子注入区同侧两端连接起来；所述支撑台上的金属连线一端连接所述微梁中的离子注入区中部；所述质量块上的金属连线外侧区域形成有具有统一振幅的敏感膜。本发明专利技术的传感器工作在平面内伸展模态，统一的振幅提高了传感器的线性度和可重复性，实现了精确测量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种伸展模态传感器的制造方法，其特征在于，所述伸展模态传感器的制造方法至少包括以下步骤：1）提供一衬底，在所述衬底表面形成一图形化氧化层；所述图形化氧化层包括左右对称的两个质量块区域、互相平行且左右对称的两个微梁区域及两个支撑台区域；所述微梁区域两端分别与两个质量块区域连接；所述支撑台区域一端往顶端方向逐渐缩小并与所述微梁区域中部外侧连接；2）在所述微梁区域中进行离子注入，注入深度到达所述图形化氧化层下的衬底中，形成离子注入区；3）刻蚀所述图形化氧化层周围的衬底至预设深度；4）在所述质量块区域及所述支撑台区域上形成金属连线；所述质量块区域上的金属连线将两根微梁区域下方的离子注入区同侧两端连接起来；所述支撑台区域上的金属连线一端连接所述微梁区域下方的离子注入区中部；5）在所述金属连线上形成绝缘层；所述绝缘层覆盖所述金属连线；6）在所述质量块区域上的金属连线外侧区域形成具有统一振幅的敏感膜；7）刻蚀所述衬底背面，形成悬空的质量块、悬空并可在平面内伸缩的微梁及与所述微梁连接的支撑台；所述质量块、微梁及支撑台的位置分别与所述质量块区域、微梁区域及支撑台区域的位置相对应。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李昕欣，俞锋，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31